半導体製造装置の製品一覧

【重量物の取り扱いによる作業負担を軽減！】お客様の課題を解決した導入事例5選を収録！ワークに応じた無料相談、テストも受付中！

その他搬送機械

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安全柵　『SATECH』【低コスト＆スピード施工！】

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SATECH株式会社

JIS・ISO規格の解説資料進呈。豊富な製品シリーズから好適な安全柵をご提案！デモキット無料貸出。

その他安全・衛生用品

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スピンドライヤー（乾燥機）

【デモ機貸し出し可能！】シリコンウエハーやマスク、フィルム基板のスピン乾燥に最適！

その他クリーンルーム用機器・設備
その他半導体製造装置

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ウエハー自動洗浄装置　300mmウエハ自動洗浄装置

【デモ機貸し出し可能！】Φ300まで対応可能なカセットタイプのバッチ式洗浄装置です

その他半導体製造装置

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ウエハー自動洗浄装置　枚葉式自動洗浄装置　ディップタイプ

【デモ機貸し出し可能！】Φ300まで対応可能なディップタイプの枚葉式洗浄装置です

その他半導体製造装置

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エッチング装置　スプレー式ウエハーエッチング装置

【デモ機貸し出し可能！】一連の洗浄・エッチング処理を行い、純水処理・乾燥までを処理する装置です

エッチング装置

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エッチング装置　ウエハ洗浄装置

【デモ機貸し出し可能！】処理槽からリンス槽へ円弧搬送しウエハーを処理する半自動装置

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エッチング装置　急速エッチング装置

【デモ機貸し出し可能！】ウエハーは専用のバレルに装填され処理されます

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エッチング装置　半自動ウエハーエッチング装置

【デモ機貸し出し可能！】カセットで前処理を行った後、専用バレルで自動エッチングを行います

エッチング装置

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スピンドライヤー　SPD型

【デモ機貸し出し可能！】上部にクリーンフィルターを設け、チャンバー内のクリーン化を計っています

その他半導体製造装置

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半導体製造装置　マスク自動洗浄装置

【デモ機貸し出し可能！】バッチタイプ、スクラブ洗浄等多彩なオプションにて対応いたします

その他半導体製造装置

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半導体製造装置　自動石英管洗浄装置

【デモ機貸し出し可能！】石英管の形状に合わせ対応致しますので御相談下さい

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スピン洗浄装置　スピナー MSC-200型

小型コンパクト・オプションにて10,000rpmに可能！

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スピン洗浄装置　自動レジストスピンコーター JASC-200型

対象ワーク：2"□～5"□基板又はφ２"～φ５"基板に適用！

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スピン洗浄装置　高性能型減圧式スピンコーター HMSC-300A

均一な高精度のコートができる様、技術が盛り込まれています！

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その他半導体製造装置

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スピン洗浄装置　スプレー現像装置 SD-8004型

自動および手動運転により、現像、リンス、水洗、スピン乾燥を行います！

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枚葉式ウエハ処理装置『自動エッチング装置』

装置のセンターに3軸多関節クリーンロボットを設置しウエハ搬送！

エッチング装置

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枚葉式ウエハ処理装置『自動基板用現像装置』

装置のセンターに3軸多関節クリーンロボットを設置し基盤搬送！

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枚葉式の自動洗浄装置『RCAウエハ洗浄装置』

カスタマイズOK！素早い対応と、メーカーならではのアフターフォローが可能です

その他半導体製造装置

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PETボトル用プラズマCVD装置

3L容器までコーティング可能！容器軽量化による物流コストの低減などに貢献します

CVD装置

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酸化膜／窒化膜プラズマCVD装置

広範な膜特性の制御可能！大幅なパーティクル低減および生産性を向上します

CVD装置

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多元スパッタリング装置

基板温度900℃を実現！基板ステージに3軸機構を搭載し、均一な膜厚分布を実現

スパッタリング装置

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立体物用プラズマCVD装置

高い汎用性を備えたシンプルな構造！独自のプラズマ制御方式を採用しています

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Epitaxial-EB蒸着装置

最高900℃の高温プロセスが可能！エピタキシャル促進機構により単結晶成膜に適した製品です。

蒸着装置

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High-Rate Depo. 圧電膜形成スパッタリング装置

半導体、MEMS、電子部品等に！単結晶エピタキシャルバッファ層から圧電膜まで高速かつ安定した連続成膜が可能！

スパッタリング装置

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『High-Rate Depo. 圧電膜形成スパッタリング装置』

半導体、MEMS、電子部品等に！単結晶エピタキシャルバッファ層から圧電膜まで高速かつ安定した連続成膜が可能！

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スクリュー攪拌型粉体スパッタリング装置

省スペースで大容量！各種ご要望に合わせたオーダーメイドも製作可能！

スパッタリング装置

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カセットレス自動洗浄装置

【デモ機貸し出し可能！】各種デザインもユーザーの仕様にあわせて製作！

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ウエハー高圧ジェットスクラバー　HPC-8654-H

【デモ機貸し出し可能！】ウエハー高圧ジェットスクラバー　HPC-8654-H

ウエハ加工/研磨装置
ウエハー

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ウエハー自動洗浄装置　カセットレス自動洗浄装置

【デモ機貸し出し可能！】各種デザインもユーザーの仕様にあわせて製作致します

その他半導体製造装置

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ウエハー自動洗浄装置　枚葉式自動洗浄装置　スプレータイプ

【デモ機貸し出し可能！】各種プロセスに合わせた洗浄方法で提供致します（フープ対応可）

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スピン洗浄装置　自動フォトリゾ装置

【デモ機貸し出し可能！】ローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1人で作業が出来ます

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スピン洗浄装置　自動レジストスピンコーター

【デモ機貸し出し可能！】ローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1人で作業が出来ます

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スピン洗浄装置　高性能型減圧式スピンコーター

【デモ機貸し出し可能！】N2置換、溶剤ガス導入、真空状態、等自動で行います

その他半導体製造装置
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スピン洗浄装置　スプレー現像装置

【デモ機貸し出し可能！】一度に数枚のワークを処理できます

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スピン洗浄装置　卓上型マニュアルスピンコーター

【デモ機貸し出し可能！】300mm□ガラス基板対応の卓上型マニュアル式です

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スピンドライヤー　SRD型

【デモ機貸し出し可能！】高品質を実現した1キャリア（25枚又は13枚）処理タイプの乾燥装置

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スピンドライヤー　SPD-1200G

【デモ機貸し出し可能！】蓋にULP又はHEPAフィルターを内蔵し、クリーン度を飛躍的に向上

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スピンドライヤー　SFH type

【デモ機貸し出し可能！】卓上型で本体が軽量なため移動が容易です

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スピンドライヤー　SFシリーズ

【デモ機貸し出し可能！】シリコン又は化合物半導体ウエハーの少量処理用。コンパクトな卓上型

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半導体製造装置　自動両面ウエハースクラバー（ブラシ洗浄装置）

【デモ機貸し出し可能！】ブラシ洗浄とファインジェット洗浄が組み込まれています

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キャリヤー及びフープ自動洗浄装置（カセット洗浄装置）

【デモ機貸し出し可能！】ブラシ洗浄とファインジェット洗浄が組み込まれています

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半導体製造装置　自動レジスト剥離装置

【デモ機貸し出し可能！】ブラシ洗浄とファインジェット洗浄が組み込まれています

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スピン洗浄装置　卓上型マニュアルスピンコーター MSC-300型

φ2"～φ6"基板対応卓上型マニュアル式！ディスペンサー付

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その他半導体製造装置

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スピン洗浄装置　卓上型マニュアルスピンコーター MSC-500型

300mm□ガラス基板対応の卓上型マニュアル式！

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スピン洗浄装置　フルオートスピンナー JASC-150型

現像液温度精度±1℃。φ4"φ5"φ6"を治具交換にて対応！

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スピン洗浄装置　自動フォトリゾ装置 JASC-1200AD型

対象ワークは200mm□基板又はφ300mm基板に適用します！

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【デモ機貸出中！】卓上型スピンコーター

省スペースなスピンコーター　排気装置もこの一台に内包　インナーカップ方式

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枚葉式スピンスプレー洗浄装置　SRC-15001

2流体ノズルより高圧純水をスプレー、メガソニックによる仕上げ洗浄！

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処理装置の総合カタログ「枚葉式ウエハ処理装置総合カタログ」

【無料配布中】自動エッチング装置や自動基盤用現像装置の総合カタログ

ウエハ加工/研磨装置

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枚葉式ウエハ処理装置『自動ウエハ洗浄装置』

3軸多関節クリーンロボットと単軸ロボットの組み合わせで構成！

その他半導体製造装置

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枚葉式ウエハ処理装置『自動ウエハレジスト塗布装置』

高性能のポンプを使用し高精度の塗布を行うウエハレジスト塗布装置

レジスト装置

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枚葉式ウエハ処理装置『自動レジスト塗布現像装置』

高性能のポンプを使用し高精度の塗布を行うウエハレジスト塗布装置

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枚葉式の自動洗浄装置『RCAウエハ洗浄装置』

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MH-1000　マルチワイヤーソー

●高性能電着ダイヤモンドワイヤーによるダウンカット方式 ●固定砥粒のためスラリーが不要

その他半導体製造装置
その他加工機械

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【オーダーメイド製作実績】ドライエッチング装置

「XeF2エッチング装置」「バッチ式アッシング装置」などの実績を保有しています

エッチング装置

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ロードロック式スパッタリング装置

CVD室、蒸着室、プラズマクリーニング室等の組み合わせも対応可能です！

スパッタリング装置

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立体物用スパッタリング装置

立体物成膜での高いカバレッジを実現！最大3台のスパッタカソードを搭載し、金属膜、酸化膜等の積層成膜が可能です！

スパッタリング装置

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【開発者目線を徹底】各種装置のオーダーメイド製造承ります

相談だけでも歓迎！設計から製作、組立まで自社で一貫して対応！各種装置製造でお困りの方は是非ご相談ください。※製作事例資料進呈中

スパッタリング装置

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部品『ブレードホルダー』

株式会社吉岡精工

ダイシングソー用フランジ「ブレードホルダー」

ウエハ加工/研磨装置
ダイヤモンドカッター
カッター

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チャック『セミオーダーポーラスチャック』

株式会社吉岡精工

～Webでかんたん仕様を選べる～セミオーダーポーラスチャック

半導体検査/試験装置

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チャック『加熱・冷却機能付きポーラスチャック』

株式会社吉岡精工