スパッタリング装置の製品一覧

  • 分類:スパッタリング装置

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100万回繰り返しても壊れない!確実動作と高耐久性・低価格のマットスイッチ。工作機械のオプションなどにも。納期ご相談ください。

  • センサ

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直径30mm程度から8インチ、高ライフタイム、1万オームを超えるような高抵抗も対応可能!薄化、チップ加工もアレンジいたします!

  • その他半導体
  • 加工受託
  • ウエハー

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簡易でありながらφ3インチターゲットのマグネトロンカソードと200L/sの広域型ターボ分子ポンプを搭載。

  • プラズマ表面処理装置
  • 有機EL
  • スパッタリング装置

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SiC/Si複合材料をターゲット材としてご使用頂いております。

  • スパッタリング装置
  • その他金属材料
  • ファインセラミックス

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CVD室、蒸着室、プラズマクリーニング室等の組み合わせも対応可!オーダーメイド製作実績多数あり!

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  • スパッタリング装置

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粉体凝集対策可能!各種ご要望に合わせたオーダーメイドも製作可能!

  • スパッタリング装置
  • プラズマ表面処理装置
  • その他表面処理装置

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アフターサービスの対応にも好評!定期メンテナンスを実施する事で装置の長寿命化を実現

  • スパッタリング装置

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装置の設計からアフターサービスまで!各種装置のご提案が可能です

  • スパッタリング装置

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装置の設計からアフターサービスに至るライフサイクルすべてをサポート!

  • スパッタリング装置
  • プラズマ表面処理装置

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「顧客満足と技術力を限りなく追求し、社会に貢献する」という経営理念のもとに事業を展開

  • 真空機器
  • 蒸着装置
  • スパッタリング装置

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現地調査から設計・施工まで、経験豊富なエンジニアが対応します!

  • その他電子部品
  • スパッタリング装置

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各種成膜処理ができる半導体ウェハー・アドバンストパッケージング向け成膜プラットフォーム

  • スパッタリング装置
  • エッチング装置
  • CVD装置

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高速かつ柔軟性のある基板成膜用途向けの大量生産ソリューションを提供!

  • スパッタリング装置
  • エッチング装置

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半導体・医療機器分野に求められる高清浄度に対応。精密洗浄から包装・組立までを一貫してクリーン環境で行います。

  • CVD装置
  • スパッタリング装置
  • レジスト装置

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柔軟性、コンパクトな設計、および低い投資コスト!少量生産に理想的な選択肢

  • スパッタリング装置
  • エッチング装置

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業界で非常に低いRcのシステム設計と最高レベルのウェーハ間再現性!

  • スパッタリング装置
  • エッチング装置

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PLP向けにより高い生産性!より多くのプロセス可能性。アドバンストパッケージング向けに最適

  • スパッタリング装置
  • エッチング装置

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Evatec、CLUSTERLINE 600で日本の次世代パッケージング市場へ本格参入 - AI・HPC向けPanel-Level Packaging時代に向けた事業展開を拡大

Evatec AG(本社:スイス)は、日本市場における大型パネル対応成膜プラットフォーム「CLUSTERLINE 600」の展開を本格化し、急成長するAI(人工知能)および高性能コンピューティング(HPC)向け次世代パッケージング市場へ本格参入いたします。 世界の半導体エコシステムでは、大型インターポーザ、超高密度RDL(Redistribution Layer)、ガラスコア基板、パネルレベルパッケージングなどの新しい製造アーキテクチャへの移行が加速しています。特にAI向けパッケージの大型化に伴い、従来の300mmウェハベースの製造から、600mmクラスのパネルプロセスへの移行が次世代製造技術として注目されています。 Evatecは、この変化を今後10年間の半導体産業における最も重要な成長機会の一つと位置付けています。CLUSTERLINE 600を中核製品として、日本市場における先端パッケージング事業を拡大し、パネルレベルパッケージング、先端IC基板、ガラスコア基板などの分野において、お客様の技術開発および量産化を支援してまいります。

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