CVD装置の製品一覧

１００万回繰り返しても壊れない！確実動作と高耐久性・低価格のマットスイッチ。工作機械のオプションなどにも。納期ご相談ください。

• センサ

直径３０ｍｍ程度から8インチ、高ライフタイム、１万オームを超えるような高抵抗も対応可能！薄化、チップ加工もアレンジいたします！

• その他半導体
• 加工受託
• ウエハー

ハーネス加工の簡素化などの提案を行い、ハーネス検査用のソフトの導入をして、量産化を実現！

• CVD装置

低容量チャンバによるガス使用効率の向上！量産化するためのサポートも行った実績

• CVD装置

開発機及び量産機ともに製造に関わり、短期間での製造・量産化での製造を実現！

• CVD装置

機能性アルミフレームと豊富なアクセサリーのコストダウン【単品はもちろん、面組・立体の「組立品」としても承ります！】

• その他組立機械
• CVD装置

顧客満足と技術力を限りなく追求し、社会に貢献する。OEMや試作機の受託製造等に多くの実績を持ちます

• CVD装置
• ウエハ加工/研磨装置
• その他半導体製造装置

各種成膜処理ができる半導体ウェハー・アドバンストパッケージング向け成膜プラットフォーム

• スパッタリング装置
• エッチング装置
• CVD装置

半導体・医療機器分野に求められる高清浄度に対応。精密洗浄から包装・組立までを一貫してクリーン環境で行います。

• CVD装置
• スパッタリング装置
• レジスト装置

「金属容器用プラズマCVD装置」「ICP型MOCVD装置」などの実績を保有しています！

• CVD装置

3L容器までコーティング可能！容器軽量化による物流コストの低減などに貢献します

• CVD装置

高い汎用性を備えたシンプルな構造！独自のプラズマ制御方式を採用しています

• CVD装置

対応可能膜種はDLC、アモルファスSiC等！基板加熱機構付き（最高設定温度：500℃）

• プラズマ発生装置
• CVD装置

超耐熱・低吸水率・優れた摺動特性を誇るエンジニアリングプラスチックです。

• CVD装置
• バルブ
• プラスチック

特殊ガス用途に開発された静電容量方式の圧力センサ

• CVD装置
• エッチング装置
• 圧力制御

特殊ガスのモニターと制御用に開発されたウルトラクリーンセンサ

• CVD装置
• エッチング装置
• 圧力制御

各種半導体基板上への窒化物半導体結晶の成長実績あり。ご要望に応じたカスタマイズも可能。

• CVD装置
• LEDモジュール
• ウエハー