Last Updated： Aggregation Period:2025年08月20日～2025年09月16日
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操作がとても簡単な測定顕微鏡！最小読取値0.01mm（デジマチック仕様）※特注品対応可能
『XYシリーズ』は、直線上の2点間を測定する非接触式測定顕微鏡です。 二次元計測ソフト(オプション)により、計測値や画像を保存することができます。 ステージはアルミ製・ガラス製よりお選びいただけます。 USBカメラ仕様の他に標準鏡筒（直筒）仕様もございます。どちらかご選択ください。 その他、特注仕様に関しましては、ご相談ください。 【特長】 ■簡単操作 ■直線上の2点間を測定 ■二次元計測ソフトにより計測値・画像の保存が可能 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
最大60“までのパネルを明視野透過・反射検査、微分干渉検査が電動レボルバとオートフォーカスで合焦画像検査ができます。
最大60”までのモジュール製品を顕微鏡検査する測長顕微鏡です。 延長鏡筒なので、手元で目視検査とモニタ検査ができます。 顕微鏡固定型なので延長鏡筒で目視検査・モニタ検査ができ、自動計測は ステージ移動量と合わせた自動計測ができます。 詳しくは、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
欠陥の特定、走査および解析の自動欠陥検査を10倍迅速化する原子間力顕微鏡システム
『Park NX-HDM』は、メディア及び基盤用の自動欠陥検査及びサブオング ストローム表面粗さ測定が可能な原子間力顕微鏡です。 広範な光学検査装置と直接リンクし、自動欠陥検査のスループットを 大幅に向上させます。 また、繰り返し測定においてもサブオングストロームの正確な 表面粗さ測定を提供します。 【特長】 ■メディアおよび基板用の自動欠陥検査 ■正確なサブオングストロームの表面粗さ測定 ■真の非接触モードによるコスト削減 ■低ノイズZ検出器による正確なAFMトポグラフィー ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
サンプリング作業に最適化されたコンパクトな1台
低価格にも関わらず、大変コストパフォーマンスに優れた実体顕微鏡です。 弊社製クイックプロ、ラビトル３Dと組み合わせれば、 非常にコンパクトで使いやすい顕微鏡一体型のマニピュレーターシステムになります。 《製品の特徴》 ■標準で、LEDリング照明（反射）とCマウントアダプタを装備 ■観察倍率は7×～45×、補助対物レンズを併用すれば14×～90×までもカバーできます ■誇張の少ないナチュラルな見えにより、微細な作業での疲労を低減 ■オプションで、XYステージの用意もあり ※ 詳しくは以下リンクからお問合せください。
NXテクノロジーを導入した完全自動化産業用AFM
『Park NX-3DM』は、オーバーハングプロファイル、高解像度側壁 イメージング、および臨界角測定用に設計された完全自動AFMシステムの 原子間力顕微鏡(AFM)です。 傾斜Zスキャナを備えた特許取得済みの分離型XYおよびZスキャン システムにより、正確な側壁分析における通常およびフレアチップ法の 課題を克服します。 【ウエハファブ用で必須なツール】 ■高度で正確なPark NX技術を用いた完全自動産業用AFM ■アンダーカットやオーバーハング構造のためのチルトヘッドデザイン ■サンプル前処理不要で正確な側壁粗さ計測 ■完全非接触モード(TM)により、装置とサンプルにダメージを与えずに 高品質のイメージが得られる ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
C-AFMやKFM、sMIMなどの測定モードで最大100mm角のサンプルに対応
導電性AFM、ケルビンプローブフォース顕微鏡法（KFM）、走査型マイクロ波インピーダンス顕微鏡法（sMIM）などの機能に加え、4インチまでのサンプルに対応。 ■サンプルサイズ ：最大100 mm角 ■ステージ移動距離 ：100 mm ■XY走査範囲 ： 100 μm (製造寸法公差 +/- 10%) ■Z走査範囲 ： 9 μm (製造寸法公差 +/- 10%) ■XY走査分解能 : 24ビット制御 – 0.06 Angströms ■Z走査分解能 : 24ビット制御 – 0.006 Angströms ■ノイズレベル ：Typ : <0.01 mV RMS
アリ溝式ステージ、メジャースコープ、画像認識用レンズ、エアーピットなど緻密で繊細な手作業によって作り込まれた製品を紹介！
ミラック光学が製造する精密機器・光学機器は、すべて MADE IN JAPAN です。 日本のお家芸とも言える緻密で繊細な手作業によって作り込まれた製品は、品質・精度・耐久性において自信を持ってお客様へお薦めできるものばかりです。 『光学関連機器・部品 総合カタログ』では、さまざまな位置決めに対応した他にはないバリエーションと、なめらかな摺動の「アリ溝式ステージ」、さまざまな工業関係の生産・加工・検査工程に必要不可欠な顕微鏡「メジャースコープ」、高品質で低価格を追求、レンズ機能を高める周辺機器も充実している「画像認識用レンズ」、吸着・搬送、製品への傷・汚れ・指紋・手油の付着、心配無用「エアーピット」など、多数掲載しています。 【掲載内容】 ■アリ溝式ステージ ■メジャースコープ ■画像認識用レンズ ■エアーピット ※詳しくはPDFダウンロード、もしくはお問い合わせください。
ステージ・顕微鏡の総合カタログ＆検査装置の改善事例をセットでプレゼント！
アリ溝式ステージや測定工具顕微鏡、画像認識用レンズなどを製造する 光学機器メーカー・ミラック光学から、“総合カタログ”と “検査装置の改善事例をまとめた技術資料”をセットで無料進呈！ アリ溝式ステージはしっとりと滑らかな摺動と高耐久性が特長で、 FA分野における位置決め部品や、治工具などの機械要素部品として幅広く活躍中。 改善事例では、小型化したアリ溝式ステージで検査装置の 小型化・XY可動化に成功したケースを紹介しています。 【掲載内容】 ■アリ溝式ステージ ■測定工具顕微鏡 メジャースコープ ■画像認識用レンズ ■真空ピンセット エアービット ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。 ※総合カタログはダイジェスト版になります。 完全版をご希望の方はお問い合わせからご請求ください
自動欠陥検査機能、低ノイズ、高スループット！正確な原子間力顕微鏡をご紹介！
『Park NX-Wafer』は、欠陥のイメージングと解析を完全自動で行う AFM計測手法により、欠陥検査における生産性を1,000％向上する 原子間力顕微鏡です。 正確でハイスループットのCMPプロファイル測定のための低ノイズ 原子間力プロファイラー。 サブÅの表面粗さを極めて正確に測定し、チップ間のバラツキを最小化します。 【特長】 ■欠陥のイメージングと解析を完全自動で行うAFMソリューション ■欠陥レビューにおける生産性を最大1000％向上 ■低ノイズ原子間力プロファイラーで正確且つ高スループットなCMP計測を実現 ■非常に正確で、チップーチップ間のバラツキも最小にしたサブÅ表面粗さ計測 ■原子間力プロファイラー ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
研究用から生産現場向けまで、大小様々なシステムのカスタマイズ提案が可能な原子間力顕微鏡（AFM）のご紹介
当社では、ユーザーフレンドリーな操作性に対応し、表面形状の測定を 簡単かつ短時間で行える『原子間力顕微鏡（AFM）』を取り扱っています。 アクティブ防振機構を搭載し、多彩な測定モードに対応した「CoreAFM」や、 専用ツールの使用によりカンチレバーの交換がスムーズに行える コンパクト設計の「NaioAFM」などのモデルをラインアップ。 研究現場向けの小型仕様から、生産現場向けの大型ステージ仕様、 品質管理用の自動化システムといったカスタマイズ対応が可能です。 【ラインアップ（抜粋）】 ◎卓上型原子間力顕微鏡「CoreAFM」 ■アクティブ防振機構・風防を採用 ■32種類の測定オプションを搭載可能 ◎小型原子間力顕微鏡「NaioAFM」 ■コントローラ、XYステージ・風防・防振機構が一体化 ■高分解能トップビュー光学カメラ搭載 ※当社が取り扱う走査型プローブ顕微鏡をまとめたカタログを配布中。 詳しい内容は「PDFダウンロード」よりご覧いただけます。
微小領域に紫外光照射検査ができます。
微小スポット露光顕微鏡はマスク欠陥の高精度レビュー検査顕微鏡で画面の微小領域にスリット露光できるスポット顕微鏡です。 レジストを塗布したマスクをステージに載せ欠陥検査機のデータから欠陥位置を自動再現してXYスリットで露光範囲を決め水銀スペクトルをタイマー露光するスポット照射顕微鏡です。 詳しくは、カタログをダウンロードしてご覧下さい。
表面形状の測定を短時間・簡潔に！防塵・防風用シールド、防振機構が標準搭載
『NaioAFM』は、表面形状の測定に必要な要素技術を標準搭載しつつ、 装置のセットアップやカンチレバー交換が簡単に行えるなど、 機能性と操作性を両立したコンパクトタイプの原子間力顕微鏡です。 スキャン前に必要な再チューニングやサンプルへのアプローチ、 サンプル平面の傾斜補正はソフトウェアが自動的に行うため、 サンプルにカンチレバーを近づければ、スキャンが開始されます。 【特長】 ■コントローラ、XYステージ・防風シールド・防振機構が一体化 ■高分解能トップビュー光学カメラ搭載・場所決め用サイドビュー観察 ■ニーズに応じて測定モードの追加が可能 ■お客様先に装置を持参してのデモも受付中 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。 デモをご希望の方はお問い合わせフォームよりお申込み下さい。
ウエハチップのパターンなど高精細顕微鏡検査用AF装置
ウエハチップのパターンなど高精細顕微鏡検査用AF装置です。 電動XYステージでワークを移動させても常に合焦画像でのパターンマッチング検査ができます。ファイルデータから座標を制御して検査に最適な倍率で試料高さのオートレビュー画像ファイル機能もあります。 検査後マクロMAPを表示して欠陥箇所確認ができます。
380nm～1050nmの可視光から近赤外まで幅広い波長領域での分光測定を実現
オリンパスの近赤外顕微分光測定機USPM-RU-Wは、可視光領域から近赤外領域までの幅広い分光測定を、スピーディー高精度に行います。 通常の分光光度計では測定できない微小エリアや、曲面の反射率の測定が容易にできるため、光学素子や微小電子部品などにも最適です。
かんたん操作でコンパクト・壊れにくい！低コストな“All-in-one”AFM装置をご紹介
『NaioAFM』は、大学や専門学校におけるナノテクノロジー教育や、 研究開発または品質管理の現場で、表面形状を短時間に簡潔に測定したい ユーザーに好適なコンパクトタイプ原子間力顕微鏡です。 当製品特有の“Flip-over”スキャンヘッドと専用交換ツールにより、短時間に そしてシンプルに、カンチレバーの交換が可能。 機能性と操作性を両立し、どなたでも、どこでも使える“All-in-one”AFM装置 として、世界中で広くご利用いただいております。 【特長】 ■コントローラ、XYステージ・防風シールド・防振機構が一体化 ■高分解能トップビュー光学カメラ搭載、場所決め用サイドビュー観察 ■ニーズに応じて測定モードの追加搭載が可能 ■シンプルなカンチレバー交換：レーザや検出器の調整不要 ■設置後すぐに測定可能：USBケーブルを接続しソフトウエアを立ち上げるだけ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
