集積化ガスシステム対応ガスフィルター
高濾過精度
半導体製造ガスラインなどに用いられる（株）ピュアロンジャパン製集積化ガスシステム対応ガスフィルターです。
- Company：株式会社ピー・ジェイ
- Price：応相談
フィルタ×株式会社ピー・ジェイ - List of Manufacturers, Suppliers, Companies and Products
フィルタ Product List
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インラインセラミックガスフィルター
常に安定した状態で0.003μmの高濾過精度を有するガスフィルターを開発
半導体製造ガスラインなどに用いられる（株）ピュアロンジャパン製インラインセラミックガスフィルターです。水や酸素などの不純物の除去を確実に行うための、200℃の高温ベーキングが可能です。
- Company：株式会社ピー・ジェイ
- Price：応相談
低圧力損失インラインセラミックガスフィルター
濾過精度
半導体製造ガスラインなどに用いられる（株）ピュアロンジャパン製インラインセラミックガスフィルターです。
- Company：株式会社ピー・ジェイ
- Price：応相談
腐蝕性特殊ガス対策用ハステロイC-22ハウジング製
ハロゲン系反応性腐蝕性特殊ガスに対し、耐蝕性が非常に高く極めて優れた性能を発揮いたします。
半導体製造ガスラインなどに用いられる（株）ピュアロンジャパン製セラミックガスフィルターです。 フィルター構成部材には、フィルターハウジングにハステロイC-22を、そしてフィルターエレメントにはセラミックスを使用しております。これら全ての部材は、HBr、HClなどのハロゲン系反応性腐蝕性特殊ガスに対し、耐蝕性が非常に高く極めて優れた性能を発揮いたします。
- Company：株式会社ピー・ジェイ
- Price：応相談
ハステロイオールメタルガスフィルター
全ての材質にハステロイを使用
(株)ピュアロンジャパン製 ガスフィルターです。 高流量・高差圧下においても０.００３μｍ以上の粒子を高い効率で除去します。１０Ｌ/ｍｉｎ程度の少流量から２５０Ｌ/ｍｉｎ程度の中流量まで幅広いラインナップをご用意しております。従来のメタルフィルターと比較して圧力損失が極めて低く、コンパクトサイズでより高流量のガスを処理できます。
- Company：株式会社ピー・ジェイ
- Price：応相談
高濾過精度低圧力損失ＰＴＦＥガスフィルター
安定した濾過性能
濾過膜はＰＴＦＥ製２層構造で経年や振動などでの伸びが殆どなく、安定した濾過性能を有します。全数疑縮核式パーティクルカウンターによって０.００３μｍのパーティクル捕捉試験を実施しております。
- Company：株式会社ピー・ジェイ
- Price：応相談
高耐圧用ＰＴＦＥガスフィルター
濾過膜はＰＴＦＥ製２層構造で経年や振動などでの伸びが殆どなく、安定した濾過性能を有します。
全数疑縮核式パーティクルカウンターによって０.００３μｍのパーティクル捕捉試験を実施しております。
- Company：株式会社ピー・ジェイ
- Price：応相談
ベント用フィルター ＦＢＡシリーズ
スループットが大幅に向上
半導体製造装置に使用される、(株)ピュアロンジャパン製 ベント用フィルターです。ロードロック室(Load lock chamber) や搬送チャンバー(Transfer chamber)等において、真空破壊を行う際に発生してしまうパーティクルの巻上げや過渡的な乱流の発生は、ウェハーへのパーティクル付着やダメージを与える可能性があります。従来は窒素ガスをゆっくり導入するスローベントを行うことで同現象を防いでおりましたが、Pureronのベント用フィルターを使用することで、スループットが大幅に向上します。
- Company：株式会社ピー・ジェイ
- Price：応相談
低圧力損失・高濾過精度セラミックガスフィルター
高濾過精度0.003μmの性能をそのままに、低圧力損失を実現！
半導体製造ガスラインなどに用いられる（株）ピュアロンジャパン製インラインセラミックガスフィルターです。 従来のＰＧＦシリーズと全く同じ外形寸法で約2倍の流量を処理できます。
- Company：株式会社ピー・ジェイ
- Price：応相談
微少流量超小型セラミックガスフィルター
SPCシリーズは超小型（φ21×84mm）、軽量（90g）に設計されております。
取り付けスペースの狭いシリンダーキャビネットや装置などに最適です。
- Company：株式会社ピー・ジェイ
- Price：応相談
大流量セラミックガスフィルター
流量500L/minから3,000L/minまでの一次側バルク・ガスラインでの使用に適しています。
半導体製造ガスラインなどに用いられる（株）ピュアロンジャパン製セラミックガスフィルターです。
- Company：株式会社ピー・ジェイ
- Price：応相談
低圧力損失メタルガスフィルター
歩留まりを大幅に向上
(株)ピュアロンジャパン製 ガスフィルターです。 フィルター構成部材全てにＳＵＳ３１６Ｌを使用し、腐食や二次生成物の恐れがなく高耐熱性を発揮致します。窒素ガス（Ｎ２）をフィルターＩＮ側圧力０．２ＭＰａで流したときのＯＵＴ側圧力損失は△０．０５ＭＰａで９０ＳＬＭの流量を実現しました。また、定常流・脈動下において濾過精度０．００３μｍをＣＮＣで確認、サブミクロンＵＬＳＩ製造で歩留まりを大幅に向上致します。
- Company：株式会社ピー・ジェイ
- Price：応相談
粗取り用オールメタルガスフィルター
幅広い濾過精度に対応
(株)ピュアロンジャパン製 ガスフィルターです。 定常流・脈動下において濾過精度０.１〜１０μｍまでの幅広い濾過精度に対応。フィルター構成部材で腐蝕性材料は使用しておりませんので腐蝕や二次生成物の恐れはありません。専用のベーキングヒーターの併用によりＡＰＩＭＳの測定で脱ガス(水分量)１.２ｐｐｂを達成しました。継続使用により０.１ｐｐｂレベルまで可能です。
- Company：株式会社ピー・ジェイ
- Price：応相談
高濾過精度オールメタルガスフィルター
コンパクトサイズでより高流量のガスを処理
(株)ピュアロンジャパン製 ガスフィルターです。 全ての材質にＳＵＳ３１６Ｌを使用。高流量・高差圧下においても０.００３μｍ以上の粒子を高い効率で除去致します。従来品と比較し圧力損失が極めて低く、コンパクトサイズでより高流量のガスを処理できます。１０Ｌ/ｍｉｎ程度の少流量から２５０Ｌ/ｍｉｎ程度の中流量までの幅広いラインナップをご用意しております。
- Company：株式会社ピー・ジェイ
- Price：応相談
低圧力損失ＰＴＦＥガスフィルター
濾過膜はＰＴＦＥ製２層構造
(株)ピュアロンジャパン製ガスフィルターです。 濾過膜はＰＴＦＥ製２層構造で経年や振動などでの伸びが殆どなく、安定した濾過性能を有します。全数疑縮核式パーティクルカウンターによって０.０１μｍのパーティクル捕捉試験を実施しております。
- Company：株式会社ピー・ジェイ
- Price：応相談
