回転CVD炉
リチウムイオン電池用Si系や黒鉛系負極材表面への均一なCVDカーボンコートなどに
炉心管を回転させ、粉体試料を攪拌させながら、CVDプロセスを可能にした装置。攪拌作用により、均一なCVD処理が可能になる。
- 企業：株式会社マイクロフェーズ
- 価格：500万円 ~ 1000万円
炉(cvd) - メーカー・企業と製品の一覧
更新日： 集計期間:2025年09月17日～2025年10月14日
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炉の製品一覧
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真空焼結炉 FVS-I 誘導加熱式
最高3200℃までの高温に対応可能！黒鉛化炉、CVD炉などに導入いただけます
『FVS-I 誘導加熱式』は、電気をエネルギー源とした工業加熱装置です。 最高3200℃までの高温に対応可能。 タンク形状は丸型でφ800×1000H(mm)の炉内有効寸法の実績があります。 溶解、焼結、焼成、ホットプレスなど、様々な業種で必要とされる 熱加工方法に対応でき、黒鉛化炉、CVD炉などに導入いただけます。 【特長】 ■最高3200℃までの高温に対応できる ■タンク形状は丸型でφ800×1000H(mm)の炉内有効寸法の実績あり ■様々な業種で必要とされる熱加工方法に対応できる ■設計、製作、据付、調整・試運転、メンテナンスまでを、 自社で一貫して責任をもって実施 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：富士電波工業株式会社 滋賀工場
- 価格：応相談
横型実験管状電気炉 FT-201P
卓上に置いて即実験！小型真空炉として使用可能！ガス系等及び真空装置を接続すればCVD装置の完成
【特徴】 ・ガス系等(オプション)及び真空装置(オプション)を接続すればCVD装置の完成 ・9パターン×9ステップのパソコン通信対応プログラムコントローラーが標準装備(オプションにて16×16プログラム可能) ・専用MPCS(オプション)使用にてパソコンリンク可能 ・MAX1200℃(R：t/c使用時) ・電源はA.C100V 1.3Kw 省エネタイプ ・標準でブルドン真空計付き
- 企業：フルテック株式会社
- 価格：応相談
中日本炉工業株式会社 会社案内
常に新しい技術を追求し、より高いレベルの製品づくりに努めています！
当社は、設立以来工業炉専門メーカーとして、オイルショック、バブル崩壊、 リーマンショックなど幾多の苦難を経て工業炉一筋に現在までに 成長してきました。 2015年には熱処理工場を新築し、「魅せる工場」をテーマに、IoT環境を取り入れ 生産性の向上、リアルタイム型の見える化工場へと生まれ変わりました。 熟成された真空炉製作技術と蓄積された加工ノウハウは数百社におよぶ ユーザーへ提供するまでになり絶大な信頼を得ております。 【事業内容】 ■真空炉、電気炉、燃焼炉及び附帯機械設備、燃焼設備、制御装置の 設計、製作、施工 ■金属熱処理及びCVDコーティングの受託加工 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：中日本炉工業株式会社
- 価格：応相談
特殊炉【特殊ガス処理装置】
丸祥電器社が取り扱う『特殊炉【特殊ガス処理装置】』
電気炉・雰囲気炉／加熱・熱処理技術のエキスパート企業 丸祥電器社が取り扱う『特殊炉【特殊ガス処理装置】』のご案内です。 丸祥電器社の技術は、食品の焼き上げや防腐処理、印刷や フィルムのキュア用、線材連続アニールやCVD用、 超伝導用高精度雰囲気処理、光学レンズ用ガラス溶解や プレス及びアニール、硝子フロート用レアーヒーター、 合成石英用プリフォーム炉、ロー付け、光輝焼鈍、セラミックや 焼結金属向け脱脂及び焼成、灰溶融炉、主燃テスト炉、単結晶引き上げ炉、 チタン高純度化装置、ガス加熱装置等、幅広い業界に対応しています。 ヒーター設計技術、断熱設計技術、真空技術、ガス雰囲気制御、 露点及び酸素濃度技術とさまざまな加熱経験により、 幅広い分野における、小規模な実験装置から生産装置まで手掛けています。 詳細は、お問い合わせ下さい。
- 企業：丸祥電器株式会社
- 価格：応相談
特殊炉【アルミ溶解・保持装置】
丸祥電器社が取り扱う『特殊炉【アルミ溶解・保持装置】』
電気炉・雰囲気炉／加熱・熱処理技術のエキスパート企業 丸祥電器社が取り扱う『特殊炉【アルミ溶解・保持装置】』の ご案内です。 ■□■特徴■□■ ■溶解炉 常用/最高温度：750℃/950℃ 丸祥電器社の技術は、食品の焼き上げや防腐処理、印刷や フィルムのキュア用、線材連続アニールやCVD用、 超伝導用高精度雰囲気処理、光学レンズ用ガラス溶解や プレス及びアニール、硝子フロート用レアーヒーター、 合成石英用プリフォーム炉、ロー付け、光輝焼鈍、セラミックや 焼結金属向け脱脂及び焼成、灰溶融炉、主燃テスト炉、単結晶引き上げ炉、 チタン高純度化装置、ガス加熱装置等、幅広い業界に対応しています。 ヒーター設計技術、断熱設計技術、真空技術、ガス雰囲気制御、 露点及び酸素濃度技術とさまざまな加熱経験により、 幅広い分野における、小規模な実験装置から生産装置まで手掛けています。 ■詳細は、お問い合わせ下さい。
- 企業：丸祥電器株式会社
- 価格：応相談
Products Guide_【超高温実験炉 製品ガイド」
テルモセラ・ジャパン研究開発用実験炉を紹介。燃料電池・セラミックス等の材料開発・黒鉛・等の超高温実験に活用頂けます。
研究開発分野向け、各種実験装置を紹介します。 ◉ Mini-BENCH 超高温卓上型実験炉 Max2000℃ ◉ Mini-BENCH-prism セミオート式 超高温実験炉 Max2000℃ ◉ MiniLab-WCF 超高温ウエハー焼成炉 Max2000℃ その他、特注で研究開発用高温炉を設計製作致します。 他
- 企業：テルモセラ・ジャパン株式会社 本社
- 価格：応相談
特殊炉【雰囲気プレス炉】
プレス圧力最高14MPaの特殊炉【雰囲気プレス炉】
電気炉・雰囲気炉／加熱・熱処理技術のエキスパート企業 丸祥電器社が取り扱う『特殊炉【雰囲気プレス炉】』のご案内です。 ■□■特徴■□■ ■常用/最高温度：900℃/1000℃ ■プレス圧力：最高14MPa ■詳細は、お問い合わせ下さい。
- 企業：丸祥電器株式会社
- 価格：応相談
サーモシステム事業
電気をエネルギー源とした各種工業加熱システムを提供するサーモシステム事業
富士電波工業株式会社の「サーモシステム事業」についてご紹介します。 誘導加熱装置のメーカーとしてスタートし、産業構造の変遷に柔軟に対応。 鉄鋼など金属の溶解炉、ファインセラミックスなどの焼成炉、シリコンの 溶融、CVDなど各種の表面処理、熱処理設備とバラエティを広げています。 熱加工を必要とする様々な業界のお客様の多彩なニーズをくみ取って、 高温から低温まで、システム化された好適なソリューションを提供します。 【特長】 ■産業構造の変遷に柔軟に対応 ■バラエティを広げている ■熱加工を必要とする様々な業界のお客様の多彩なニーズをくみ取っている ■高温から低温まで、システム化された好適なソリューションを提供 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：富士電波工業株式会社 滋賀工場
- 価格：応相談
ミニバッチ縦型炉『VF-3000』
R&D～量産まで使用可能な～Φ200mmウェーハ対応の自動搬送搭載縦型炉
『VF-3000』は、後工程ユーザーにもご採用いただける低コストを実現した ミニバッチ縦型炉です。 ミニバッチ、50～75枚の選択処理が可能なほか、～Φ200mmまで幅広い ウェーハサイズに対応します。 超高温処理が可能でパワーデバイス製造やVCSEL用縦型熱処理システムに 適しています。 【特長】 ■ミニバッチ、50～75枚処理の選択が可能、R&Dから量産ラインに対応 ■～Φ200mmまで幅広いウェーハサイズに対応 ■最大4個のカセットストッカー ■LGOヒータ搭載により、低温から中高温まで優れた温度特性を発揮 ■枚葉搬送ロボットによる高速ウェーハ搬送 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社ジェイテクトサーモシステム
- 価格：応相談
◆◇◆ R&D用小型縦型実験炉 TVF-110 ◆◇◆
ローコスト 必要最小構成（手動制御）管状炉・拡散炉・熱CVDとして応用可能
小片試料〜3inch waferまでの小基板用 サセプタ手動昇降式縦型実験炉 大学・企業研究室での基礎実験用に最適な基礎実験用ローコスト版縦型炉 【用途】 ◉ 半導体・太陽電池・燃料電池・電子基板等の熱処理 ◉ 基礎実験：縦型管状炉・酸化拡散炉・LPCVD等の簡易熱処理実験
- 企業：テルモセラ・ジャパン株式会社 本社
- 価格：応相談
1200℃回転式管状炉『OSK 93TI152』
加熱長は300mm×3ゾーン！最低回転速度(0.7rpm)でもスムーズで安定的に回転
『OSK 93TI152』は、バイオマス、セラミック、セメント、リチウム電池、 CVD、焼成、熱分解プロセス等に幅広く使える実験室及び小規模生産用 ロータリーキルンです。 原料投入部、回転機構、電気炉、回収部で構成され、連続運転可能。 1/4" Gas in/outポート及びKF25規格のタールガス排出用ポート付き。 加熱プログラムを記憶可能な温度調節器(2プログラム計30セグメント)を 3基内蔵しております。 【特長】 ■常用温度1000°C以下の運転に好適 ■炉心管内部全体の運転状況の観察が容易な石英観察口を装備 ■炉心管が簡単に交換できる ■真空工程対応の完璧なガスシーリング構造 ■過熱防止装置付き/CE認証品 ■熱分解用に使用する場合、後端部にコールドトラップと連結使用可能 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
- 企業：オガワ精機株式会社
- 価格：応相談
1200℃回転式管状炉『OSK 93TI151』
加熱長は300mm×2ゾーン！過熱防止装置付き/CE認証品
『OSK 93TI151』は、バイオマス、セラミック、セメント、リチウム電池、 CVD、焼成、熱分解プロセス等に幅広く使える実験室及び小規模生産用 ロータリーキルンです。 原料投入部、回転機構、電気炉、回収部で構成され、連続運転可能。 炉心管内部全体の運転状況の観察が容易な石英観察口を装備。 加熱プログラムを記憶可能な温度調節器(2プログラム計30セグメント)を 2基内蔵しております。 【特長】 ■常用温度1000°C以下の運転に好適 ■1/4" Gas in/outポート及びKF25規格のタールガス排出用ポート付き ■炉心管が簡単に交換可能 ■真空工程対応の完璧なガスシーリング構造 ■最低回転速度(0.7rpm)でもスムーズで安定的に回転 ■熱分解用に使用する場合、後端部にコールドトラップと連結使用可能 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
- 企業：オガワ精機株式会社
- 価格：応相談
高温管状型雰囲気電気炉 FT-201P-1600
卓上に置いて即実験！高温小型真空炉として使用可能！
【特徴】 ・ガス系等(オプション)及び真空装置(オプション)を接続すれば高温真空管状雰囲気炉の完成 ・16パターン×16ステップのパソコン通信対応プログラムコントローラーが標準装備(オプションにて32×32プログラム可能) ・専用MPCS(オプション)使用にてパソコンリンク可能 ・電源はA.C200V 1P 4Kw 省エネタイプ ・標準でブルドン真空計付き
- 企業：フルテック株式会社
- 価格：応相談
300mmウェーハ対応ラージバッチ縦型炉『VF-5900』
最大16個のFOUPストッカー！300mmウェーハ対応のラージバッチ縦型炉
『VF-5900』は、大容量ストッカーを備え、短タクトタイムを実現した フラッグシップモデルのラージバッチ縦型炉です。 300mm・12インチウェーハ最大100枚、FOUP16個の一括処理が可能。 LGOヒータの採用で低温～中高温まで優れた温度特性を発揮します。 シリコンウェーハ以外にもIGBT、ポリイミド、薄ウェーハなどの熱処理に 適しています。 【特長】 ■ラージバッチ、最大100枚一括処理可能 ■最大16個のFOUPストッカー ■LGOヒータ搭載により、低温から中高温まで優れた温度特性を発揮 ■枚葉+5枚一括搬送ロボットによる高速ウェーハ搬送 ■オペレータフレンドリーな高機能制御システム搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社ジェイテクトサーモシステム
- 価格：応相談
