エッチング装置の製品一覧

  • 分類:エッチング装置

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【重量物の取り扱いによる作業負担を軽減!】お客様の課題を解決した導入事例5選を収録!ワークに応じた無料相談、テストも受付中!

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  • その他搬送機械

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室温から-13°Cの強冷風!ご使用環境によりコンボタイプかセパレートタイプを選択可能!

  • 冷却装置

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2024/4/10(水)~2024/4/12(金)名古屋 ものづくり ワールド 2024出展のご案内

三和式ベンチレーター株式会社は、ポートメッセなごやで開催される 2024ものつくりワールド(名古屋)に出店いたします。 弊社も大型冷風機、涼暖ビエントの展示をおこないます。 日時:2024/4/10~2024/4/12    開場:AM10:00~ 場所:名古屋ポートメッセ(第1展示会場) ※弊社ブース:19-1 お時間が御座いましたら、ご来場頂ければ幸いです。

RIEモードとDPモードの切り替えが可能!特殊表面処理によるメタルコンタミ低減

  • エッチング装置

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エッチング、アッシング及びイオンクリーニングを可能とする汎用性に優れたコンパクトな装置です!

  • エッチング装置
  • アッシング装置

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【デモ機貸し出し可能!】一連の洗浄・エッチング処理を行い、純水処理・乾燥までを処理する装置です

  • エッチング装置

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【デモ機貸し出し可能!】処理槽からリンス槽へ円弧搬送しウエハーを処理する半自動装置

  • エッチング装置

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【デモ機貸し出し可能!】ウエハーは専用のバレルに装填され処理されます

  • エッチング装置

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【デモ機貸し出し可能!】カセットで前処理を行った後、専用バレルで自動エッチングを行います

  • エッチング装置

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装置のセンターに3軸多関節クリーンロボットを設置しウエハ搬送!

  • エッチング装置

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「XeF2エッチング装置」「バッチ式アッシング装置」などの実績を保有しています

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  • エッチング装置

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フォトマスクの新規開発に携わる方必見!コンパクトな設計で、様々なサイズのフォトマスク・ウエハの処理が可能なドライエッチング装置

  • エッチング装置

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R&D用特殊仕様から量産向けまで対応可能!一般的なグリッドと比較して約3倍の長寿命化

  • エッチング装置

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半導体製造装置の流量制御に必要な高精度の圧力センサ各種。モジュールのカスタマイズも可能です。

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  • 半導体検査/試験装置
  • エッチング装置
  • スパッタリング装置

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半導体製造装置やMEMS圧力センサの計測試験/ライン検査に圧力コントローラPACEを導入しませんか?

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  • 半導体検査/試験装置
  • エッチング装置
  • スパッタリング装置

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製造ラインの圧力校正試験にPACEシリーズを導入しませんか?生産コストの削減も可能です!

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  • エッチング装置
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  • 圧力計

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MEMS加工の精度と効率を向上!高精度エッチング・成膜技術をご紹介いたします。 ※4月16日 ~ 4月17日開催

  • エッチング装置

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「MEMS Engineer Forum 2025」 - 技術展示のお知らせ

2025年4月16日~17日に開催される「MEMS Engineer Forum 2025」の技術展示コーナーに出展致します。 <展示内容> 1 高密度ラジカルによる低温・低ダメージエッチング・クリーニング装置の紹介 特許取得済みのHDRF技術により、MEMSの歩留原因を取り除きます。 2 これからの高周波デバイスや高速光変調導波路加工に不可欠な加工技術(イオン・ビーム・エッチング)の紹介   多層構造物の加工に最適なイオン・ビーム・エッチング。加工面の角度調整、側壁の粗さ調整が可能です。  3 化合物半導体のバッチ処理に適したプラズマ・エッチング、成膜装置の紹介   「シャトル」(ウエハキャリア)に複数枚のウエハを搭載し、バッチ処理が出来ます。少量量産に適した装置。 ご来場お待ちしております。

独自の技術であるSDCプラズマ表面硬化処理により、潤滑剤・めっきを使用せずに焼付固着可能な六角ボルト。クリーン環境に対応。

  • エッチング装置

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様々な半導体基板やガラス、ダイヤ等にも加工可能

  • エッチング装置
  • 電子ビーム描画装置
  • 加工受託

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【国際フロンティア産業メッセ2021】へ出展致します。

この度、来る9月2日(木)・3日(金)、 「国際フロンティア産業メッセ2021」 に出展させていただく運びとなりました。 【出展小間位置】 Ⅾ-63(2号館) 「国際フロンティア産業メッセ2021」____________ 〈開催日〉9月2日(木)・3日(金) 〈開催場所〉神戸国際展示場1・2号館 先端技術の紹介や新事業創出の基盤となる製品展示を中心に、 技術交流・ビジネスマッチングを図る西日本最大級の産業総合展示会です。 _____________________________ 本展示会では、主催者による新型コロナウイルス感染症対策が実施されております。 また、弊社スタッフも検温による健康管理の上、常時マスクを着用、 手指消毒の徹底、距離を保った接客などの感染防止対策を実施いたします。 入場は無料です。皆様のご来場を心よりお待ちしております。 引き続き社員一同皆様方のご期待にお応えできる様、精進して参りますので、 何卒倍旧のご愛顧を賜ります様、宜しくお願い申し上げます。

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自動車部品リアアスクル部の組付け専用治具(リアアスクル)

製作実績 / リアアスクル部 組付け専用治具 ■お客様 機械、工具の総合商社 様 ■導入目的 自動車メーカー様用の自動車部品の組付け治具を製作 ■装置寸法(mm)/W×D×H 約710mm × 300mm × 550mm 仕様やその他、詳しい内容は製品ページにてご確認ください。 下記【関連ページ】よりご覧いただけます。

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【国際フロンティア産業メッセ2021】へ出展致します。

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【国際フロンティア産業メッセ2021】へ出展致します。

この度、来る9月2日(木)・3日(金)、 「国際フロンティア産業メッセ2021」 に出展させていただく運びとなりました。 【出展小間位置】 Ⅾ-63(2号館) 「国際フロンティア産業メッセ2021」____________ 〈開催日〉9月2日(木)・3日(金) 〈開催場所〉神戸国際展示場1・2号館 先端技術の紹介や新事業創出の基盤となる製品展示を中心に、 技術交流・ビジネスマッチングを図る西日本最大級の産業総合展示会です。 _____________________________ 本展示会では、主催者による新型コロナウイルス感染症対策が実施されております。 また、弊社スタッフも検温による健康管理の上、常時マスクを着用、 手指消毒の徹底、距離を保った接客などの感染防止対策を実施いたします。 入場は無料です。皆様のご来場を心よりお待ちしております。 引き続き社員一同皆様方のご期待にお応えできる様、精進して参りますので、 何卒倍旧のご愛顧を賜ります様、宜しくお願い申し上げます。

極低温から高温環境まで、不純物を嫌う現場に最適な今注目のボルトナットです!

  • エッチング装置

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潤滑剤・めっきを使わず焼付・カジリを防止!クリーン環境に最適な六角ボルト

  • エッチング装置

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極低温から高温環境まで、不純物を嫌う現場に最適な今注目のボルトナットです!

  • エッチング装置

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セミナーでは、HDRF-高密度ラジカルで、ポリマー、HDIレジストを低温除去できる新技術などをご紹介予定

  • エッチング装置

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金属のエッチング加工の基本的な仕組みや流れについてご紹介!

  • エッチング装置

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シンプルな窓抜き型から微細なデザインパターンまで、さまざま応用展開が可能です

  • エッチング装置

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スキャン時には周速制御による均一性向上も可能!従来より多数の御使用を戴き実績も豊富

  • エッチング装置

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<30W ローパワー・エッチング制御精度10mW ダメージレス・繊細なエッチング処理を実現

  • エッチング装置

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ウエハーアニール装置【nanoANNEAL】Max1000℃ APC自動圧力制御 MFC x3系統 Φ4〜6inch基板対応

Max1000℃、MFC最大3系統、APC圧力制御、4"〜最大6"基板対応、 高真空アニール装置(<5 × 10-7 mbar) [nanoANNEAL]は、ウエハー等の基板を安定したプロセス雰囲気にて高温熱処理が可能な研究開発用アニール装置です。 高真空水冷式SUSチャンバー内に設置した加熱ステージにより最高1000℃までの高温処理が可能です。チャンバー内にはヒートシールドが設置されインターロックにて安全を確保。マスフローコントローラは最大3系統まで増設が可能、精密に調整されたプロセスガス圧力での焼成作業が可能です(APC自動プロセス制御システムオプション)。 又、フロントビューポート、ドライスクロールポンプ、特殊基板ホルダー、熱電対増設、などオプションも豊富。 チャンバー内加熱ステージは、プロセスガス雰囲気・処理温度により3種類のバリエーションがあります。 ・ハロゲンランプヒーター:Max500℃ ・C/Cコンポジットヒーター:Max1000℃(真空中、不活性ガスのみ) ・SiCコーティングヒーター:Max1000℃(真空、不活性ガス、O2)

スプレー上下にそれぞれ圧力計を搭載した小型エッチングマシン!

  • エッチング装置

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当社独自のノズル配置とオシレーション機構により高精度にムラなくエッチングが可能!

  • エッチング装置

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フランスで設計・製造された業界最小、ウエハトレイのみ交換で2~12インチウエハ対応、Corial 300・500シリーズ

  • エッチング装置

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静電チャック、ピンチャック等の調達にお困り事があった方は必見! 海外生産による高精度、高品質のセラミック部品をご提案します!

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  • エッチング装置

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エッチング加工と金属拡散接合技術にて製作したスクリーン!写真付きでご紹介

  • 加工受託
  • エッチング装置

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ガラス基板や光学フィルム、各種高機能フィルムへの微細加工!

  • エッチング装置
  • 加工受託

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φ200mmウェーハまで対応!成膜・エッチングの両用が可能なプラズマCVD装置です

  • エッチング装置

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広い透過特性、硬い、化学的に安定、熱に強い、熱伝導が良い、サファイア製部品を提供しています

  • エッチング装置

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多品種、小ロット対応!貫通加工だけでなく、任意の深さのザグリ加工もできます

  • エッチング装置

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フラット性や磁性や耐熱性の要求に対応!多品種の小ロット対応の案件をエッチングの技術を用いて実現

  • エッチング装置

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エッチング加工で作成した世界で一つしかない思い出に残るフォトフレームが完成しました!

  • エッチング装置

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小ロット対応!水晶研磨用のラッピングキャリアをフォトエッチングにて製造した事例のご紹介

  • エッチング装置

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試作の短納期対応なども可能!オリジナルのゴボプレートを作成した事例をご紹介します

  • エッチング装置

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低コストにて対応するために、エッチングで必要不可欠な原版も友取り・共用等にするなど工夫しています!

  • エッチング装置

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試作品も大歓迎!原版作成からエッチング加工まで、当社にお任せください

  • エッチング装置

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