ベルヌーイピンセット(50μm超薄ガラス用)
50μm超薄ガラス・超薄ウエハを非接触にて搬送するピンセット
気体を噴出することにより非接触にてウエハを搬送するベルヌーイチャックにバルブの付いた取っ手を付け、ピンセットのように手操作によるバルブ操作により、ウエハ、チップを非接触にて所定の場所に搬送する非接触ピンセット。非接触であるのでウエハに傷を付けず、簡易に非接触にて搬送する。
- 企業:有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
- 価格:応相談
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50μm超薄ガラス・超薄ウエハを非接触にて搬送するピンセット
気体を噴出することにより非接触にてウエハを搬送するベルヌーイチャックにバルブの付いた取っ手を付け、ピンセットのように手操作によるバルブ操作により、ウエハ、チップを非接触にて所定の場所に搬送する非接触ピンセット。非接触であるのでウエハに傷を付けず、簡易に非接触にて搬送する。
高温のサセプターからウエハを非接触にて取り出す耐熱仕様のピンセット
CVD装置による半導体ウエハのエピタキシャル成膜後のサセプター上の高温ウエハを、気体を噴出することにより非接触によりウエハを懸垂保持し搬送する「フロートチャック」に手動バルブの付いた取っ手を装着し、ピンセットのようにハンドルを持つ手によるバルブ操作により気体供給のON−OFFを行い、高温のサセプターからウエハを非接触にて取り出す耐熱仕様の「非接触ピンセット」。
6inと8inウエハを同じ非接触ピンセットにて掴むことができる
「6in・8inウエハ両用非接触ピンセット」(特許) 新しく気体垂直噴流方式を採用しております。 気体垂直噴流方式はクッション室にノズルより噴出する気体流を垂直気体噴流させることり、クッション室内の気体流の摩擦損失を減少させ、負圧発生の効果を増し、従来型より大幅に懸垂能力を増加させることで、保持安定元力が増し、衝撃に強く、気体消費量をほぼ半減させました。 「6in・8inウエハ両用非接触ピンセット」のハンドルの先端の非接触搬送装置「フロートチャック」(特許)をハンドルを持つ手の操作により空気供給のON-OFFを行い、ウエハを非接触にて吸着し、脱着を行います。 ◎特徴 1.6inと8inウエハが同じピンセットでハンドリング出来る。 2.手操作である 3.傷・汚れの付着がない。 4.簡便である。 ◎適応 1.6inおよび8inウエハ (他のウエハ用も製作しております。) 2.ガラス基板 3.レンズ 4.チップ 5.太陽電池
空気でつかむ
●気体を噴出することによりベルヌーイ効果・エゼクタ効果により生じた負圧によりLCOS個片を非接触にて吸引保持、搬送する。 ●きず、汚れ、パッド跡を付けない。 ●クリーンルームにて使用可能 ●通気性ワーク、穴あきワーク、極薄柔軟ワークも可能 ●手操作にても使用可能
Φ300mm高屈折率ガラスウエハ用非接触ピンセット
φ300mm高屈折率ガラスウエハ撓ますことなく、ストレスをかけることなく、キズ、汚れを付着させることなくマニュアル操作によるピンセットにて非接触にて移載およびハンドリングする。
プロトスキャリア用のウエハを傷を付けずに移載する非接触ピンセット
『プロトスキャリア用 ウエハ非接触ピンセットは、薄ウエハ、反りのあるウエハを非接触にてプロストキャリアから取り出しまたは収納します。
空気供給on-offマニュアル操作によるウエハ非接触ピンセット
ウエハ、チップ、レンズ、太陽電池基板、ガラス基板をピンセットのようにハンドルに付いたバルブをマニュアル操作により空気供給のON−OFFを行い。ウエハ、チップ、レンズを非接触にてつかむ。
水和工程のソフトコンタクトレンズを掴むピンセット
水和工程の含水したコンタクトレンズを人手で掴む「含水したソフトコンタクトレンズ用ピンセット」は、空気を噴出することによりコンタクトレンズを把持し移載します。 また脱着する際には搬送装置内部を昇圧させ脱着します。従って吸引操作および脱着操作には機械的な操作はありません。 全ての操作を空気流の作用により行っております。柔軟なコンタクトレンズに損傷を与えることなく搬送します。従って薄くて軟弱なコンタクトレンズに損傷を与えることなく搬送することが可能です。 水和工程の含水したレンズの把持・移載も可能です。 ◎特徴 1.コンタクトレンズの吸引把持・脱着を空気流により行う。 2.水和工程の含水したコンタクトレンズのピックアップ・脱着が可能。 3.真空吸着でないからレンズを変形・損傷させない。 4.機械的な押し剥がしによる脱着機構でないからレンズを変形・損傷させない。
マニュアル操作により化合物半導体ウエハ(GaAs,InP,GaP)を非接触にて所定の位置に搬送します。
◎特徴 1.450℃の高温ウエハの非接触搬送が可能である。 2.化合物半導体ウエハ(GaAs,InP,GaP)の下記の切り欠きウエハの非接触搬送が可能である。 ・Φ2~4in ウエハ ・Φ2~4inx1/4ウエハ ・Φ2~4inx1/2ウエハ