半導体製造装置の製品一覧
- 分類:半導体製造装置
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- その他搬送機械
半導体、MEMS、電子部品等に!単結晶エピタキシャルバッファ層から圧電膜まで高速かつ安定した連続成膜が可能!
- スパッタリング装置
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