エッチング装置の製品一覧

【重量物の取り扱いによる作業負担を軽減！】お客様の課題を解決した導入事例5選を収録！ワークに応じた無料相談、テストも受付中！

その他搬送機械

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安全柵　『SATECH』【低コスト＆スピード施工！】

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SATECH株式会社

JIS・ISO規格の解説資料進呈。豊富な製品シリーズから好適な安全柵をご提案！デモキット無料貸出。

その他安全・衛生用品

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半導体製造装置据付・保守一貫対応サービス

株式会社BRICS

クリーンルーム対応の精密機器据付から保守まで、半導体製造装置の導入をトータルサポート！補足情報

CVD装置
エッチング装置
レジスト装置

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板厚はご相談ください！小ロットからも対応可能なエッチング加工

クロダ精機株式会社

小ロットの時は厳しい要求のご相談に対応！エッチング加工

エッチング装置

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ドライエッチング装置

RIEモードとDPモードの切り替えが可能！特殊表面処理によるメタルコンタミ低減

エッチング装置

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アッシング装置

エッチング、アッシング及びイオンクリーニングを可能とする汎用性に優れたコンパクトな装置です！

エッチング装置
アッシング装置

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エッチング装置　スプレー式ウエハーエッチング装置

【デモ機貸し出し可能！】一連の洗浄・エッチング処理を行い、純水処理・乾燥までを処理する装置です

エッチング装置

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エッチング装置　ウエハ洗浄装置

【デモ機貸し出し可能！】処理槽からリンス槽へ円弧搬送しウエハーを処理する半自動装置

エッチング装置

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エッチング装置　急速エッチング装置

【デモ機貸し出し可能！】ウエハーは専用のバレルに装填され処理されます

エッチング装置

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エッチング装置　半自動ウエハーエッチング装置

【デモ機貸し出し可能！】カセットで前処理を行った後、専用バレルで自動エッチングを行います

エッチング装置

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枚葉式ウエハ処理装置『自動エッチング装置』

装置のセンターに3軸多関節クリーンロボットを設置しウエハ搬送！

エッチング装置

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【オーダーメイド製作実績】ドライエッチング装置

「XeF2エッチング装置」「バッチ式アッシング装置」などの実績を保有しています

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エッチングのあれこれ

株式会社イコール本社・営業部

エッチングのあれこれ

エッチング装置

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【研究・開発用途向け】フォトマスクドライエッチング装置

プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

フォトマスクの新規開発に携わる方必見！コンパクトな設計で、様々なサイズのフォトマスク・ウエハの処理が可能なドライエッチング装置

エッチング装置

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ＦＲＰ製　工業用ローラー　「ＦＰローラー」

富士化工株式会社

エッチング工程に適した高耐食高耐久ローラー

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イオンビームエッチング(IBE)・成膜装置(IBD)

プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

R＆D用特殊仕様から量産向けまで対応可能！一般的なグリッドと比較して約3倍の長寿命化

エッチング装置

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ウエハー洗浄装置（バッチ式）※テスト可能機種あり

株式会社ダルトン