CVD装置の製品一覧

  • 分類:CVD装置

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100万回繰り返しても壊れない!確実動作と高耐久性・低価格のマットスイッチ。工作機械のオプションなどにも。納期ご相談ください。

  • センサ

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直径30mm程度から8インチ、高ライフタイム、1万オームを超えるような高抵抗も対応可能!薄化、チップ加工もアレンジいたします!

  • その他半導体
  • 加工受託
  • ウエハー

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独自の冷却技術を用いた 多段ルーツ式真空ポンプ

  • CVD装置

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TiC処理やTiCN処理が可能!PVD処理より過酷な条件での使用ができます

  • CVD装置

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独自のLIA方式プラズマ源を採用し、樹脂フィルムや金属箔に超高速、高品質な真空成膜を実現!

  • CVD装置

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独自のLIA方式プラズマ源を採用し、ガラス、金属などの平板基材に超高速、高品質な真空成膜を実現!

  • CVD装置

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省スペース設計で、バキュームポンプ・モジュールはプロセス・モジュールから最大18m離して設置することができます。

  • CVD装置

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弊社にてデモ可能! 市場初投入の新技術。大気圧プラズマでCVD。 少量多品種に対応できます。

  • CVD装置
  • その他塗装機械
  • その他加工機械

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耐熱性があり、かつ耐熱衝撃性にも優れている『窒化珪素』は、機械的強度も強くバランスの良い素材です。

  • ファインセラミックス
  • CVD装置
  • 加熱装置

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パッシベーション用MBE装置は、レーザーファセットパッシベーション等のために特別設計された各種チャンバーで構成されております。

  • 蒸着装置
  • CVD装置

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真空配管設備の不安を解消!プラズマや熱によるセンターリングの劣化対策の事例を進呈中

  • その他半導体製造装置
  • バルブ
  • CVD装置

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フロー管理システムが搭載!粉体へも高温でのCVD/PECVDによる処理が可能

  • CVD装置

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多彩なプラズマソースが搭載可能!CVD、MOCVDやALD装置をカスタマイズ設計

  • CVD装置

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最大成膜温度は800℃!チャンバー加熱機構で最大4x DLI気化器を搭載可能

  • CVD装置

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SI 500-1M、SI 500 PPD-1Mなど搭載可能!搬送チャンバーは3種類から

  • CVD装置

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