【研磨加工素材】酸化物材料 研磨加工
様々な酸化物半導体結晶の研磨加工が可能です。
弊社では、加工技術を量産で対応出来る能力を持ち合わせております。 又、青色発光ダイオードやレーザーダイオードに用いられる基板の研磨加工も行っています。 用途に応じた加工スペックを満足すべくラッピング、ポリッシング加工を量産ベースで行っています。 【加工詳細】 ■材料名:LiTaO3(LT)、LiNbO3(LN)、ZnO、 水晶、サファイア、サファイア再生、etc. ■加工素材:LiNbO3(LN)、LiTaO3(LT) ・ZnO ・水晶 ・Al2O3(サファイア) パターン付きウェーハの裏面加工、再生加工など ■対応サイズ ・Φ63mm~Φ150mm ・3mm×3mm~100mm×100mm ■仕上がり厚み:20μm~ ■平坦度:TTV:5μm以下 ※詳しくは資料をダウンロードいただくか、お問い合わせください。
- 企業:日本エクシード株式会社
- 価格:応相談