半導体製造装置の製品一覧
- 分類：半導体製造装置
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- その他搬送機械
ナイトライドエッチ用 石英ナイトライド・リフラックス・システム ACCUBATH
- エッチング装置
ウェットエッチングによるPSS (Patterned Sapphire Substrate)が、LED業界を変える！！
ウェットエッチングによるパターン化サファイア基板（PSS）について 現在、LED製造業者は、製造プロセスの選択肢として、二通りの全く異なるのプロセスを手にしている。ドライエッチング法を利用すれば、高輝度・高効率LEDを製造することができるが、製造には長時間を要し、スループットには限界がある。ウェットエッチング法は製造時間が短く、スケーラビリティに非常に優れているが、効率や効果に優れたLEDを製造することはできない。しかしウェットエッチング法の場合、光抽出効率を改善するためにウェハーを研磨し、改良する作業を行った場合であっても、ドライエッチング法に比べて大幅なコスト削減が可能である。また非常に効率良くスケールアップすることが可能であることから、スループットを増やし、ウェハーのサイズを拡大するたびに、コスト削減率が何倍にも劇的に増えることになる。
