回転CVD炉
リチウムイオン電池用Si系や黒鉛系負極材表面への均一なCVDカーボンコートなどに
炉心管を回転させ、粉体試料を攪拌させながら、CVDプロセスを可能にした装置。攪拌作用により、均一なCVD処理が可能になる。
- 企業：株式会社マイクロフェーズ
- 価格：500万円 ~ 1000万円
炉(cvd) - メーカー・企業と製品の一覧
更新日： 集計期間:2026年01月07日～2026年02月03日
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炉の製品一覧
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真空焼結炉 FVS-I 誘導加熱式
最高3200℃までの高温に対応可能！黒鉛化炉、CVD炉などに導入いただけます
『FVS-I 誘導加熱式』は、電気をエネルギー源とした工業加熱装置です。 最高3200℃までの高温に対応可能。 タンク形状は丸型でφ800×1000H(mm)の炉内有効寸法の実績があります。 溶解、焼結、焼成、ホットプレスなど、様々な業種で必要とされる 熱加工方法に対応でき、黒鉛化炉、CVD炉などに導入いただけます。 【特長】 ■最高3200℃までの高温に対応できる ■タンク形状は丸型でφ800×1000H(mm)の炉内有効寸法の実績あり ■様々な業種で必要とされる熱加工方法に対応できる ■設計、製作、据付、調整・試運転、メンテナンスまでを、 自社で一貫して責任をもって実施 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：富士電波工業株式会社 滋賀工場
- 価格：応相談
横型実験管状電気炉 FT-201P
卓上に置いて即実験！小型真空炉として使用可能！ガス系等及び真空装置を接続すればCVD装置の完成
【特徴】 ・ガス系等(オプション)及び真空装置(オプション)を接続すればCVD装置の完成 ・9パターン×9ステップのパソコン通信対応プログラムコントローラーが標準装備(オプションにて16×16プログラム可能) ・専用MPCS(オプション)使用にてパソコンリンク可能 ・MAX1200℃(R：t/c使用時) ・電源はA.C100V 1.3Kw 省エネタイプ ・標準でブルドン真空計付き
中日本炉工業株式会社 会社案内
常に新しい技術を追求し、より高いレベルの製品づくりに努めています！
当社は、設立以来工業炉専門メーカーとして、オイルショック、バブル崩壊、 リーマンショックなど幾多の苦難を経て工業炉一筋に現在までに 成長してきました。 2015年には熱処理工場を新築し、「魅せる工場」をテーマに、IoT環境を取り入れ 生産性の向上、リアルタイム型の見える化工場へと生まれ変わりました。 熟成された真空炉製作技術と蓄積された加工ノウハウは数百社におよぶ ユーザーへ提供するまでになり絶大な信頼を得ております。 【事業内容】 ■真空炉、電気炉、燃焼炉及び附帯機械設備、燃焼設備、制御装置の 設計、製作、施工 ■金属熱処理及びCVDコーティングの受託加工 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：中日本炉工業株式会社
- 価格：応相談
特殊炉【特殊ガス処理装置】
丸祥電器社が取り扱う『特殊炉【特殊ガス処理装置】』
電気炉・雰囲気炉／加熱・熱処理技術のエキスパート企業 丸祥電器社が取り扱う『特殊炉【特殊ガス処理装置】』のご案内です。 丸祥電器社の技術は、食品の焼き上げや防腐処理、印刷や フィルムのキュア用、線材連続アニールやCVD用、 超伝導用高精度雰囲気処理、光学レンズ用ガラス溶解や プレス及びアニール、硝子フロート用レアーヒーター、 合成石英用プリフォーム炉、ロー付け、光輝焼鈍、セラミックや 焼結金属向け脱脂及び焼成、灰溶融炉、主燃テスト炉、単結晶引き上げ炉、 チタン高純度化装置、ガス加熱装置等、幅広い業界に対応しています。 ヒーター設計技術、断熱設計技術、真空技術、ガス雰囲気制御、 露点及び酸素濃度技術とさまざまな加熱経験により、 幅広い分野における、小規模な実験装置から生産装置まで手掛けています。 詳細は、お問い合わせ下さい。
- 企業：丸祥電器株式会社
- 価格：応相談
特殊炉【アルミ溶解・保持装置】
丸祥電器社が取り扱う『特殊炉【アルミ溶解・保持装置】』
電気炉・雰囲気炉／加熱・熱処理技術のエキスパート企業 丸祥電器社が取り扱う『特殊炉【アルミ溶解・保持装置】』の ご案内です。 ■□■特徴■□■ ■溶解炉 常用/最高温度：750℃/950℃ 丸祥電器社の技術は、食品の焼き上げや防腐処理、印刷や フィルムのキュア用、線材連続アニールやCVD用、 超伝導用高精度雰囲気処理、光学レンズ用ガラス溶解や プレス及びアニール、硝子フロート用レアーヒーター、 合成石英用プリフォーム炉、ロー付け、光輝焼鈍、セラミックや 焼結金属向け脱脂及び焼成、灰溶融炉、主燃テスト炉、単結晶引き上げ炉、 チタン高純度化装置、ガス加熱装置等、幅広い業界に対応しています。 ヒーター設計技術、断熱設計技術、真空技術、ガス雰囲気制御、 露点及び酸素濃度技術とさまざまな加熱経験により、 幅広い分野における、小規模な実験装置から生産装置まで手掛けています。 ■詳細は、お問い合わせ下さい。
- 企業：丸祥電器株式会社
- 価格：応相談
特殊炉【雰囲気プレス炉】
プレス圧力最高14MPaの特殊炉【雰囲気プレス炉】
電気炉・雰囲気炉／加熱・熱処理技術のエキスパート企業 丸祥電器社が取り扱う『特殊炉【雰囲気プレス炉】』のご案内です。 ■□■特徴■□■ ■常用/最高温度：900℃/1000℃ ■プレス圧力：最高14MPa ■詳細は、お問い合わせ下さい。
- 企業：丸祥電器株式会社
- 価格：応相談
Products Guide_【超高温実験炉 製品ガイド」
テルモセラ・ジャパン研究開発用実験炉を紹介。燃料電池・セラミックス等の材料開発・黒鉛・等の超高温実験に活用頂けます。
研究開発分野向け、各種実験装置を紹介します。 ◉ Mini-BENCH 超高温卓上型実験炉 Max2000℃ ◉ Mini-BENCH-prism セミオート式 超高温実験炉 Max2000℃ ◉ MiniLab-WCF 超高温ウエハー焼成炉 Max2000℃ その他、特注で研究開発用高温炉を設計製作致します。 他
- 企業：テルモセラ・ジャパン株式会社 本社
- 価格：応相談
サーモシステム事業
電気をエネルギー源とした各種工業加熱システムを提供するサーモシステム事業
富士電波工業株式会社の「サーモシステム事業」についてご紹介します。 誘導加熱装置のメーカーとしてスタートし、産業構造の変遷に柔軟に対応。 鉄鋼など金属の溶解炉、ファインセラミックスなどの焼成炉、シリコンの 溶融、CVDなど各種の表面処理、熱処理設備とバラエティを広げています。 熱加工を必要とする様々な業界のお客様の多彩なニーズをくみ取って、 高温から低温まで、システム化された好適なソリューションを提供します。 【特長】 ■産業構造の変遷に柔軟に対応 ■バラエティを広げている ■熱加工を必要とする様々な業界のお客様の多彩なニーズをくみ取っている ■高温から低温まで、システム化された好適なソリューションを提供 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：富士電波工業株式会社 滋賀工場
- 価格：応相談
◆◇◆ R&D用小型縦型実験炉 TVF-110 ◆◇◆
ローコスト 必要最小構成（手動制御）管状炉・拡散炉・熱CVDとして応用可能
小片試料〜3inch waferまでの小基板用 サセプタ手動昇降式縦型実験炉 大学・企業研究室での基礎実験用に最適な基礎実験用ローコスト版縦型炉 【用途】 ◉ 半導体・太陽電池・燃料電池・電子基板等の熱処理 ◉ 基礎実験：縦型管状炉・酸化拡散炉・LPCVD等の簡易熱処理実験
- 企業：テルモセラ・ジャパン株式会社 本社
- 価格：応相談
ミニバッチ縦型炉『VF-3000』
R&D～量産まで使用可能な～Φ200mmウェーハ対応の自動搬送搭載縦型炉
『VF-3000』は、後工程ユーザーにもご採用いただける低コストを実現した ミニバッチ縦型炉です。 ミニバッチ、50～75枚の選択処理が可能なほか、～Φ200mmまで幅広い ウェーハサイズに対応します。 超高温処理が可能でパワーデバイス製造やVCSEL用縦型熱処理システムに 適しています。 【特長】 ■ミニバッチ、50～75枚処理の選択が可能、R&Dから量産ラインに対応 ■～Φ200mmまで幅広いウェーハサイズに対応 ■最大4個のカセットストッカー ■LGOヒータ搭載により、低温から中高温まで優れた温度特性を発揮 ■枚葉搬送ロボットによる高速ウェーハ搬送 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社ジェイテクトサーモシステム
- 価格：応相談
高温管状型雰囲気電気炉 FT-201P-1600
卓上に置いて即実験！高温小型真空炉として使用可能！
【特徴】 ・ガス系等(オプション)及び真空装置(オプション)を接続すれば高温真空管状雰囲気炉の完成 ・16パターン×16ステップのパソコン通信対応プログラムコントローラーが標準装備(オプションにて32×32プログラム可能) ・専用MPCS(オプション)使用にてパソコンリンク可能 ・電源はA.C200V 1P 4Kw 省エネタイプ ・標準でブルドン真空計付き
300mmウェーハ対応ラージバッチ縦型炉『VF-5900』
最大16個のFOUPストッカー！300mmウェーハ対応のラージバッチ縦型炉
『VF-5900』は、大容量ストッカーを備え、短タクトタイムを実現した フラッグシップモデルのラージバッチ縦型炉です。 300mm・12インチウェーハ最大100枚、FOUP16個の一括処理が可能。 LGOヒータの採用で低温～中高温まで優れた温度特性を発揮します。 シリコンウェーハ以外にもIGBT、ポリイミド、薄ウェーハなどの熱処理に 適しています。 【特長】 ■ラージバッチ、最大100枚一括処理可能 ■最大16個のFOUPストッカー ■LGOヒータ搭載により、低温から中高温まで優れた温度特性を発揮 ■枚葉+5枚一括搬送ロボットによる高速ウェーハ搬送 ■オペレータフレンドリーな高機能制御システム搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社ジェイテクトサーモシステム
- 価格：応相談
真空焼結炉 FVS-R 抵抗加熱式
ヒーター、断熱材は均熱性に優れたグラファイト製を基本にしている真空焼結炉をご紹介
『FVS-Rシリーズ』は、最高2500℃までの高温に対応している抵抗加熱式の 真空焼結炉です。 タンク形状には、通常の横丸型、角型のほかに、当社独特の「前割り型」 （縦置き・前扉方式）を採用し、試料の装填、取出しが容易でメンテナンス性にも 優れています。 連続式の設計・製作も多数実績がありますので、ご相談下さい。 【特長】 ■最高2500℃までの高温に対応 ■6.65×10^-4Paまでの高真空の製作実績がある ■焼結条件に応じてモリブデンなどの金属ヒータも使用 ■冷却方式：熱交換機とファンを組み合わせて焼結後の試料冷却速度を高める ■脱脂：バインダを昇華させ回収する ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：富士電波工業株式会社 滋賀工場
- 価格：応相談
特殊炉【高温挙動観察炉】
高温下でのセラミックスの焼結、ガラスの溶融状態等の炉内観察用炉
電気炉・雰囲気炉／加熱・熱処理技術のエキスパート企業 丸祥電器社が取り扱う『高温挙動観察炉』のご案内です。 ■□■特徴■□■ ■炉内寸法：W100mm×D100mm×H150mm ■最高温度：1400℃ ■プログラム酸素濃度制御 のぞき窓、天井1カ所、側面2カ所 ■詳細は、お問い合わせ下さい。
- 企業：丸祥電器株式会社
- 価格：応相談
特殊炉【熱風循環型脱脂炉】
プログラム冷却システム、排気ガス脱臭装置を装備 した特殊炉
電気炉・雰囲気炉／加熱・熱処理技術のエキスパート企業 丸祥電器社が取り扱う『特殊炉【熱風循環型脱脂炉】』のご案内です。 ■□■特徴■□■ ■炉内寸法：W1000mm×D1000mm×H1000mm ●常用/最高温度：700℃/750℃ プログラム冷却システム、排気ガス脱臭装置を装備 ■詳細は、お問い合わせ下さい。
- 企業：丸祥電器株式会社
- 価格：応相談
特殊炉【単結晶引上装置】
丸祥電器社が取り扱う『特殊炉【単結晶引上装置】』
電気炉・雰囲気炉／加熱・熱処理技術のエキスパート企業 丸祥電器社が取り扱う『特殊炉【単結晶引上装置】』のご案内です。 ■□■特徴■□■ ■炉内寸法：Ф100mm×H250mm ■最高温度：2500℃ ■ヒーター：グラファイトヒーター ■真空排気：10-4Pa台 ■試料回転及び昇降機構を装備 ■詳細は、お問い合わせ下さい。
- 企業：丸祥電器株式会社
- 価格：応相談
特殊炉【小型カーボンナノファイバー製造装置】
気相法による小型実験製造装置（カーボンナノファイバー製造装置）
電気炉・雰囲気炉／加熱・熱処理技術の エキスパート企業、丸祥電器社が取り扱う 『特殊炉【小型カーボンナノファイバー製造装置】』のご案内です。 ■□■特徴■□■ ■気相法による小型実験製造装置 ■均一なガスの分散と精度な温度制御により、 均質なナノファイバーを作る事ができる ■カーボンナノファイバー及び、カーボンナノチューブまでの 実験生産に使用することができる ■詳細は、お問い合わせ下さい。
- 企業：丸祥電器株式会社
- 価格：応相談
特殊炉【縦型マルチ雰囲気炉】
炉内圧カプログラム制御システムを装備した特殊炉
電気炉・雰囲気炉／加熱・熱処理技術のエキスパート企業 丸祥電器社が取り扱う『縦型マルチ雰囲気炉』のご案内です。 ■□■特徴■□■ ■炉内寸法：Ф380mm×H600mm ■常用/最高温度：700℃/800℃ ■炉内圧力：最高0.1MPa ■ヒーター：当社製モジュールヒーター（カンタル線エレメント） 縦型3ゾーン制御、真空置換型、 炉内圧カプログラム制御システムを装備 ■詳細は、お問い合わせ下さい。
- 企業：丸祥電器株式会社
- 価格：応相談
特殊炉【露点制御式高温雰囲気炉】
丸祥電器社が取り扱う『露点制御式高温雰囲気炉』
露点制御式高温雰囲気炉は、セラミックス、電子部品等の様々な研究開発、少量生産 用として、還元雰囲気、露点制御雰囲気などの高度な雰囲気制御下で使用でき、ユー ザーの要望による特別仕様にも対応可能です。 ■□■特徴■□■ ・炉内寸法 W150mm×D150mm×H180mm〜W300mm×D300mm×H300mm ・使用温度 常用1600℃ 最高1700℃ ・真空置換型 ・露点制御システム（ウエッター最高80℃）を装備 ■詳細は、お問い合わせ下さい。
- 企業：丸祥電器株式会社
- 価格：応相談
【電気炉】 汎用水平／垂直チューブ炉 FST/FZS
FST / FZS ? 水平・垂直両用分割式チューブ炉（最高温度 1300°C）
FST（1 ゾーン）および FZS（3 ゾーン）は、最高 1300°Cに対応し、 水平・垂直の両方で使用可能な分割式チューブ炉です。 分割式の加熱モジュールにより、作業管の搭載や固定式エンドフランジ 付の反応容器の搭載が容易です。分割可能な構造のため、試料の冷却速 度を高めることもできます。冷却用の溝がハウジングに施されており、外 部ケーシングの対流冷却を促進します。炉本体の上半分にハンドルが搭 載されているほか、ワンタッチ式のクランプにより安全に施錠・解錠でき ます。炉本体はセラミックファイバー製モジュールで、高品質の APM 製 ワイヤ式発熱体が埋め込まれた断熱材はセラミック製リッジで保持され ています。炉本体が開くと安全スイッチが作動して発熱体の電源が切れ るので、操作者の安全が確保されます。
- 企業：ヴァーダー・サイエンティフィック株式会社
- 価格：応相談
【セラミックファイバーヒータ】大型工業炉から小型試験炉まで
炉内1200℃まで対応可能！表面硬化処理や脱バインダー処理などオプション充実
貞徳舎の『セラミックファイバーヒータ』は、炉内1200℃まで対応可能なヒータです。 「帯状発熱体ヒータ」は、表面積あたりの電力負荷を 大きく取ることができるため、省スペースで大出力が可能。 均熱性に優れているので、被加熱物をまんべんなくあたためることができます。 また、輻射型加熱ヒータのスタンダード品「丸線コイル発熱体ヒータ」や、 高性能・大容量のタイプの「異型発熱体ヒータ」などもラインアップ。 自社設計・自社生産なのでフレキシブルに対応。 大型工業炉から小型試験炉まで、あらゆるニーズにお応えします。 【製品特長】 ■炉内1200℃まで対応 ■省スペースで大出力 ■均熱性に優れる ■自社設計・自社生産 ■豊富なオプション ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：貞徳舎株式会社
- 価格：応相談
Φ３００ｍｍ対応縦型拡散炉
Φ３００ｍｍ対応縦型拡散炉
Φ３００ｍｍに対応した縦型の拡散炉です。 【特長】 ◆オペレータフレンドリーな自社開発新型コントローラ搭載 ◆無駄のない全自動搬送システム ◆高機能制御システム ◆高性能ＬＧＯヒータ搭載
- 企業：株式会社ジェイテクトサーモシステム
- 価格：応相談
セントロサーム 真空はんだリフロー炉
ボイドレス、フラックスレスリフローに対応したバッチ式の真空リフロー炉です。開発から量産に対応した各種ラインナップを提供します。
従来の常圧リフローでは、はんだ内に残るボイド領域が20%程度あるため、接合強度の劣化を招きます。セントロサーム社（ドイツ）のバッチ式真空リフロー炉「c.VACUNITEシリーズ」は、真空を用いることでボイド領域を2％未満に低減することが可能です。また、100%水素やギ酸などの還元効果ガスを用いることで、フラックスレスリフローに対応可能です。オプションとして、MWプラズマを用いた接合表面のプラズマクリーニングにも対応しております。
- 企業：伯東株式会社 本社
- 価格：応相談
株式会社フューテックファーネス 事業紹介
各種の環境下での高精度な熱処理技術を自社技術として保有
当社は、ハードデイスク（HDD)分野での磁性材料熱処理装置、 各種電子デバイス分野でのセラミックス、磁性材料などの製造装置、 各種単結晶育成装置および技術開発、 新規素材に関連する製造装置開発を事業領域としております。 各種の環境下での高精度な熱処理技術を自社技術として保有しており、 特に磁場中での熱処理技術では、多くの特許を取得。 顧客との共同開発による新規プロセス設備の開発でも実績を持っています。 【業務内容】 ■磁気ヘッド関連装置の設計・製造・販売 ■単結晶育成関連装置の設計・製造・販売 ■ファインセラミックス用各種高温電気炉の設計・製造・販売 ■新規素材開発関連装置の設計・製造・販売 ■上記分野及びその他における委託研究開発及び 関連装置・プロセスの設計・製造・販売 ※詳しくはPDF（英語版）をダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社フューテックファーネス 本社
- 価格：応相談
セントロサーム 超高温バルクアニール炉
超高温熱処理と優れた温度均一性の実現により、ブール・インゴット、ウエハのバッチ処理が可能であり、欠陥や転位を最小限に抑えます。
ワイドバンドギャップ半導体デバイスの歩留まりを向上するためには、応力に起因する欠陥や転位を最小限に抑える必要があります。その手法の一つとして、半導体結晶の超高温熱処理があります。c.CRYSCOO HTA高温アニール炉は、ワイドバンドギャップ半導体のバルク結晶からデバイスまでのバリューチェーンにおいて生産性を大幅に改善させるために開発されました。優れた温度制御(最高温度2200℃)、均一性、低クロスコンタミネーションの実現により、c.CRYSCOO HTAは従来の炉を凌駕する最高のパフォーマンスを発揮します。10個以上のブール・インゴット、あるいは100枚以上の未加工ウェハーの同時処理が可能です。
- 企業：伯東株式会社 本社
- 価格：応相談
中日本炉工業株式会社 設備紹介
工業炉メーカーだからこその充実の設備環境！専門メーカーだから、できることがある
中日本炉工業株式会社の保有している設備について、ご紹介いたします。 小ロット品や金型部品に好適な「横型真空熱処理炉」、量産部品用の 「3室型連続式真空熱処理炉」、油冷鋼用「油冷式真空熱処理炉」、 テンパー専用の「真空置換式真空熱処理炉」、TiC三層の「熱CVD装置」、 経年変化防止のためのサブゼロ装置、脱脂洗浄用の「真空脱脂洗浄装置」 などがございます。 ご用命の際は、当社へお気軽にお問合せください。 【保有設備(一部)】 ■横型真空熱処理炉 ・NVF-30P ・NVF-50P ・NVF-50PC ・NVF-200PC ・NVF-500P ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
- 企業：中日本炉工業株式会社
- 価格：応相談
小型塩素炉＜サセプタ・石英治具を乾式塩素化で洗浄＞
堆積膜・反応生成物を塩化揮発で選択除去！母材の寸法や表面粗さを維持します
「小型塩素炉」は、Cl2/HClによる“選択塩素化→揮発"を用いた治具向け ドライクリーニング装置です。 MOCVD/エピ炉サセプタ、石英ボート・管等に付着したGaN/AlN/Si系生成物を 対象に、材料に応じた温度段階とガス組成で塩化物へ変換し、低温で揮発除去。 また、酸洗い不要で廃液負担を抑え、寸法変化・歪み・粒界損傷を最小化します。 【特長】 ■選択塩素化×段階温度：付着物を塩化物化→低温で揮発、 母材ダメージを抑制 ■乾式で廃液最小：酸洗いレス、洗浄・乾燥工程を短縮 ■寸法・表面を維持：負圧運転/酸素分圧制御で歪み・粗さ変化を抑える ■多材料対応：石英・SiC・C/C・金属(Mo/W/Al系)などの治具に適用可 ※さらに詳しい情報についてはダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
- 企業：株式会社サーモニックENG
- 価格：応相談
