更新日： 集計期間:2025年06月04日～2025年07月01日
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最大測定範囲150µm、高精度なナノ変位制御に対応
D-050/D-100は、PI社が提供する2電極静電容量センサーで、最大150µmの測定範囲と0.01nmの分解能を実現。 干渉計より高分解能かつ非接触方式のため、ナノメートルスケールの測定に最適です。 パラレル計測に対応し、多軸制御におけるリアルタイム補正も可能。 直線性は0.01%以下（デジタルコントローラー使用時）、バンド幅は最大10kHz。 クリーン環境、半導体製造、計測機器への組込みに適しています。
比較的低分子量の環状、鎖状シロキサンを含む気体を測定し分離、検出が可能か確認！
低分子シロキサンはシリコーン製品の原料やドライクリーニング用溶媒、 化粧品の添加剤等で広く使用されています。 沸点が高いにもかかわらず揮発性が高い特長を持ち室温においても容易に 気中に拡散し、揮発後の再付着により半導体製造装置のレンズ曇りや 絶縁膜の耐圧低下、接点不良などの悪影響を及ぼすことが知られています。 今回は低分子シロキサンのうち比較的低分子量の環状、鎖状シロキサンを 含む気体を測定し分離、検出が可能か確認しました。詳細は、PDF資料より ご確認いただけます。是非、ご覧ください。 【概要】 ■Sylphによる分析 ・低分子シロキサンのうち環状シロキサン(D3,D4,D5,D6)と鎖状のシロキサン (M2,M3,M4,M5)をアセトン溶媒で希釈し、窒素を封入したガスバッグに注入後、 ガスをSylphに導入し測定 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
