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小型バッチ炉タイプで、少量品、研究開発に最適です。
半自動真空ホットプレートチャンバー 「PH-224S-42型」は、小型バッチ炉タイプで、少量品、研究開発に最適です。 加熱源に薄型ヒータを採用しており、高速温度プロファイルプロセスに対応いたします。 ウエハ加熱バッチ炉として、6”ウエハ3枚、8”ウエハ２枚の処理能力があります。 【特徴】 ○最高温度 300℃ 対応 ○温度コントローラーは、専用タイプにより プロセスの確認に必要なデータを取得（アナログ出力）できる ○バルブ動作 自動対応（レシピに合わせてプログラム可能） 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
1200℃から最高3000℃の熱処理炉をご提供！小型から大型まで各種ご用意！
『サーマルテクノロジー社製 超高温研究開発炉』は、 1200℃から最高3000℃の熱処理炉をご用意しています。 炉内が真空、不活性ガス雰囲気および還元雰囲気で使用できる 「ラボマスター」をはじめ、誘導加熱炉内で酸化物の結晶及び 金属の結晶を作る装置「チョコラルスキー型結晶成長システム」などを ラインアップしています。 【特長（ラボマスター）】 ■最高3000℃までの研究開発、小規模生産に適している ■コンポーネントを豊富な品揃えの中から選定 ■使用圧力は高真空から絶対圧2kgf/cm2(0.2MPa)まで様々な状態に対応 ■均熱帯の温度分布は、1750℃にて±3℃と高い精度 ■構造が簡素で取り扱いが簡単 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
1650℃まで対応の高速冷却システム搭載ファーネス
最高温度 1650℃のため、トランスジルコニアの焼成に最適なデンタル用ファーネスです。電機作動の炉床により焼成皿の設置が容易です。 二珪化モリブデン製の発熱体によって、クラウンとブリッジに対する化学汚染からの最適な保護を実現しています。デンタル用コーピングはセラミック製の焼成皿に載せられます。焼成皿は3つまで積み重ねが可能なため、高い生産性が得られます。
超高温2200℃を実現！より高度な研究・開発をサポートします。 真空・ガス雰囲気電気炉 RED DEVIL≪レッドデビル≫
電気炉仕様に求められる性能の全てを、この１台にパッケージ。 超高温２２００℃の真空ガス雰囲気電気炉です！ 最高２２００℃（アルゴンガス雰囲気）の超高温で、より高度な研究が可能です。 【特長】 ◆欲しかった機能をオールインワンパッケージ！ システム構築に伴う様々な付帯装置の購入や設置の煩わしさ等、 経費や時間の浪費から貴方を解放 ◆驚きのハイコストパフォーマンス 電源は通常使用のコンセントに接続可能で、電気炉は 消費電力2kw以下のわずかなコストで、最高温度での稼働が可能 ◆簡単操作の安心設計！ 据え付けや操作が非常に簡単で、冷却水とそれに伴う排水設備の 必要が無く、給水管の詰まりや漏水、電食によるチェンバー腐食の 心配はありません ●その他機能や詳細については、カタログをご覧ください。
高性能・超短納期・業界随一、超低価格な小型電気炉の決定版！！
簡易雰囲気焼成が可能な「高性能 小型簡易雰囲気電気炉」です。
高性能 卓上型 高温電気炉『FT-1700SP』
◆製品特徴◆ ・約４５分で１７００度の急速昇温可能 ・置き場所を選ばないコンパクトな外観なのに炉内広々 ・前面より試料を取り出す扉方式 ・簡単操作＋専用パソコン通信制御ソフトの組み合わせで、 手軽にパソコンで高温焼成（溶解）が可能 ・ＰＣ通信対応プログラムコントローラー標準装備 ※オプション：ガス導入ユニット（ニードルフロメーター方式）
高温大型電気炉『ＦＴ-1700-500SP』
◆製品特徴◆ ・コンパクトなのに大容量４５０Ｗ×４６０Ｄ×４５０Ｈ（９３リットル） ・省エネ（低ランニングコスト設計） ・前面より試料を取り出す扉方式 ・１７００度までの急速昇温可能 ・簡単操作＋専用パソコン通信制御ソフトの組み合わせで、 手軽にパソコンでプログラム入力して高温焼成（溶解）が可能 ・ＰＣ通信対応プログラムコントローラー標準装備 ※ガス導入フローメーターは、オプション選択
小型簡易雰囲気電気炉ワイド仕様『ＦＴ-101ＦMW』
◆製品特徴◆ ・約１５分で１０００度の急速昇温 ・前面より試料を取り出す扉方式 ・簡単操作＋専用パソコン通信制御ソフトの組み合わせで、 手軽にパソコンで高温焼成（溶解）が可能 ・電源１００Ｖで最高温度１，２００℃（オプションで１，３００℃仕様） ・ＰＣ通信対応プログラムコントローラー標準装備 ・ガス導入ユニット フローメーター（５L／ｍｉｎ）
箱型電気炉『ＦＴ-1200Ｇ-400』
◆製品特徴◆ ・大容量 炉内サイズ（400Ｗ×400Ｄ×400Ｈ） ・約３０分で１０００度の急速昇温可能 ・超低価格 ・フローメーターが１系統標準装備で各種焼成に対応 ・各種オプションを使用することにより効率的な活用が可能 ・省電力 ・半生産用としても使用可能 ・簡単操作＋専用パソコン通信制御ソフトの組み合わせで、 手軽にパソコンでプログラム入力して高温焼成（溶解）が可能 ・ＰＣ通信対応プログラムコントローラー／ ガス導入フローメーター装備 ※即納対応可能品
本装置で手軽に加圧・減圧を再現性良く効率の良い運転が可能！クラッチドアー方式で簡単開閉・安全設計！
【特徴】 ・手軽に加圧・減圧を再現性良く効率の良い運転が可能 ・クラッチドアー方式で簡単開閉・安全設計 ・最大加圧：0.9Mpa(第2種圧力容器) ・最大温度：1200℃ ・コンピューター通信制御＋PIDプログラムコントロール ・ガス3系統、MFC仕様を標準装備 ※冷却チラー/加圧コンプレッサー/PO2系/記録計はオプション設定
30分で1,550℃の急速昇温！省スペース・省エネ仕様の高性能卓上型高温真空雰囲気炉
フルテックの卓上小型高温真空炉は30分1550℃と急速昇温が可能で省スペース、省エネな業界最小・最軽量の真空炉です。 通常300万円以上の相場で5倍～10倍以上のサイズになるのが一般的ですがA3用紙サイズの真空炉で最低価格100万円以下を実現しました！ 【特長】 ■100Vコンセント仕様 ■30分で1550℃の急速昇温が可能 ■均熱分布が良好 ■即納品～1週間で納入可能(他メーカーの場合、1.5か月～3か月) ■オプション対応多数有り(内部測温/ビューポートのぞき窓/パソコン通信ソフト/試料ボート冶具) ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧下さい。
卓上型でありながら大容量で1700℃が簡単に得られ低価格で急速昇温も可能な電気炉
フルテックの卓上型高温雰囲気炉(MOSI２電気炉)『FT-1700GX』は卓上型でありながら大容量で1700℃が簡単に得られ、低価格で急速昇温も可能な電気炉です。 フローメーターを1系統標準装備、各種焼成に向いています。半生産用として使用されており既に多くの導入企業様からご好評頂いております。 オプションでWEBカメラ監視システムを導入することにより専用ビューポート+CCD+アプリケーションを連携させ焼成状況を常に画像管理が出来、解析の一役に貢献。 各種オプションを使用することで効率的な活用が出来ます。 電力も経済性を追求して省電力です。 【特長】 ●卓上型でコンパクト ●大容量 1700℃対応 ●急速昇温可能 ●焼成状況を常に画像管理が可能（webカメラ監視システムが必要です） ●省電力 ※詳細はカタログダウンロード、またはお問い合わせ下さい。
わずか3分で1,200℃の急速昇温可能！省スペース・省エネ仕様の高性能小型ポット電気炉
【特徴】 ●わずか3分で1,200℃の急速昇温！ ●省スペース・省エネで業界最小・最軽量の卓上小型設計！ ●デジタル温度コントローラー・過昇温防止計 標準装備 W110×D200×H230mmと卓上小型サイズで気軽に設置が可能。100Vコンセントが使用できて0.8Kwと省エネタイプです。 デジタル温度コントローラーで温度管理も楽々！ オプションのプログラムコントローラー＋管理ソフトウェアを導入すれば昇温プログラム時間の設定がマウスで自由に出来、ソフト内のチャート機能を使用する事でデータの再現性・焼成データ管理が向上！さらに便利になります。
通常の管状炉で不均一な焼成でお困りの方に朗報！管状炉では不可能な焼成が即実現！パウダー焼成に最適！
低価格・省スペースにて精密焼成が実現！ フルテック独自の最先端制御技術によるPID制御で超高速レスポンス運転が可能！ PC通信制御対応プログラムコントローラー(9×9)標準装備 酸素分圧コントロール(モニター＋制御)による完全雰囲気制御にも対応。 オプション選択のデジタルマスフローメーターによる精密な温度雰囲気制御が可能！ 【特徴】 ・クランプドアー方式 ・回転SUS炉芯管 ・省スペースにて精密焼成が実現 ・フルテック独自の最先端制御技術によるPID制御で超高速レスポンス運転が可能 ・PC通信制御対応プログラムコントローラー標準装備 ・酸素分圧コントロール(モニター＋制御)による完全雰囲気制御に対応 ・オプション選択のデジタルマスフローメーターによる精密な温度雰囲気制御が可能 ・ロータリーポンプを標準装備 ・最大温度：1000℃(オプションにて1500℃度可能) ・低価格
簡易雰囲気タイプの最高グレード。大容量で1,200℃が簡単に得られ低価格で急速昇温も可能な電気炉！
大容量で1200℃が簡単に得られ、低価格で急速昇温も可能な電気炉です。 フローメーターが1系統標準装備され、各種焼成に向いています。半生産用として使用され大変好評です。 各種オプションを使用することで効率的な活用が出来ます。電力・経済性を追求して省電力です。
PIDオートチューニングで温度安定性抜群！簡単操作で簡易雰囲気が得られる上部より試料を取り出す方式のポット炉！
セラミックスファイバー製の電気炉なので昇温・降温時間も早く省エネで仕事の効率も高い電気炉です。 早く冷却させる場合はフタを外せばすぐに冷めやすい縦型のポット炉です。 研究所で使用されているレベルのハイスペック電気炉ですので温調精度が高い高性能な電気炉です。
温度制御、雰囲気制御、酸素分圧制御、プログラムパターン制御が可能な酸素分圧＆雰囲気制御試験炉！
酸素分圧＆雰囲気制御試験炉「ＳｉＯＡＦ－２００Ｃ」は、タッチパネル、ネットワーク及びＰＣから温度制御、雰囲気制御、酸素分圧制御、プログラムパターン制御が可能であり、酸素分圧コントローラー（ＳｉＯＣ相当／オプション）の付加により極低濃度（10E5～10E-25Pa）の酸素分圧雰囲気までフィードバック制御できるネットワーク対応の管状型試験炉です。 【特長】 ■タッチパネル、ネットワーク及びＰＣから温度制御、雰囲気制御、 酸素分圧制御、プログラムパターン制御が可能 ■極低濃度の酸素分圧雰囲気までフィードバック制御 ※詳細は資料請求して頂くかダウンロードからPDFデータをご覧下さい
最大16個のFOUPストッカー！300mmウェーハ対応のラージバッチ縦型炉
『VF-5900』は、大容量ストッカーを備え、短タクトタイムを実現した フラッグシップモデルのラージバッチ縦型炉です。 300mm・12インチウェーハ最大100枚、FOUP16個の一括処理が可能。 LGOヒータの採用で低温～中高温まで優れた温度特性を発揮します。 シリコンウェーハ以外にもIGBT、ポリイミド、薄ウェーハなどの熱処理に 適しています。 【特長】 ■ラージバッチ、最大100枚一括処理可能 ■最大16個のFOUPストッカー ■LGOヒータ搭載により、低温から中高温まで優れた温度特性を発揮 ■枚葉+5枚一括搬送ロボットによる高速ウェーハ搬送 ■オペレータフレンドリーな高機能制御システム搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【自社オリジナル雰囲気炉】ロウ付けに特化した当社おすすめのロウ付け炉です。ステンレス鋼や銅のロウ付け加工に最適です
お客様の製品製造に適合するロウ付けシステムを設計・製造・販売しております。 ノンフラックス加工、雰囲気による光輝な仕上がり、製品の量産性に適合した設備となっております。
【質問】ロウ付け設備の使い分けはどのように決めていますか？
【答え】 ワークの重量とサイズ、また母材の種類によって使い分けをします。 水素炉→小さくて軽いもの 真空炉→大きくて重量あるもの と覚えましょう 特長および対応可能な金属は以下のとおりです。 ◆水素炉 水素の還元力を利用 鉄、銅、ニッケルは還元可能 チタン・アルミはほとんど還元できない タフピッチ銅は水素脆化するため不向き ◆真空炉 希薄大気によって金属酸化物を除去（「熱解離（ネツカイリ）」という） チタン・アルミも対応 PDF資料にて、図表でわかりやすく解説いたします。
高圧雰囲気電気炉、特殊用途向け電気炉等、設計、製作いたします！
当製品は、二硅化モリブデン発熱体（MoSi2）を使った高温電気炉です。 空気中で、最高1800℃の超高温領域まで、手軽に使用することが可能。 ご使用目的に合わせて、縦型管状炉、横型管状炉、マッフル炉、坩堝昇降機構付き 電気炉など豊富なバリエーションの中からお選びいただけます。 ヒータ自体の価格も格安となっており、ランニングコストが大幅に低減できます。 【特長】 ■二硅化モリブデン発熱体（MoSi2）を使った高温電気炉 ■空気中で、最高1800℃の超高温領域まで、手軽に使用可能 ■豊富なバリエーション ■ランニングコストが大幅に低減できる ■お客様の用途に合わせ、炉内サイズや雰囲気制御など 各種カスタマイズに対応可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
真っ直ぐで、同じ焼結密度を持った試料棒の焼結を容易かつ安定に、作製することが可能！
光学式浮遊帯域溶融装置による単結晶育成は、融体を試料棒自身に 保持させながら試料の融解、凝固を継続させる方法である為、試料棒の 作製が第一の重要な作業になっております。 当製品は、試料回転昇降装置と縦型環状炉で構成され、真っ直ぐで、同じ 焼結密度を持った試料棒の焼結を容易かつ安定に、作製することが可能です。 さらに、遅送り機能を付加し、上記回転昇降機能の他にブリッジマン法 結晶育成用としても使用することが出来ます。 【特長】 ■真っ直ぐで同じ焼結密度をもった、特にFZ法に適した 焼結原料棒が効率よく作製できる ■設定の容易さや操作性に優れたタッチパネルを採用 ■駆動系に遅送り機能を付加したことにより、ブリッジマン炉 としても使用が可能 ■発熱体には、MoSi2を使用しており最高温度は1800℃ ■炉内には1系統の雰囲気ガスをフローすることが可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
遅送り機能を付加！ブリッジマン法結晶育成用としても使用可能なブリッジマン炉
『VEF-1800-BR-VM』は、試料回転昇降装置と縦型環状炉で構成された ブリッジマン炉です。 真っ直ぐで、同じ焼結密度を持った試料棒の焼結を容易かつ安定して 作製することが可能となっております。 さらに、遅送り機能を付加し、回転昇降機能の他にブリッジマン法 結晶育成用としても使用することができます。 【特長】 ■試料回転昇降装置と縦型環状炉で構成 ■真っ直ぐで、同じ焼結密度を持った試料棒の焼結を容易に作製可能 ■遅送り機能を付加し、ブリッジマン法結晶育成用としても使用できる ■設定の容易さや操作性に優れたタッチパネルを採用 ■回転昇降機付縦型電気炉と同様に原料棒の焼結も可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
雰囲気制御された状態での熱処理装置で、ロウ付、脱酸素、蝋の除去、焼結用に使用
雰囲気制御された状態での熱処理装置で、ロウ付、脱酸素、蝋の除去、焼結用に使用 ※カタログは、以下の「▸ 関連リンク」経由でダウンロードが可能です。
製品企画から設計製作・納入据付まで全てお任せ下さい！各種電気炉の販売・修理も対応します。
低温度から高温度の各種電気炉を研究・実験用小型電気炉として、 生産施設としての大型電気炉まで幅広く対応いたします。 作業の効率化、省力化に対応できる全自動型電気炉の設計製作にも 対応します。 電気炉のメンテナンスも承っております。修理のご依頼や性能を グレードアップしたいなど、様々なご要望にお答えします。 その他詳細は、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
半導体用クリーンルーム対応リフロー炉
ウェハーレベルのソルダバンプ形成とベアチップのフェースダウン実装を可能にした最新のマイクロソルダリング用リフロー炉です。
リチウムイオン電池用Si系や黒鉛系負極材表面への均一なCVDカーボンコートなどに
炉心管を回転させ、粉体試料を攪拌させながら、CVDプロセスを可能にした装置。攪拌作用により、均一なCVD処理が可能になる。
最高級のＡＬ溶湯の供給が可能なアルミニウム手許溶解・保持炉
●最高級のＡＬ溶湯の供給が可能 溶解室の「プール部」に付加して、保持室を溶湯内部から加熱することで高温酸化物の発生は皆無。 ●エネルギー量低減が実現 熱量ベースで約７０％低減が可能。（対ガスバーナー比） ●環境性の向上 ＣＯ２排出ガス、炉体からの放熱量、騒音量が大幅に低減。
高品質且つ高温のアルミ溶湯供給を徹底的に追求！回転式脱ガス装置を装備しています
『ハイクオリティアルキープ』は、高品質且つ高温のアルミ溶湯供給を 徹底的に追求したフルスペックモデルのアルミニウム溶解保持炉です。 高効率で溶湯中ガスを回収する回転式脱ガス装置を装備。 保持燃焼室から処理室及び汲出口までの異物及びガス混入を防止するための 独自のライニング構造となっています。 また、“アルキープ”のプール部を活かし、更に溶湯品質と環境性を向上 させたハイスペックモデルの「アンダーアルキープ」もご用意しています。 【ハイクオリティアルキープ 特長】 ■保持燃焼室から処理室及び汲出口までの異物及びガス混入を 防止するための独自のライニング構造 ■高効率で溶湯中ガスを回収する回転式脱ガス装置を装備 ■高品質且つ高温のアルミ溶湯供給を徹底的に追求したフルスペックモデル ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
