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広範囲なコンタクトエリア！短時間でステージの位置合わせが可能で、測定効率が向上します
『705A-WG7』は、大型ステージの搭載により、12インチウェーハ、 FPD基板の不良解析やTEG評価に対応できる評価・解析用マニュアルプローバです。 スライドテーブルの採用により、広範囲なプロービングエリアを確保。 また、エアベアリングステージ採用により、片手で簡単に操作可能です。 さらに各種顕微鏡、レーザーカッターシステムの搭載など、使用目的に 合わせたカスタマイズが可能です。 【特長】 ■大型基板対応 ■12インチウェーハ、FPD基板の不良解析やTEG評価に対応 ■スライドテーブルの採用により、広範囲なプロービングエリアを確保 ■エアベアリングステージ採用により、片手で簡単に操作可能 ■3段切り替えレバーによるセーフティロック機構を搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
カスタマイズ対応！半自動操作、手動操作とも容易で、測定効率向上に寄与します
『AP-80A』は、ガード構造の徹底で、低雑音・高精度測定を実現した 微小電流測定用セミオートプローバです。 ガード電位技術を活用した構造により、fAレベルの微小電流測定が可能。 外部自動制御とジョイスティック(移動モード6種類)の手動操作ができます。 また、パワーデバイスにも対応可能なほか、使用目的に合わせた カスタマイズが可能です。 【特長】 ■低雑音・高精度測定を実現 ■簡易操作 ■ガード電位技術を活用した構造により、fAレベルの微小電流測定が可能 ■外部自動制御とジョイスティック(移動モード6種類)の手動操作ができる ■主要な測定器メーカーのシステムおよびソフトウェアに標準対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
8インチ対応 マニュアルプローバ MP-200A
X-Yステージを搭載した 8インチ対応のマニュアルプローバ 【特徴】 ○X-Yステージを搭載 操作パネル上で早送りやジョグ送り等の簡単な遠隔操作が可能 ○測定ポイントまで素早く移動でき、操作性に優れる ○低価格、高精度、短納期を第一に考えた ユーザーニーズにマッチしたプローバ ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
快適な操作性にこだわったマニュアルプローバー！光学系は3種から選択可能！
『αシリーズ』は、快適な操作性で評価・解析の幅広いニーズに対応する マニュアルプローバーです。 ステージや光学系は複数の種類から選択可能。 前明きの形でウエハーのロード・アンロードも容易に行えます。 レバーの操作で3段アクションのZドライブが可能。 位置合わせはウエハーから約300μm針を離して行うため、 顕微鏡の焦点からはずれずにステージが移動できます。 【特長】 ■選べるステージ/光学系 ■Zは3段階切り替え ■ステージ移動が簡単 ■確実なアライメント ※詳しくはカタログをご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
極低温～超高温での温度特性評価、真空環境、ガス環境測定
◎非常に小型なので机上で容易に測定が可能です。 ◎真空中でも外部操作型ポジショナ（プローブ）で移動ができます。 ◎シールド効果が抜群で、光・ノイズをシャットアウトします。 ◎MJ-8はホール効果測定を考慮した薄型です。
コンパクトサイズ、軽量で持ち運びも容易！微小容量CV測定、高周波測定等にご使用下さい
『MBP-55』は、チップレベルのIV/CV測定に適したコンパクトな プローバーです。 50mm□までのサンプルサイズに対応。 シールドボックスまで装備した一体型です。 また、微小電流IV、微小容量CV測定、高周波測定に対応します。 さらにコンパクトサイズ、軽量で持ち運びも容易です。 【特長】 ■チップレベルのIV/CV測定に好適 ■50mm□までのサンプルサイズに対応 ■シールドボックスまで装備した一体型 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
光半導体プローバー
面発光レーザー（VCSEL)、フォトダイオード（PD/APD）をウェハー状態でプロービングして測定・検査する装置です。 ■ VCSEL ・ I-L-V測定 ・ V-I測定 ・ 波長測定 ・ 高周波特性 ■ PD/APD ・ V-I測定（暗電流、光電流） ・ 高周波特性 ■ 特徴 ・光軸合わせのピークサーチ機能 ・フリッピチップ対応の裏面コンタクト ・測定項目、内容はお客様の仕様に対応してソフトウェアを カスタマイズいたします。
SEM、FIB、光学顕微鏡観察下でのナノ/マイクロ マニピュレーション・プロービングに最適
UP-100UはナノメートルレベルでXYZ3軸および回転軸の動作が可能なマニピュレータ/プローバです。市販のSEM/FIB/光学顕微鏡と組み合わせることにより、マイクロ/ナノメータスケールでのマニピュレーション/プロービングなど様々な用途に利用できます。
OYM-401は実体顕微鏡に対応したマニュアルプローバです。複数台のポジショナを搭載し、容易にプロービングが行えます。
ＯＹＭ−４０１は使いやすさを最優先した操作部がシンプルなベーシックモデルです。 【特長】 ◆ＩＣのパッドを対象にしたプロービングに適した、実体顕微鏡をセットアップ したモデル ◆標準で８インチストロークのＸ−Ｙステージを装備 ◆オプションとしてプローブカードホルダ、ホットチャックといった各装備の 設置が可能 ※詳細は『資料請求』まで
初期導入費用が安価！蓋を閉めるだけでシールドとなり、微小電流の測定が可能。ポジショナ、顕微鏡を搭載できるマニュアルプローバです。
雄山株式会社より「簡易シールドボックスプローバ」のご案内です。
単体でシールド環境が構築できるマニュアルプローバです。小型のポジショナを搭載し、省スペースで高シールドな測定環境を整えます。
雄山株式会社より「シールディングプローバ」のご案内です。
