プラズマ発生装置の製品一覧

【重量物の取り扱いによる作業負担を軽減！】お客様の課題を解決した導入事例5選を収録！ワークに応じた無料相談、テストも受付中！

• その他搬送機械

JIS・ISO規格の解説資料進呈。豊富な製品シリーズから好適な安全柵をご提案！デモキット無料貸出。

• その他安全・衛生用品

Openair-Plasmaによる完璧な品質自動化そしてコスト管理！

• プラズマ発生装置
• プラズマ表面処理装置
• 印刷機械

大阪　医療機器の精密部品【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】

• その他洗浄機
• プラズマ発生装置
• 粉体搬送装置

小片基板の濡れ性改善、密着性向上、表面改質に！実験用途に特化した大気圧プラズマ装置

• プラズマ発生装置
• プラズマ表面処理装置

ピンポイントでプラズマ照射が可能！LCD端子清掃や電子部品封止前洗浄の用途などに好適

• プラズマ発生装置
• プラズマ表面処理装置

低温処理＆電界遮蔽構造でダメージレス！LCD工場を始め数多くの生産工程で採用されています

• プラズマ発生装置
• プラズマ表面処理装置

光学フイルム分野に好適！高い均一性とフィルムダメージレス（パーティクル発生無し）を実現！

• プラズマ発生装置
• プラズマ表面処理装置

コンパクトなバッチタイプでサブミクロンのエッチングに対応、サンプルテスト対応によるプロセスサポートが特徴のプラズマエッチング装置

• エッチング装置
• その他理化学機器
• プラズマ発生装置

高い赤外線透過率をもつＤＬＣ膜をハイレートで基板両面に形成。 安定のハードと先進のソフトで次世代のＩＲコーティングを実現

• プラズマ表面処理装置
• プラズマ発生装置
• CVD装置

微細加工装置に適用可能！ECR放電型の高出力プラズマ源をご紹介します

• プラズマ発生装置
• プラズマ表面処理装置

いつ起こるかわからない瞬間的な変動を見逃さない！かつてない高速・長時間計測

• 分光分析装置
• プラズマ発生装置
• その他検査機器・装置

バーナーのデザインの種類が豊富！使用環境に対応しやすい大気圧フレームプラズマ装置

• プラズマ発生装置

デジタルデバイスにおける大気圧プラズマ表面改質の応用についてご紹介します！

• プラズマ発生装置

複層ガラスや建具・窓枠など！建設における大気圧プラズマ表面処理の応用をご紹介

• プラズマ発生装置

大気圧プラズマに特化した製造メーカー！大気圧プラズマ処理の自動化システムについてご紹介します

• プラズマ発生装置
• プラズマ表面処理装置

「大気圧プラズマの発生メカニズム」や「大気圧プラズマ装置の特長」などを掲載！

• プラズマ発生装置
• プラズマ表面処理装置

30年以上の信頼と実績で御社のコストカットに貢献！アイデアをカタチに

• プラズマ発生装置
• 加工受託

宇宙用電気推進機に使用できる低価格・高性能なホローカソード

• その他
• プラズマ発生装置

高電圧計測に最適なプローブです

• プラズマ発生装置
• 電気計器・電位計(メータ)
• 電源

卓上で簡単に液中プラズマ（ソリューションプラズマ）を用いた実験が可能です。

• プラズマ発生装置
• 廃液/排水処理装置
• その他金属材料

硝酸態窒素水溶液を植物の肥料に！液中にてコロナ放電を発生させる技術

• 放電加工機
• プラズマ発生装置
• プラズマ表面処理装置

日本発のまったく新しいガスイオン注入も可能なDLCコーティング装置です。

• プラズマ発生装置
• CVD装置
• プラズマ表面処理装置

パルス放電での大気圧プラズマ生成に

• プラズマ発生装置
• その他半導体製造装置
• その他金属材料

真空管での安定放電を実現

• プラズマ発生装置
• イオン注入装置
• 電源

ソリューションプラズマの実験が卓上で驚くほど簡単に！

• プラズマ発生装置
• 電源装置

安定放電が可能な真空管を利用したパルス電源です。

• プラズマ発生装置
• イオン注入装置
• 電源

安定したパルス放電を実現

• プラズマ発生装置
• CVD装置
• 電源

低価格な小型装置！

• プラズマ発生装置
• プラズマ表面処理装置

空気・酸素・窒素・アルゴンなど様々なガスを導入できる卓上型の真空プラズマ装置！材料の表面改質・洗浄にお使い頂けます！

• プラズマ発生装置
• プラズマ表面処理装置

低温・電荷ダメージなし！簡易型大気圧プラズマ装置 洗浄・表面改質・親水化・接着強化に高い処理実績！ラボ用途小ロット向け

• プラズマ発生装置
• プラズマ表面処理装置

一括処理で時間短縮&コスト削減！　少量の粉体・微小な部材の表面改質に！

• プラズマ発生装置
• プラズマ表面処理装置
• その他粉体機器