メタル炉｜極真空・炉材などのコンタミフリーの高純度熱処理炉
極真空×メタルホットゾーンで、炉材由来のコンタミを抑えた高純度熱処理
当社で取り扱う「メタル炉」は、極真空雰囲気での高純度熱処理に対応した電気炉です。 炉内のホットゾーンをメタル材で構成することで、黒鉛材・断熱材・有機物由来のアウトガスや炭素コンタミを抑制し、 材料本来の表面反応・相変化を評価しやすい環境を実現します。 メタル炉では、内壁・ヒーター・治具を金属系材料で構成することにより、炉材由来の汚染を抑えたクリーンな熱処理が可能です。 特に、炉材のコンタミを嫌う材料、表面反応や相変化を正確に評価したい材料、貴金属・遷移金属・薄膜・電極材・光学部材などのアニールに適しています。 【特長】 ■ 極真空雰囲気に対応 ・その他の電気炉では到達が難しい極真空雰囲気を形成可能 ・酸素、水分、残留ガスの影響を抑えた高純度熱処理に対応 ■ 炉材由来コンタミを抑制 ・長期使用による炉材劣化、粉化、アウトガスの影響を抑えやすい ・断熱材や黒鉛部材由来の汚染を嫌う材料に適用可能 また、設備導入前の条件確認として、実サンプルを用いた焼成テストにも対応可能です。 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせください。
- 企業：株式会社サーモニックENG
- 価格：応相談
