CVD装置の製品一覧

【重量物の取り扱いによる作業負担を軽減！】お客様の課題を解決した導入事例5選を収録！ワークに応じた無料相談、テストも受付中！

• その他搬送機械

JIS・ISO規格の解説資料進呈。豊富な製品シリーズから好適な安全柵をご提案！デモキット無料貸出。

• その他安全・衛生用品

熱伝導を圧力に変換して、真空計測を行えます。

• CVD装置

小型なボディで装置組込みの省スペース化！

• CVD装置

センサー・回路部・ディスプレイが一体型のコンパクトな熱陰極電離真空計です。16種類のガスに対応し、金属製センサーも使用！

• CVD装置

【特に人気のある3事例をまとめて進呈中！】「バルブを変える」ことでトラブル発生率低下も。作業者を危険から守る安全対策のヒント集

• その他半導体製造装置
• バルブ
• CVD装置

『流路まるごと事例集』半導体材料メーカー様　必見！分解洗浄を可能としたダイヤフラムバルブの事例を進呈中

• その他半導体製造装置
• バルブ
• CVD装置

『流路まるごと事例集』錠やタグ付きワイヤーでバルブをロック！バルブ誤操作対策の事例を進呈中

• その他半導体製造装置
• CVD装置
• 酸化/拡散装置

『流路まるごと事例集』バルブ半開によるヒヤリハット事例がある方、狭所での閉止確認にお困りの方必見！ 安全対策の事例を進呈中。

• CVD装置
• 酸化/拡散装置
• その他半導体製造装置

『流路まるごと事例集』半導体ガス供給装置輸送時のリスクに先手を打つ。安全対策の事例を進呈中

• その他半導体製造装置
• CVD装置
• 酸化/拡散装置

除害装置前段やCVD排気ラインの副生成物対応にお困りの方必見！ 高温（180℃）バルブで副生成物を抑制した事例を進呈！

• CVD装置
• 酸化/拡散装置
• その他半導体製造装置

『流路まるごと事例集』ワイヤーや錠の取付け不要！ヒューマンエラーによるバルブの誤作動を防止するロック付きバルブの事例を進呈中

• CVD装置
• その他半導体製造装置
• バルブ

内径わずか1mmのパイプの内側にも施工可！潤滑、耐蝕、離型に優れているので用途は厨房機器から宇宙機器に至るまで様々です。

• その他表面処理装置
• CVD装置

排気を上方向に排出する機構を採用。周囲のチップを噴出気体により吹き飛ばすことなく非接触でつかみ移載します。

• ウエハー
• CVD装置
• ウエハ加工/研磨装置

中古半導体製造装置

• CVD装置

フッ素樹脂チューブライニングとは、金属パイプ内面にフッ素樹脂チューブ（内径3mm～）を焼付して接着させるライニング技術です。

• 印刷機械
• ろ過装置
• CVD装置

毒性ガス漏洩の緊急時に無害化します。（高圧ガス保安法一般則第55条第1項　対応可）

• CVD装置
• プラズマ表面処理装置
• ガス回収/処理装置