膜厚モニター用水晶振動子
蒸着装置やスパッタリング装置などの真空成膜プロセスにおいて、膜厚モニターとして広く使われているQCM方式の膜厚計用の水晶振動子です。周波数は5MHzと6MHz、電極膜材料は金(Au)と銀(Ag)を揃えております。 弊社販売品については再生もお受けいたします。
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基本情報
蒸着装置やスパッタリング装置などの真空成膜プロセスにおいて、膜厚モニターとして広く使われているQCM方式の膜厚計用の水晶振動子です。周波数は5MHzと6MHz、電極膜材料は金(Au)と銀(Ag)を揃えております。 弊社販売品については再生もお受けいたします。
価格情報
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納期
~ 1週間
用途/実績例
市販されている膜厚計メーカーの製品のセカンドソースとして、各方面にご使用いただいております。
カタログ(1)
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真空と熱をキーワードに耐熱性材料を中心に新材料の探求と用途開発を行っています。特に真空装置用材料の中で、高温用の自己潤滑性複合材料”NFメタル”とその応用製品(スベリ軸受け、ボールベアリングなど)の販売に力を入れています。 NFメタルとは、各種固体潤滑材を金属マトリックスに分散させた焼結合金です。真空中800℃まで潤滑性能を失わないスーパーマテリアルです。まだ一部の真空機器でしか応用されていないため、用途を拡大中です。真空中での回転・摺動等で潤滑に問題がある場合は、ぜひNFメタルの応用をご検討下さい。 また、NFメタルは固体潤滑材とマトリックス金属を選択することで、大気中800℃まで使用可能な材料も開発されています。