電子ビーム描画装置の製品一覧

アイソレーターをお持ちの方へ。高い薬品耐性と作業性を実現。低価格、短納期も実現可能なグローブボックス・アイソレーター用グローブ

• 作業用手袋

洗浄可能な、タッチレス(非接触)構造のバルブフィーダー！異物混入リスクを低減しました

• フィーダー

2台のロボットが協調しながら似顔絵を作画！輪郭などの線を画像から抽出してロボットの軌跡を生成します

• 電子ビーム描画装置
• 画像処理機器
• その他画像関連機器

ビームエネルギー100～2,000eV！独創的な磁路設計による均一長尺イオンビーム

• 電子ビーム描画装置
• その他機械要素

MEMS加工装置用イオン源に！ご要望に合わせたオーダーメイドが可能です

• 電子ビーム描画装置
• その他機械要素

3波長を自在にコントロールし、最適な波長域でダイレクトイメージングが可能

• 電子ビーム描画装置

スルーホールやレーザービア（LVH）検査に多くの実績あり。長年の知見と最新技術を結集したハイエンド基板向けAOI

• 電子ビーム描画装置

高速可変可能なビームシェーパーを使用！微細マーキングを用いたアプリケーション【レーザーEXPO　出展】

• 電子ビーム描画装置
• レーザーマーカー

従来の電子源と比較して、低エネルギー分散かつ大電流を得ることが可能

• 電子ビーム描画装置
• その他理化学機器

ロバストな高輝度・長寿命・低消費電力電子銃の開発資料！

• 電子ビーム描画装置
• その他電子部品

TFE電子銃用の高圧電源装置です！

• 半導体検査/試験装置
• 電子ビーム描画装置
• その他加工機械

TFE電子銃、電子線リソグラフィ用の、高圧電源装置「FE503XP」です！

• 半導体検査/試験装置
• 電子ビーム描画装置
• その他加工機械

開発期間の短縮にも役立つ、FIBイオン銃用の高圧電源装置「IB303XS」です！

• 半導体検査/試験装置
• 電子ビーム描画装置
• その他加工機械

開発期間の短縮にも役立つ、FIBイオン銃用の高圧電源装置「IB303XP」です！

• 半導体検査/試験装置
• 電子ビーム描画装置
• その他加工機械

サーマルFEエミッタを使用した軟Ｘ線管専用の駆動電源「XE303XP」です！

• 半導体検査/試験装置
• 電子ビーム描画装置
• その他加工機械

TFE電子銃用の高精度な高圧電源装置です！

• 半導体検査/試験装置
• 電子ビーム描画装置
• その他加工機械

CD-SEM、レビューSEM用の高圧電源装置「FE103XP」です！

• 半導体検査/試験装置
• 電子ビーム描画装置
• その他加工機械

世界で初めて最小画素1μm（オプション：0.5um対応可能）の自由度の高いパターニングを実現！DMDを用いたマスクレス露光装置

• 3Ｄプリンタ
• 電子ビーム描画装置
• その他半導体製造装置

ハーメチックフィードスルー

• 電子ビーム描画装置
• その他半導体製造装置
• 分析機器・装置

真空非磁性 ＵＳＭ駆動ユニット＜特注＞

• 電子ビーム描画装置
• その他半導体製造装置
• 分析機器・装置

ファイバーレーザー溶接によるアルミ板金溶接

• 電子ビーム描画装置

高出力赤色半導体レーザーマーキング／品番 M1170NMSH-7LA

• 電子ビーム描画装置
• 刻印機
• レーザーマーカー

ＦＰＤのセルパネル欠陥に対し、ＩＴＯパターンをカットして修正可能。

• 電子ビーム描画装置
• レーザーマーカー
• その他加工機械

今までの露光装置とは生産性が違います！

• 電子ビーム描画装置
• その他半導体製造装置
• レジスト装置

表面処理装置　スパッタ用イオン銃

• スパッタリング装置
• 電子ビーム描画装置

表面処理装置　走査型イオン銃

• スパッタリング装置
• 電子ビーム描画装置

小型･高精度･低消費電流を誇り、水晶加工から一貫して生産することで お客様の要求にも細かく、短納期でお応えしております。

• 電子ビーム描画装置

5"6"9"マスクケース

• 電子ビーム描画装置
• その他クリーンルーム用機器・設備
• その他光学部品

ＥＨ４３０Ｂ

• 半導体検査/試験装置
• 電子ビーム描画装置
• その他加工機械

移動距離数十ミリ程度の位置決めに適したボイスコイル型リニアモータ（ＶＣＭ）を高速移動と超精密位置決め用に開発しました。

• 電子ビーム描画装置
• サーボ
• トルク制御