電子顕微鏡での受託観察
走査型電子顕微鏡(FE-SEM)による表面観察を受託いたします:分解能(感度等):~20万倍
■試料をお送り頂きますと、試料台作成~画像撮影~画像ファイル(jpeg)変換を行い、お送り致します。 ■格安料金を設定しておりますので、ぜひご利用下さい。
- 企業:株式会社魁半導体
- 価格:1万円 ~ 10万円
更新日: 集計期間:2025年10月08日~2025年11月04日
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走査型電子顕微鏡(FE-SEM)による表面観察を受託いたします:分解能(感度等):~20万倍
■試料をお送り頂きますと、試料台作成~画像撮影~画像ファイル(jpeg)変換を行い、お送り致します。 ■格安料金を設定しておりますので、ぜひご利用下さい。
高分解能(加速電圧30kV:4nm)でのSIM像観察が可能
・高分解能(加速電圧30kV:4nm)でのSIM像観察が可能 ・SEM像に比べてSIM像の方が極表面層の情報が得られる ・金属結晶粒観察が可能(Al、 Cu等) ・分解能はSEM像より劣る(SIM:4nm、 SEM:0.5nm) ■MST所有装置の特徴 ・試料サイズ最大直径300mmφのJEIDA規格ウエハ対応が可能 ・FIB(集束イオンビーム)加工との組み合わせで連続的な断面SIM像の取得が可能(Slice&View)
EDXが装着されており、試料観察と同時に元素の種類・量・分布状態を調べることが可能です!
『FE-SEM』は、電子線を絞り細い電子線を試料に照射し、表面を観察する 電界放出型走査顕微鏡です。 超高分解能観察が可能。汎用SEMと同様に電子線を絞り電子ビームとして 対象に照射し、対象物の表面から放出される二次電子や反射電子を検出 することで、対象の表面の観察を実施。 また、JSM-7100Fでは、EDS及びEBSD解析装置が装着されているため、 高分解能の観察だけでなく元素分析や結晶性試料の方位解析(EBSD解析)が できます。 【特長】 ■サブミクロンオーダーでの観察が可能 ・汎用SEMより高倍率で形態観察が可能で、より鮮明な像を取得可能 ■EDX(エネルギー分散型分析装置)による定性分析 ・EDXが装着されており、試料観察と同時に元素の種類・量・分布状態を 調べることが可能 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
細く絞った電子線を試料に照射!結晶方位や結晶構造の解析もできる電子顕微鏡!
『FE-SEM(電界放射電子銃式走査型電子顕微鏡)』は、汎用SEMよりも更に細く 絞った電子線を試料に照射、走査することによって、より鮮明な拡大像などが 得られる装置です。 また、細く絞った強い電子ビームを利用して結晶方位解析法(Electron Back-Scatter Diffraction;略してEBSD)を用いると、結晶方位や結晶構造の解析を行うことも できます。 【適用対象】 ■金属材料全般 ■セラミックス ■繊維(蒸着処理必要) ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
難電導性試料の無蒸着観察可能!繊維等の表面観察に最適な走査型電子顕微鏡検査
『走査型電子顕微鏡(SEM)』は、細く絞った電子線を試料に照射、走査し、 二次電子や反射電子を検出してその強度をモニター上に映像として表示する ことによって対象物の拡大像などを得る装置ですです。 像質が落ちるため高倍率観察には向きませんが、低真空モードを使い、 難電導性試料の無蒸着観察も可能です。 【観察項目】 ■5~300,000 倍での表面観察 ■附属装置のエネルギー分散型X線分析装置(EDS)による元素分析(B~U) ■微小領域の元素同定(定性分析・半定量分析) ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
コンフォーカルレーザー顕微鏡を使用!高温時のサンプルからの放射光等の影響を受けず観察ができます
『VL3000DX-SVF18SP』は、最高1800℃の超高温環境下での 鮮明なミクロ観察ができる超高温観察レーザー顕微鏡システムです。 高倍率、高コントラストでの観察像を得ることが可能。 鉄鋼、非鉄金属、セラミックス、二次電池等の高温下における 微細構造挙動の研究、材料開発にご活用ください。 【特長】 ■高解像度 In situ観察 ■超高温下の高分解能画像を取得できる ■多様な観察条件を実現 ■最高1800℃の急速昇温・急速冷却 ■優れた操作性・制御性 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
熱物性を測定することで、薄膜の厚みが評価できます!
ベテル社製サーマルマイクロスコープTM3を使用することで、 「薄膜の厚み」が評価できます。
広視野角の蝶番式三眼鏡筒を装備!カメラユニットも装着できます
『OSK 97XJ MX-6RT』は、広範囲な研究分野に対応可能な 正立型金属顕微鏡です。 操作者の負担を最低限に抑える様に設計されており、モジュール構造により 微分干渉、斜光、偏光などの観察オプションを自由に選択可能。 また、ステージの移動幅を広くとれるガラス製大型プラットホーム設計を 採用しております。ご要望の際は、お気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■広視野角の蝶番式三眼鏡筒を装備、カメラユニットも装着可能 ■ステージの移動幅を広くとれるガラス製大型プラットホーム設計採用 ■微分干渉レンズ用スロット付暗視野内蔵の高精度対物レンズ5穴レボルバー ■安全かつ安定した正立型フレーム構造設計 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
AFM :原子間力顕微鏡法
AFMは微細な探針で試料表面を走査し、ナノスケールの凹凸形状を三次元的に計測する手法です。 金属・半導体・酸化物などの材料評価だけでなく、毛髪やコンタクトレンズなどのソフトマテリアルまで幅広い材料を測定可能です。 本資料では、様々な材質のAFM像をご紹介します。
コンパクトに設計された高温加熱観察装置です。 お持ちの顕微鏡、マイクロスコープに載せて使用可能です。
IR-TPSは、”高機能とローコスト”の相反する事を追求して完成した顕微鏡用高温ステージです。 標準構成はもとより、高品質オプションで高度なシステム機器が構築できます。 精密な温度制御と空気中・不活性ガス中・真空中の雰囲気下で、材料解析等の研究や品質管理等にご利用いただけます。 【特徴】 ○赤外線集光で試料だけの秒速高温均一加熱(1500℃まで60秒以内) ○クリーン加熱で省エネ ○メンテナンスが簡単 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
赤外光で非破壊検査
IR 顕微鏡システムSK19001-300 は、シリコンウェハーを透過する近赤外光を用いることで、PC 画面上でウェハー内部の欠陥や接合面の状態の目視確認を行うことができる非破壊の検査システムです。
最高1800℃の環境下を高解像度で in-situ(その場)観察。セラミックス、二次電池等の研究、材料開発に!
米倉製作所を代表する加熱観察IRイメージ炉に、デジタルバイオレットレーザー顕微鏡を搭載。 最高1800℃の超高温環境下の鮮明なミクロ観察を可能にしました。 従来機と比べ、解像度・明るさが約2倍に向上*し、高倍率、高コントラストでの観察像が得られます。 鉄鋼、非鉄金属、セラミックス、二次電池等の高温下における 微細構造挙動の研究、材料開発にご活用ください。 *当社従来型の「VL2000DX-SVF17SP」と比較 ◆ ポイント◆ ・ 高解像度in-situ(その場)観察 超高温下の高分解能画像を取得 ・多様な観測条件を実現 最高1800℃の急速昇温・急速冷却 ・優れた操作性・制御性 温度と正確にリンクした高速画像取得 オプションの負荷機構モジュール「SVF12FTC」を利用することで、 高温下で応力負荷中(最大5kN)の観察が行えます。 詳細はお問い合わせください。
Csコレクタ付TEMによる高分解能TEM観察
TEMの球面収差を補正したCsコレクタ付TEM装置を用いることで、高分解能で素子の断面構造観察を行うことができます。 本事例では市販のハードディスクから磁気ヘッドを取り出し、MTJ:磁気トンネル接合(Magnetic tunneljunction)部の高分解能(HR)-TEM観察を行ったデータを紹介します。 このように金属の極薄膜の多層構造でも明瞭に構造を観察することが可能です。
InGaZnO4粒子の超高分解能STEM観察
Csコレクタ(球面収差補正機能)付きSTEM装置により、超高分解能観察(分解能0.10nm)が可能となりました。原子量に敏感なHAADF※-STEM像は多元系結晶構造を直接理解できる有効なツールです。今回、酸化物半導体中微粒子の評価を行いましたので紹介します。異種材料界面・化合物界面の原子配列、粒界偏析評価などに応用できます。 ※High-Angle Annular Dark-Field: 原子量(Z)に比例したコントラストが得られます。
コストパフォーマンスに優れた超高真空常温SPM
超高真空 (10-8Pa以下)、常温でのSTM・AFM・SNOMなど幅広い応用に対応可能な走査型プローブ顕微鏡 (SPM) システムです。 コンパクトでシンプルな構造と優れた除振機構により高分解能なSPM測定を容易に実現します。