真空機器の製品一覧
- 分類：真空機器
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独自の生成物対策により、プロセスで発生する反応生成物のポンプへの堆積を大幅に減少！
- その他ポンプ
- 真空機器
- 真空ポンプ
ポンプの振動値を1nm以下に抑えた低振動ポンプ。防振ダンパーを装着すると更に1桁低減(0.1nm)！
- その他ポンプ
- 真空機器
- 真空ポンプ
海外でも多くの導入実績がある真空ポンプと真空ソリューションの組み合わせにて、要求の厳しい化学プロセス用途に対応いたします。
- その他ポンプ
- 真空ポンプ
- 容積型ポンプ
エドワーズは、真空蒸着、スパッタリング、CVD、プラズマ重合等、多くの薄膜工程で豊富な経験がございます。
- その他ポンプ
- 真空ポンプ
- 容積型ポンプ
【ファン＆ブロワー代替機種お探しのメーカー様必見】 エアー冷却、空気循環装置用等の遠心ファン＆ブロワ、軸流ファン
- 真空機器
- ファンモータ
液漏れの心配なし！通常点検は、地上部にあるモーターやベアリングの確認のみでOK
- 特殊ポンプ
- 真空ポンプ
- その他ポンプ
ロール状フィルム基材の処理に対応。 減圧プラズマ処理により、アッシング・エッチングの他、表面改質処理（官能基付与）が可能。
- プラズマ表面処理装置
- 真空機器
- その他表面処理装置
