プラズマ表面処理装置の製品一覧

【重量物の取り扱いによる作業負担を軽減！】お客様の課題を解決した導入事例5選を収録！ワークに応じた無料相談、テストも受付中！

• その他搬送機械

JIS・ISO規格の解説資料進呈。豊富な製品シリーズから好適な安全柵をご提案！デモキット無料貸出。

• その他安全・衛生用品

金属部品の接合部を腐食防止！金属防食に特化した乾式ナノコーティングのご紹介

• プラズマ表面処理装置

『Openair-Plasma(R)』は高速で、オゾンレスの表面処理技術。ロボットへの組込が容易で、乾式なインライン処理が可能！

• プラズマ表面処理装置

「いまさら聞けない」プラズマ技術を図解を交えて解説！プラズマ表面処理装置も紹介しています。

• プラズマ表面処理装置

【大気圧プラズマ装置】SDGsに貢献するものづくりに、AETP大気圧プラズマを活用した表面処理をご紹介【デモンストレーション有】

• プラズマ表面処理装置
• その他加工機械

大気圧プラズマ装置による表面改質をさまざまなオプションで品質管理

• プラズマ表面処理装置
• その他表面処理装置

サステナビリティ・ＣＳＲに取り組む製造業の方必見！大気圧プラズマ導入の効果を自動車業界を例にご紹介します。

• プラズマ表面処理装置

6インチと8インチのウエハーに対応！平行平板方式のプラズマ処理装置

• プラズマ表面処理装置

プラズマ装置の製造実績をいかし、御社のご希望に合わせてプラズマ処理を承ります！小ロット・短納期に対応！

• プラズマ表面処理装置

【脱炭素ものづくり】接着・接合の前処理に大気圧プラズマ処理をご提案します。 AETP大気圧プラズマはオゾンの心配はありません。

• その他加工機械
• プラズマ表面処理装置

簡易でありながらφ3インチターゲットのマグネトロンカソードと200L/sの広域型ターボ分子ポンプを搭載。

• プラズマ表面処理装置
• 有機EL
• スパッタリング装置

立体形状のワークに対応可能！豊富なアプリケーション電極、周辺機器、搬送装置！

• プラズマ表面処理装置
• 表面処理受託サービス
• 加工受託

ランニングコストを大幅に抑えることが可能！非接触処理で機械を損傷しません！

• プラズマ表面処理装置
• 加工受託

真空プラズマ＆コロナ処理用ジェネレータ！重要なパラメータのほとんどを制御・調整可能！

• プラズマ表面処理装置
• 加工受託

低電力と特別な処理用ガスを必要としない設計！材料に応じて20～120秒で処理可能です！

• プラズマ表面処理装置
• 加工受託

φ4インチ基盤対応のエネルギー半導体デバイス研究開発システムなどをご紹介します！

• プラズマ表面処理装置
• スパッタリング装置
• 分析機器・装置

熱化学蒸着法により各種機能性セラミック膜を、単層又は多層コーティングし、得られた高硬度、高密着セラミック膜により素材の性能を向上

• プラズマ表面処理装置

PVDコーティングとは、物理蒸着とは金属等、融点の高い物質を電気の力を利用して物理的に 蒸発、気化させてその物質を着膜させる方法

• プラズマ表面処理装置

新プラズマ源ＨＣＤ（ホローカソード放電）電極搭載、各種メタルやＣｕ薄膜のエッチングに対応。大面積化も容易な新型エッチング装置.

• エッチング装置
• アッシング装置
• プラズマ表面処理装置

UV照射で即硬化。ブラスト加工、酸・アルカリ、塗料などから対象箇所を保護。剥離方法も多様です。

• プラズマ表面処理装置
• その他表面処理装置

ウェハやガラス・大型基板のエッチング・アッシングに実績豊富なバッチタイプエッチング装置。 半導体製造装置部品・材料にも対応

• エッチング装置
• プラズマ表面処理装置

【脱炭素ものづくり】接着・接合の前処理に大気圧プラズマ処理をご提案します。 AETP大気圧プラズマはオゾンの心配はありません。

• その他加工機械
• プラズマ表面処理装置

ロール状フィルム基材の処理に対応。 減圧プラズマ処理により、アッシング・エッチングの他、表面改質処理（官能基付与）が可能。

• プラズマ表面処理装置
• 真空機器
• その他表面処理装置

シンプルな機構で高密度プラズマを実現。ウェハから１ｍ□基板まで対応。Ｓｉ系、メタル、有機膜、各種薄膜のダメージレスエッチング

• エッチング装置
• アッシング装置
• プラズマ表面処理装置

改質Revolution！

• プラズマ表面処理装置
• その他粉体機器
• プラズマ発生装置

　独自技術で従来に無い水素フリーDLC膜を形成（水素含有量１％以下）優れた油中トライボロジー特性、導電性カーボン薄膜にも対応

• スパッタリング装置
• その他工作機械
• プラズマ表面処理装置

各表面処理業者様の受注拡大に寄与！お客様のニーズにマッチする製品を低価格にてご用意

• プラズマ表面処理装置
• その他表面処理装置
• 製造受託

H2（水素プラズマの還元力で各種基板表面クリーニング。表面酸化層除去効果で親水性・濡れ性向上。ドライ・常温処理の新表面洗浄技術

• アッシング装置
• プラズマ表面処理装置
• その他表面処理装置

高密度プラズマスパッタで結晶性ＡｌＮ膜を形成、立体形状への全面コーティングに対応。全自動量産型装置ラインナップ。

• その他加工機械
• プラズマ表面処理装置

専用の真空蒸着装置を用い、気体として蒸着！ コンポーネントの割れ目にも容易に入り込み、完全かつ均一なコーティングを実現します。

• プラズマ表面処理装置
• その他表面処理装置

一度に大量の粉を処理可能。1バッチでおよそ10kg前後の粉を処理できます。 金属から樹脂まで材質を問いません！

• その他加工機械
• プラズマ表面処理装置