プラズマ表面処理装置の製品一覧

大阪空気機械製T型トラップの代替品・油回転・水封式真空ポンプの保護装置

• 真空ポンプ

《数千個/月の量産OK》ロボットで塗装を行うので再現性と安定した品質を実現！コストダウンのご提案も可能。

• アルミニウム

大気圧プラズマ装置を活用したヘッドランプハウジングの表面改質についてご紹介します。

• プラズマ表面処理装置
• プラズマ発生装置

自動化量産ラインに対応。インラインタイプ、枚葉タイプ、柔軟なハード構成の実績豊富な各タイプ　眞空プラズマの高い効果を量産ラインに

• プラズマ表面処理装置
• エッチング装置
• アッシング装置

導電性カーボン薄膜をスパッタリングで形成。低温（４００℃以下）で不活性ガスとカーボンターゲットのシンプルプロセスで安定成膜

• スパッタリング装置
• プラズマ表面処理装置
• その他加工機械

小型電子部品（面実装タイプ）の側面電極形成をドライ化。ＰＶＤ（イオンプレーティング装置）だから可能な小型部品対応の端面電極成膜。

• 蒸着装置
• プラズマ表面処理装置
• その他加工機械

ダメージフリー＆低温＆マルチガス！好適なプラズマを作り出せます

• プラズマ表面処理装置
• 表面処理受託サービス
• 製造受託

幅広い表面を均一に処理が必要なパーツに好適なノズルです

• ノズル
• プラズマ発生装置
• プラズマ表面処理装置

超強力な異種材料接合について詳しく解説します

• プラズマ表面処理装置
• 射出成形機

Openair-Plasmaによる完璧な品質自動化そしてコスト管理！

• プラズマ発生装置
• プラズマ表面処理装置
• 印刷機械

ゴムの弾性特性を維持しつつ低摩擦化が可能！グリップ起因の搬送時のシワ発生の防止に効果を発揮

• ローラー
• プラズマ表面処理装置

非球面レンズのＤＬＣ膜の除去に実績豊富なプラズマクリーニング装置。高付加価値金型のリペアに必須のドライ除膜装置

• エッチング装置
• アッシング装置
• プラズマ表面処理装置

緻密で耐摩耗性と耐酸化性に優れたＳｉＣ（シリコンカーバイド）膜をＰＶＤで形成。新型イオンプレーティング法で厚膜（７μｍ）形成

• その他工作機械
• その他加工機械
• プラズマ表面処理装置

小片基板の濡れ性改善、密着性向上、表面改質に！実験用途に特化した大気圧プラズマ装置

• プラズマ発生装置
• プラズマ表面処理装置

ピンポイントでプラズマ照射が可能！LCD端子清掃や電子部品封止前洗浄の用途などに好適

• プラズマ発生装置
• プラズマ表面処理装置

低温処理＆電界遮蔽構造でダメージレス！LCD工場を始め数多くの生産工程で採用されています

• プラズマ発生装置
• プラズマ表面処理装置

光学フイルム分野に好適！高い均一性とフィルムダメージレス（パーティクル発生無し）を実現！

• プラズマ発生装置
• プラズマ表面処理装置

最大５元カソードによる多元・多層成膜。耐摩耗性・耐熱性・平滑薄膜。ロードロックタイプぷで高温成膜でもハイスループット。

• スパッタリング装置
• プラズマ表面処理装置

ディスクリート素子から先端デバイスまで、Ｒ＆Ｄに量産に。コンパクト、ハイクオリティ、多用途対応のＣｔｏＣタイプスパッタリング装置

• スパッタリング装置
• プラズマ表面処理装置
• その他実装機械

サンプルテスト対応中　フィルム・金属箔に成膜、フレキシブルデバイスや先端機能材料の開発～量産に対応。デモ機でプロセスサポート。

• その他加工機械
• スパッタリング装置
• プラズマ表面処理装置

ダメージレス・ハイスループット・多用途対応　ハイエンドデバイス・化合物半導体・ＭＥＭＳ。幅広い実績と充実のサポート。新タイプ登場

• アッシング装置
• エッチング装置
• プラズマ表面処理装置

20年以上の歴史を誇る実績のラインナップ。R&Dから量産までハイエンド・ニッチプロセスへ個別対応のプロセス＆ハードウェア

• スパッタリング装置
• プラズマ表面処理装置

ＵＶ－ＬＥＤ用ＡｌＮテンプレートをスパッタで。高い結晶性とＣ軸配向性を持つＡｌＮ膜をスパッタで作成可能。最新型成膜装置

• スパッタリング装置
• プラズマ表面処理装置

ランキング形式でご紹介。コスト削減、ECOに貢献し悩みを解決

• その他照明器具
• プラズマ表面処理装置
• エンジニアリングプラスチック

A4サイズ試作無料！樹脂フィルムだけでなくアルミ・銅など金属箔の処理も可

• プラズマ表面処理装置
• 表面処理受託サービス

ニッチプな要求に細やかに対応。ライトエッチング・アッシングを薄ウェハや両面処理に、コンパクトタイプＣｔｏＣエッチング装置

• エッチング装置
• アッシング装置
• プラズマ表面処理装置

ＣＶＤ－ＤＬＣと硬質膜用ＰＶＤの複合型コーティング装置。スムースサーフェスのＰＶＤ膜＋ハイレートＤＬＣ。硬度＋トライボロジー薄膜

• プラズマ表面処理装置
• その他加工機械
• その他工作機械

大気圧でフィルム・基板等の高速連続処理が可能！【サンプルテスト受付中！】

• プラズマ表面処理装置

高い赤外線透過率をもつＤＬＣ膜をハイレートで基板両面に形成。 安定のハードと先進のソフトで次世代のＩＲコーティングを実現

• プラズマ表面処理装置
• プラズマ発生装置
• CVD装置

緻密な酸化膜厚膜（～１０μｍ）を高速形成。新開発イオン化機構搭載　ＣＶＤ代替高密度イオンプレーティング装置

• プラズマ表面処理装置
• その他加工機械
• 蒸着装置

スピーディーで均一！スパークレスでダメージフリーな大気圧プラズマシステム

• プラズマ表面処理装置
• その他

微細加工装置に適用可能！ECR放電型の高出力プラズマ源をご紹介します

• プラズマ発生装置
• プラズマ表面処理装置