更新日： 集計期間:2026年04月22日～2026年05月19日
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反応途中の挙動を“見て記録”し、合金開発を加速
金属・合金業界では、新素材の開発や品質管理において、焼成プロセスにおける正確な温度管理と雰囲気制御が求められます。特に、合金組成や熱処理条件が製品の特性に大きく影響するため、焼成前後の結果だけでなく、焼成中の挙動を詳細に把握することが重要です。従来の管状炉では、焼成前後のデータしか得られず、プロセス最適化に時間がかかるという課題がありました。当社の管状炉は、流量・圧力・物温・排気解析を同期ロギングすることで、焼成プロセスを詳細に可視化し、合金開発における課題解決をサポートします。 【活用シーン】 ・新合金の研究開発 ・合金の熱処理条件検討 ・品質管理における焼成プロセスの最適化 【導入の効果】 ・焼成プロセスの可視化による、開発期間の短縮 ・最適な熱処理条件の確立による、製品品質の向上 ・プロセスの詳細なデータ取得による、品質管理の効率化
Φ6〜8inch超高温ウエハーアニール装置 研究開発から小規模生産まで多目的に幅広く対応するハイパフォーマンス機
◾️ Max2000℃ ◾️ 有効加熱範囲：Φ6〜Φ8inch 枚葉式、又はバッチ式（多段5枚カセット） ◾️ ヒーター制御：1ゾーン、又は2ゾーン（カスケード制御） ◾️ ヒーター材質： ・C/Cコンポジット：Φ6〜Φ8inch ・PGコーティング 高純度グラファイト：Φ6〜Φ8inch ◾️ 使用雰囲気： ・真空（1x10-2Pa）、不活性ガス（Ar, N2） ◾️ PLCセミオート運転 ・真空/パージサイクル、ベントの自動シーケンス制御 ・フルオート自動運転（オプション） ・タッチパネル操作、操作が分散せず一元管理が可能です。 ◾️ プロセス圧力制御 ・APCコントロール（MFC流量、又は自動開度調整バルブ PIDループ制御） ・MFC最大3系統流量自動制御、又はフロートメーター/ニードルバルブの手動調整 ◾️ PLOT画面グラフ表示、CSVデータ出力
