ハイグレードアルミステージ
HG-VCR方式に主材質にアルミ合金を採用し剛性と軽量化を両立した手動ステージ
独自開発の案内方式「HG-VCR方式」に主材質アルミ合金を採用することで剛性だけでなく軽量化も両立した精密位置決めステージです。 カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用できます。
- 企業:中央精機株式会社
- 価格:応相談
更新日: 集計期間:2025年04月16日~2025年05月13日
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HG-VCR方式に主材質にアルミ合金を採用し剛性と軽量化を両立した手動ステージ
独自開発の案内方式「HG-VCR方式」に主材質アルミ合金を採用することで剛性だけでなく軽量化も両立した精密位置決めステージです。 カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用できます。
クロスローラ精密ステージ 、台湾製、高精度、低価格
軽量のアルミ合金を採用して、ガイド部にV溝レールとクロスローラ直線伝動して、高精度、耐荷重ステージを実現します
光学ミラーの精密制御、レーザーシステム、スキャニング(走査)装置に最適!
ご用途に合わせたカスタマイズ等にも対応可能です。 その他詳細は、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
クロスローラ精密ステージ 、台湾製、高精度、低価格
軽量のアルミ合金を採用して、ガイド部にV溝レールとクロスローラ直線伝動して、高精度、耐荷重ステージを実現します
精密な温度制御、温度のバラツキが許されないプロセスに!!サイズなどカスタマイズ可能。温度設定15-45℃まで。
サイズ、取付インターフェース、メカニカル形状など、カスタマイズ可能です。半導体プロセス、ナノテクプロセスなどに。◎超精密温度制御ステージ(±1℃、±0.5℃)◎真空吸着チャック機能◎高精度ステージ(平坦度)◎温度設定範囲15-40℃。
HG-VCR方式を採用した高精度、高剛性の自動ステージ
独自開発の案内方式「HG-VCR方式」を採用した高精度、高剛性の自動ステージはカメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用できます。
光学デバイスの微小角アライメントや精密面合わせなどに好適
■弾性ヒンジ機構による回転案内 独自設計の弾性ヒンジ機構により、ピエゾ素子のわずかな伸縮を変位拡大するとともに安定した回転動作を支持しています。 摩擦摩耗がないため滑らかで高速な動きに優れており、微小角の調整用途に適しています。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
高真空環境に対応した超小型精密位置決めステージ
Kleindiek社のサブステージは、高真空環境に対応した超小型精密位置決めステージです。電子顕微鏡(SEM/FIB)などの既存のモーターステージの上に乗せることでステージをアップグレードします。 ユーセントリックステージは、FIB向けカーテン効果防止4軸ステージ(ACT)および、ECCI / EBSD / トモグラフィーのようにサンプルのユーセントリックな配置を必要とするアプリケーション向けの5軸ステージ(E5AT)の2種類のラインナップがあります。 LTシリーズは、最小33mm角と非常に小型で、電子顕微鏡(SEM/FIB)を始め、各種真空装置、低温装置など狭スペースへの設置が可能です。駆動原理にピエゾ素子を用いており、非常に精密かつスムースな動作でサンプルの位置決めを行えます。広い動作範囲(最大30cm)と非常に細かい動作分解能(最小0.25nm)を併せ持ち、観察倍率に合わせて動作スピード(分解能)を切換えながら操作します。LTシリーズのラインナップは、サイズ・可動範囲・エンコーダーの有無によって区別されます。
【精密位置決め装置】1nmの高分解能はそのままに、移動速度が早くなりました!
光学式リニアエンコーダを内蔵し、内蔵スケールの読み取り値に対して『1nm』分解能でクローズドループ制御が可能な精密位置決めステージです。 ストロークは『 40mm 』と長く、移動と精密位置決めが1台でできます。 フィードバックステージコントローラ『 FC-911 』と組み合わせて使用すると移動速度5mm/secで動作させることができます。
【短納期】XY超精密グラナイトエアスライダー搭載!レーザー各種に対応可能なステージ
『GRANAS-30XY-GL』は、レーザ、ガルバノとXY超精密ステージが 同期連動して動作可能なシステムです。 溶接、切断、スクライブ、穴あけ等のレーザー微細加工をはじめ、 レーザーマーカ、計測機器にご使用いただけます。 【特長】 ■レーザー各種に対応可能(355nm、パルスレーザー、他) ■キヤノン製ガルバノスキャナ搭載 ■XY超精密グラナイトエアスライダー搭載 ■コントローラPowerPMAC搭載 【当社がお選びいただく理由】 ・5000×3000クラスの石を常に在庫で持ち、切断から製品完成までの一貫生産により短納期にも対応 ・平面/平行/直角精度保証値は、お客様のニーズにお応えします。 ・石製品の修正/改造/メンテナンスを行います。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
アナログリニアエンコーダ内蔵!耐荷重5 000N(約500Kg)の高剛性ステージ
『X-LRT-AECシリーズ』は、コントローラ・ドライバー内蔵の 高剛性(最高耐荷重・カンチレバー荷重)精密電動リニアステージです。 ステンレス製の防塵カバータイプがあり、駆動モータの配置は ライン上(シングル)設置、又は並列設置(デュアル)の2タイプ。 また、駆動方式はA、B、Dモデルは精密リードねじ、 Hモデルは精密ボールねじとなっております。 【特長】 ■耐荷重5 000N(約500Kg)の高剛性ステージ ■ロータリーエンコーダ内蔵タイプでは、モータエンコーダ位置 フィードバックにより、スリップ/ストール検出機能と自動回復機能付き ■モデル:X-LRT-AECは、50nmの分解能、フルレンジで20μm精度が得られ、 スリップ/ストール検出機能と位置補正機能付き ■コントローラ内蔵、他Zaber製品とデイジーチェーン接続が可能 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
300種類を超える多彩なラインアップ!様々な組み合わせが可能です
『モンブランシリーズ』は、当社の長年にわたるカスタムオーダーメイドの 経験を凝縮して生まれた汎用精密位置決めステージです。 高精度・高剛性・高耐久性を備えております。 ご要望の際は、お気軽にご相談ください。 【ラインアップ】 ■手動XYステージ ■ゴシックアークステージ ■手動Zステージ ■自動Xステージ ■自動スイベルステージ ■手動スイベルステージ ■精密ポジショナー ■自動回転ステージ ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問合せください。
【精密位置決め装置】1nmの高分解能はそのままに、移動速度が早くなりました!
光学式リニアエンコーダを内蔵し、内蔵スケールの読み取り値に対して『1nm』分解能でクローズドループ制御が可能な精密位置決めステージです。 ストロークは『 50mm 』と長く、移動と精密位置決めが1台でできます。 フィードバックステージコントローラ『 FC-911 』と組み合わせて使用すると移動速度5mm/secで動作させることができます。
内蔵のインクリメンタルエンコーダーは最大4μ radの分解能!精密な位置コントロールを行います
『U-651』は、精密回転ステージにPILine超音波ピエゾモーターを 採用しており、このモーターがセラミック製摩擦リングに作用して プラットフォームを駆動させるPILine 高速・薄型回転ステージです。 直接駆動方式により、ステージの小型化と薄型が可能になりました。 内蔵のインクリメンタルエンコーダーは、最大4μ radの分解能で、 精密な位置コントロールを行います。 【特長】 ■薄型でわずか14mmの高さ ■分解能が最大4μ radのダイレクト位置測定 ■最高速度540°/秒 ■両方向の回転で最大0.3Nmのトルク ■開口部の直径は36mm ■真空対応タイプ(10-6pha)オプションであり ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
半導体用小型ステージから、液晶用大型ステージまで幅広い製作実績を誇ります!
当社では、数ミクロン単位の位置決めが必要な精密機器の製造工程において 必要不可欠な『精密XYステージ』を取り扱っております。 様々なご要望に応じたカスタムステージを製作。 また液晶製造装置用としては、第10世代対応ステージも 製作実績があります。ご要望の際はお気軽に、お問い合わせください。 【ラインアップ】 ■サーフェイス型エアスライダステージ ■ガントリ駆動型エアスライダステージ ■直交型リニアガイドステージ ■ガントリ固定型エアスライダステージ ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。