半導体製造装置の製品一覧

  • 分類:半導体製造装置

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【重量物の取り扱いによる作業負担を軽減!】お客様の課題を解決した導入事例5選を収録!ワークに応じた無料相談、テストも受付中!

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  • その他搬送機械

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室温から-13°Cの強冷風!ご使用環境によりコンボタイプかセパレートタイプを選択可能!

  • 冷却装置

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2024/4/10(水)~2024/4/12(金)名古屋 ものづくり ワールド 2024出展のご案内

三和式ベンチレーター株式会社は、ポートメッセなごやで開催される 2024ものつくりワールド(名古屋)に出店いたします。 弊社も大型冷風機、涼暖ビエントの展示をおこないます。 日時:2024/4/10~2024/4/12    開場:AM10:00~ 場所:名古屋ポートメッセ(第1展示会場) ※弊社ブース:19-1 お時間が御座いましたら、ご来場頂ければ幸いです。

搬送・洗浄・エッチング・CMP・めっき・検査まで。半導体製造の幅広い工程を支えるコーティング

  • その他半導体製造装置

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搬送ハンドの傷・欠け防止から躯体の腐食対策まで。ウエハー搬送の信頼性を高めるコーティング

  • その他半導体製造装置

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腐食防止・金属イオン溶出防止・ウエハー傷防止。洗浄装置の課題をまとめて解決

  • その他半導体製造装置

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ウエハーの傷・固着・金属粉発生を防止し、検査工程のクリーン環境を維持

  • その他半導体製造装置

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各種薬液環境に耐える化学的安定性。半導体製造装置の腐食対策に最適なフッ素樹脂コーティング

  • その他半導体製造装置

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大判、高密度の赤外線(IR)サーマルイメージング・デバイス、量子プロセッサー、マイクロLEDディスプレイの製造に関する情報を紹介

  • その他半導体製造装置

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アプリケーションと材料の観点から、2種類のレーザーアシスト技術を提供します!

  • その他半導体製造装置

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脳波計の同相信号除去比とシステムノイズテスト用に設計!

  • テスタ

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強化された耐性による15秒間隔での集中的ショックテストが生産性を向上!

  • テスタ

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反射型PPG製品の開発に好適!RとIRのアナログ信号を出力

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  • テスタ

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システム検証とソフトウェアのアルゴリズムの評価の為に設計!

  • テスタ

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フィンガークリップオキシメータや患者モニタなどの開発に好適なテスタ!

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  • テスタ

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パフォーマンステスト用に設計された心電図シミュレーター!

  • シミュレーター
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正確さ、利便性そしてテストの自動化をひとまとめにしました!

  • テスタ

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マルチエミッターモジュールのアセンブリ・ボンディングに関する情報を詳しく掲載

  • その他半導体製造装置

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「厚銅の精密加工と『廃液削減』を両立。ドイツの知性が生んだ資源循環型プロセス。SiC/GaN向け放熱基板の微細加工に最適。

  • エッチング装置

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Ti-6Al-4Vも対応。フッ酸精密制御で酸化膜除去・表面粗化・コーティング前処理を安全に実現。TÜV SÜD認証取得済み。

  • その他加工機械
  • エッチング装置

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リアルタイム測定と連動したレーザーアブレーションで抵抗値を精密調整。厚膜・薄膜ハイブリッド回路の製造ばらつきをゼロへ。

  • その他半導体製造装置

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AIと分析技術を活用し、付加価値の高い解析サービスを提供します。

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  • 受託解析
  • 受託解析
  • 半導体検査/試験装置

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極めて精密な流量制御が可能で、脈動が非常に少なくスムーズな液体の流れを実現

  • コーター
  • エッチング装置
  • CMP装置

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熱圧着実装!フリップチップを確実に接合するための迅速かつ簡単な方法

  • ボンディング装置

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3Dパッケージング技術に関連する実験手法と用いたパラメータ、およびその結果をご紹介!

  • ボンディング装置

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屋外や油まみれの過酷な現場で、銘板の文字消えや剥がれに悩んでいませんか?図面1枚から高耐久な銘板をオーダーメイド一貫生産します。

  • エッチング装置
  • 銘板

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大面積へのスパッタが可能!冷却なしでもフィルムへの成膜ができます

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  • スパッタリング装置

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PU(ウレタン)ライニング採用で高効率・低コスト・長寿命を実現!

  • スクリーンショット 2026-06-15 163835.png
  • 銘板シール用(株)フィット(30×80?).png
  • 特殊加工機械
  • ウエハ加工/研磨装置
  • その他工作機械

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ワンンタッチ接続で簡単に純水が得られます。食品業界に最適です!

  • そのほか消耗品
  • その他半導体製造装置
  • 純水製造装置

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ワンンタッチ接続で簡単に純水が得られます。前処理用に最適です!

  • そのほか消耗品
  • その他半導体製造装置
  • 純水製造装置

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ワンンタッチ接続で簡単に純水が得ることができます。

  • そのほか消耗品
  • その他半導体製造装置
  • 純水製造装置

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ワンンタッチ接続で簡単に純水が得られます。研究用途に最適です!

  • そのほか消耗品
  • その他半導体製造装置
  • 純水製造装置

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ワンンタッチ接続で簡単に純水が得られます。産業装置に最適です!

  • そのほか消耗品
  • その他半導体製造装置
  • 純水製造装置

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ワンンタッチ接続で簡単に純水が得られます。純水装置の後処理に最適です!

  • そのほか消耗品
  • その他半導体製造装置
  • 純水製造装置

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難削材での厳しい寸法公差にも対応可能!高能率切削で大物機械加工が可能です

  • 加工受託
  • 製造受託
  • その他半導体製造装置

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Max1000℃、MFC最大3系統、APC圧力制御、4"、又は6"基板対応、 高真空アニール装置(<5 × 10-7 mbar)

  • アニール炉

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◆nanoANNEAL◆ ウエハーアニール装置

Max1000℃、MFC最大3系統、APC圧力制御、4"〜最大6"基板対応、 高真空アニール装置(<5 × 10-7 mbar) [nanoANNEAL]は、ウエハー等の基板を安定したプロセス雰囲気にて高温熱処理が可能な研究開発用アニール装置です。 高真空水冷式SUSチャンバー内に設置した加熱ステージにより最高1000℃までの高温処理が可能です。チャンバー内にはヒートシールドが設置されインターロックにて安全を確保。マスフローコントローラは最大3系統まで増設が可能、精密に調整されたプロセスガス圧力での焼成作業が可能です(APC自動プロセス制御システムオプション)。 又、フロントビューポート、ドライスクロールポンプ、特殊基板ホルダー、熱電対増設、などオプションも豊富。 チャンバー内加熱ステージは、プロセスガス雰囲気・処理温度により3種類のバリエーションがあります。 ・ハロゲンランプヒーター:Max500℃ ・C/Cコンポジットヒーター:Max1000℃(真空中、不活性ガスのみ) ・SiCコーティングヒーター:Max1000℃(真空、不活性ガス、O2)

右巻き・左巻きの組み合わせでゴミの流れを制御。清掃効率と品質安定に貢献します。

  • 現場の“困った”をブラシで解決!!技術提案事例集 (9)_page-0013.jpg
  • 現場の“困った”をブラシで解決!!技術提案事例集 (9)_page-0014.jpg
  • コンベヤ
  • プラスチック金型
  • モールディング装置

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Max1000℃、MFC最大3系統、APC圧力制御、4"、又は6"基板対応、 高真空アニール装置(<5 × 10-7 mbar)

  • アニール炉
  • 加熱装置
  • 電気炉

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4元マルチスパッタ装置 【MiniLab-S070】

Φ2inchカソード x 4搭載 同時成膜:3元同時成膜(RF150W or DC780W)+ HiPIMS(PulseDC 5KW) x 1 プラズマリレーSWでHMI画面より自在に4カソードへの電源分配・配置設定の変更が可能 MFC x 3系統(Ar, O2, N2)反応性スパッタリング RIEエッチングステージRF150W(メインチャンバー) + <30Wソフトエッチング(LLチャンバー) 基板加熱:Max500℃, 800℃, 又は1000℃(C/C、又はSiCコート) 基板回転・上下昇降(ステッピングモーター自動制御) APC自動制御:アップストリーム(MFC流量調整)又はダウンストリーム(排気側バルブ自動開度調整) デポレート・膜厚レート制御 寸法:1,120(W) x 800(D) ●抵抗加熱蒸着・有機材料蒸着・EB蒸着・PECVDなどの混在仕様も構成可能です。

半導体のCMP工程における過酸化水素の濃度をプロセス分析計 / オンライン分析計で常時モニタリング!

  • platform2060_EN.gif
  • 分析機器・装置
  • 半導体検査/試験装置
  • ウエハー

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研磨材・触媒用途で実績多数の定番材料、安定供給可能

  • ウエハ加工/研磨装置
  • 手研磨・ヤスリ
  • 自動車触媒評価試験装置

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半導体製造における微粒子スラッジ除去と作業負荷軽減に

  • ろ過装置
  • その他半導体製造装置
  • 研削盤

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最先端レベルのFlashメモリ書込みとセキュアデバイスプロビジョニングにいち早く対応し、国内の幅広い用途に拡販!

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  • その他半導体製造装置
  • マイクロコンピュータ
  • 半導体検査/試験装置

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全自動高速遠心分離機で、スラッジの除去+作業者の手間を大幅削減!

  • ろ過装置
  • その他半導体製造装置
  • 研削盤

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