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３００ｍｍウエハーでワンショット1秒で検査
高精度ウエハークラック検査装置「スーパーマクロSM75」は、３００ｍｍウエハーでも全視野ワンショット１秒以下で検査可能で、検査時間が短いため、全自動化検査ラインにも、採用されております。小視野の光学系からラインナップしており、オプション光源に、赤外線を用いることにより内部のボイド検査にも応用できます。近年ウエハーの薄型化が進んでいますが、ＢＧ 加工の不均一性や研磨痕や応力から生じたチップクラックなどウエハー全視野を高速で検査する高精度ウエハークラック検査装置です。詳しくはカタログをダウンロードしてください。
良品・不良品の判別に。簡単操作・自動補正・最大１０スペック設定可能
検査装置「パターン検査装置」は、マスタとなる正常な表面を登録し、検査時にその 登録画像と比較することにより、画像表面に付着している異物、傷、汚、パター欠陥 を検出します。またアライメントパターンの位置を表示し、寸法検査も行います。検出したパターンや異物等の面積、サイズ（最大径）を測定し、その検査結果データを測定条件と比較し、良品／不良品の判別をします。検査結果データはファイリングし蓄えます。詳しくはカタログをダウンロードしてください。
簡単操作、高精度。透明電極などを顕微鏡検査する照明装置を搭載
検査装置「透明膜検査証明装置」は、透明ガラス上に形成された透明膜などのパターンをハイコントラストに直接目視またはカメラ観察できます。臨界角よりガラス基板 の表面の拡散光を均一にした背光効果を発生させ臨界照明で暗視野と比較してエッジが白く光らない為、光量調整された同軸反射照明を入れることにより透明素ガラス部の散乱表面反射を押さえ透過効果により透明膜が無い部分の反射率を上げるハレーション効果を上げています。それにより背光で透明電極のパターンを黒くするコントラスト性をアップさせることが可能です。詳しくはカタログをダウンロードしてください。
簡単操作！高精度に測定する検査装置！
『PSI-50』は、小型ガラス基盤やパネルの外形形状検査を高精度に測定が可能な 検査装置です。 外形寸法（最大幅）／バリ検出／欠け検出／切断ズレ検査や、 ガラス流し込み部の寸法測定が可能です。 また測定MAP表示機能、画像保存等を搭載しており、またパネル角度の 自動補正機能によりワークを検査ステージに置く際に角度を正確に 合わせる必要はありません。 範囲は設置すれば、自動的に角度を補正します。 置いた角度が大きすぎると測定精度に影響が出ますので、警報を表示する仕様に なっています。 【特長】 ■測定MAP表示機能搭載 ■画像保存機能搭載 ■自動補正機能付き ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
簡単操作、高精度！透明電極などを顕微鏡検査する照明装置を搭載！
『透明膜検査証明装置』は、透明ガラス上に形成された透明膜などの パターンをハイコントラストに直接目視またはカメラ観察できる装置です。 臨界角よりガラス基板の表面の拡散光を均一にした背光効果を発生させ、 臨界照明で暗視野と比較してエッジが白く光りません。 また、光量調整された同軸反射照明を入れることにより透明素ガラス部の 散乱表面反射を押さえ、透過効果により透明膜が無い部分の反射率を上げる ハレーション効果を上げています。 さらに、背光で透明電極のパターンを黒くするコントラスト性をアップさせる ことが可能です。 【特長】 ■照明装置を搭載 ■操作が簡単 ■高精度 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
水平FFU搭載！高速クリーン検査可能！コンパクト設計のAR膜欠陥検査装置
アローズエンジニアリングでは、アイティ・テック社製の AR膜欠陥検査装置を取扱っています。 『EX2001S』は、ガラス基板の反射防止膜の欠陥検査機です。 透明基板の表面や裏面を倒立顕微鏡とラインカメラで 高速スキャン検査して欠陥検査をします。 【特長および機能】 ■対象基板は最大400mm、透明基板にオートフォーカスで検査 ■検出欠陥：AR膜基盤の白異物(抜け)や黒異物 ■最小検出分解能2.8μm(1.4μm) ■レビュー検査をリモート制御(カメラ/照明/対物変倍/ステージおよびフォーカス) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
傷・異物・クラックなどの欠陥の検査に。エッジの精細画像検査を実現
検査装置「ウエハエッジ外観検査機」は、ウエハ外周の端面と上下の３面を同時に 高速光学画像検査により傷・異物・クラックなどの欠陥を検査します。（８”ウエハで検査時間６秒と高速です）ウエハを裏面吸着して形状をカメラ認識して外径偏芯とオリフラ位置／量を検出して検査機を制御します。新規開発のトリプル光学系とインテグレイト照明がエッジの精細画像検査を実現しました。外部もＰＩＯ制御が可能で自動機に組込むことができます。ウエハーサイズも４インチから８インチ迄、対応可能です。詳しくはカタログをダウンロードしてください。
簡単操作、精密計測、自動計測可能。操作性に優れたＧＵＩ環境
検査装置「cp-30（顕微鏡型画像計測システム）」は、顕微鏡に取り付けられたＣＣＤカメラによって取りこまれた画像を解析して、線幅を自動計測するシステムです。画面内に設定した水平または、垂直ウインドウの輝度波形から、線幅を精密測定します。専用インターフェースでＸＹステージと連動しており、指定位置へ自動的に移動して幅計測を行うことができます。Ｚ軸のオートフォーカス機能により、厚みの違うワークも柔軟に対応できます。また、ウェハーのローダー・アンローダーも搭載可能です。詳しくはカタログをダウンロードしてください。
簡単操作、高速解析。フレキシブルにインライン装置構成の組上げが可能
検査装置「異物検査装置」は、カメラから取り込んだ画像を検査ソフトウェア（Ｉｐ－20）によって処理して、各種の解析ｗｐ高速で行うことができます。入力ソースとなるカメラ機種選択の自由度が大きいことが、本システムの大きな特長となっています。市販のＮＴＳＣ・デジタル出力のほとんどのカメラに対応していますから、ハイエンドの高機能装置からローコストの普及型まで、フレキシブルにインライン装置構成を組み上げることが可能です。詳しくはカタログをダウンロードしてください。
簡単操作。小型ガラス基盤やパネルの外形形状検査を高精度に測定
検査装置「ガラス基板外形検査装置(PSI-50)」は、外形寸法（最大幅）／バリ検出／欠け検出／切断ズレ検査／ガラス流し込み部の寸法測定が可能です。また測定ＭＡＰ表示機能、画像保存等を搭載しております。またパネル角度の自動補正機能によりワークを検査ステージに置く際に角度を正確に合わせる必要はありません。範囲は設置すれば、自動的に角度を補正します。置いた角度が大きすぎると測定精度に影響が出ますので、警報を表示します。詳しくはカタログをダウンロードしてください。
透明膜の線幅測定や外観検査に最適です！
『ITO膜外観検査装置』は、フィルムやガラス基板上の透明膜の線幅測定や 外観検査を行う装置です。 特殊光学系を用いる事でタッチパネルITO膜等の透明パターンの有無や、 飛び散りを明瞭に撮像し外観測定が可能です。 フィルム全体を高速に検査し、高倍光学系で欠陥箇所を詳細にレビュー観察 することが可能です。 また、オプションにて、基板上に乗っている異物の大きさや分布も高速に 測定することができます。 ご要望により、検査範囲や測定精度のカスタマイズも可能ですので、 お気軽にご相談下さい。 【特長】 ■高速に検査可能 ■レビュー観察が可能 ■カスタマイズ可能 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
簡単操作！ワイヤ軌跡等の結果が視覚的に表示されます！
『ワイヤボンディング検査装置』は、検査位置の指定、設定したパラメータでの テスト計測に最適な検査装置です。 撮影した理想サンプルの画像を表示し、簡単なマウス操作にて検査位置の指定、 設定したパラメータでのテスト計測が行えます。 ワイヤ軌跡等の結果が視覚的に表示される為、確認が容易です。 また、品種情報はHDD内に記録され、多品種登録することが可能です。 【特長】 ■パラメータのテスト計測に最適 ■簡単なマウス操作 ■ワイヤ軌跡等の結果が視覚的に表示可能 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
短時間検査、3次元測定、高精度、カスタマイズ可能な外観検査装置です。
本装置は、超高速（１視野１秒定地）で、基板上のワイヤーとボンディング外観検査を行う画像処理装置です。ワイヤーの高さを測定する3次元画像処理部とワイヤー曲がりやボール計上を測定する高解像度の2次元画像処理部の2ステーションで構成されます。2次元画像処理部と3次元画像処理部は交互に動作させ、画像処理PCは2台です。カメラは全て固定で機械装置は基板を移動させます。 ■装置構成例 （2次元画像処理部） ・500万画素CCDカメラ ・レンズ 倍率×1.5倍 ・青色LED ドーム同軸証明 ・LED電源 3HC （3次元処理部） ・130万画素CCDカメラ ・CCTVレンズ f=50mm ・赤色LED ドーム証明 ・画像処理PC及びカメラ取り込みボード
