軸(位置) - 企業1社の製品一覧

【超精密位置決めピエゾステージ】PSベーシックタイプ　XYZ軸

高速、高分解能で再現性に優れた位置決めを実現。ストロークは20/20/12μmから80/80/80μmまで取り揃えています。

超精密位置決めピエゾステージのPSベーシックシリーズのXYZ軸ステージです。 XYZ軸ステージはストロークが20/20/12μmから80/80/80μmまでの製品を充実のラインアップで取り揃えております。 PSベーシックシリーズは高速、高精度位置決めで、圧電素子の高い応答性と内蔵変位センサによるクローズドループ制御により、高速、高分解能で再現性に優れた位置決めが可能です。使いやすいインターフェースが自慢で、制御コントローラは、アナログ入力とデジタル入力の両インターフェースを選定でき、パソコンから簡単に位置指令が行えます。サンプルソフト（無償）も用意しています。また、単品からカスタム対応しており、カタログ標準品以外でも、真空や非磁性仕様、あるいは装置組込における様々な要求について、用途に適応させたピエゾステージを設計製作します。 ※詳しくは資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。

企業：THKプレシジョン株式会社
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【超精密位置決めピエゾステージ】PSベーシックタイプ　XY軸

高速、高分解能で再現性に優れた位置決めが可能です。ストロークは30/30μmから500/500μmまでご用意しています。

超精密位置決めピエゾステージのPSベーシックシリーズのXY軸ステージです。 XY軸ステージはストロークが30/30μmから500/500μmまでの製品を充実のラインアップで取り揃えております。 PSベーシックシリーズは高速、高精度位置決めで圧電素子の高い応答性と内蔵変位センサによるクローズドループ制御により、高速、高分解能で再現性に優れた位置決めが可能です。使いやすいインターフェースが自慢で、制御コントローラは、アナログ入力とデジタル入力の両インターフェースを選定でき、パソコンから簡単に位置指令が行えます。サンプルソフト（無償）も用意しています。また、単品からカスタム対応しており、カタログ標準品以外でも、真空や非磁性仕様、あるいは装置組込における様々な要求について、用途に適応させたピエゾステージを設計製作します。 ※詳しくは資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。

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【超精密位置決めピエゾステージ】PSベーシックタイプ　Z軸

圧電素子の高い応答性と内蔵変位センサによるクローズドループ制御により、高速、高分解能で再現性に優れた位置決めが可能

超精密位置決めピエゾステージのPSベーシックシリーズのZ軸ステージです。 Z軸ステージはストロークが6μmから300μmまで、本体サイズが35×35×26nmから80×80×60nmまでの製品を豊富なラインアップで取り揃えております。 PSベーシックシリーズは高速、高精度位置決めで、圧電素子の高い応答性と内蔵変位センサによるクローズドループ制御により、高速、高分解能で再現性に優れた位置決めが可能です。使いやすいインターフェースが自慢で、制御コントローラは、アナログ入力とデジタル入力の両インターフェースを選定でき、パソコンから簡単に位置指令が行えます。サンプルソフト（無償）も用意しています。また、単品からカスタム対応しており、カタログ標準品以外でも、真空や非磁性仕様、あるいは装置組込における様々な要求について、用途に適応させたピエゾステージを設計製作します。 ※詳しくは資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。

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【ピエゾステージ】PSベーシックタイプ　X軸

高速、高精度位置決めを実現します！　X軸ステージのストロークは6μmから700μmまでご用意しております。

超精密位置決めピエゾステージのPSベーシックシリーズのX軸ステージです。ストロークとして、6～700μmまでラインアップしています。圧電素子の高い応答性と内蔵変位センサによるクローズドループ制御により、高速・高分解能で再現性に優れた位置決めが可能です。インターフェースも使い易く、制御コントローラは「アナログ入力」と「デジタル入力」の両インターフェースを選定でき、パソコンから簡単に位置指令が行えます。サンプルソフト（無償）も用意しています。また、単品からでもカスタム対応しており、カタログ標準品以外にも真空や非磁性仕様、あるいは装置組込における様々な要求について、用途に適応させたピエゾステージを設計製作します。詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

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【超精密位置決めピエゾステージ】PU超精密加工用タイプ　X軸

超精密切削におけるマイクロ・ナノ加工が実現！ストロークは30μmと60μmがございます。

精密切削におけるナノ・マイクロ加工を実現するステージです。工具の切り込みやワーク（加工対象物）を高速・高精度に位置制御できます。 FTS（ファストツールサーボ）としてバイトの切り込みや、ワーク（加工物）の移動に用いて精密金型加工が実現できます。 ■防塵防滴の対策密閉構造で加工液やミスト対策を施しており、小さな切り屑などの浸入も防ぎます。 ■堅牢な本体加工時の安定性を確保するため本体材質として鋼材を使用。ビビリ振動や切削負荷などにより加工精度を損なうことのない堅牢な本体構造となっています。 ※詳しくは資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。

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【超精密位置決めピエゾステージ】PK開口付きタイプ　X軸

移動テーブルの中央に開口部（透過穴）を有するタイプ。顕微鏡や分析機器と組み合わせ、微細観察や高精度マッピング測定に適しています

超精密位置決めピエゾステージのPK開口付きタイプX軸ステージです。ストローク30μmと100μmをご用意しております。レーザ透過用や顕微鏡･分析機器と組み合わせた微細観察、高精度マッピング測定などに適しています。 ■高速、高精度スキャニング動作圧電素子の高い応答性と内蔵変位センサによるクローズドループ制御により、高速・高分解能・高再現性で位置決めが可能。微小範囲においては、ステッピングモータ式ステージに比べて速く且つ信頼性の高い動作が得られます。 ■使いやすいインターフェース制御コントローラは、アナログ入力とデジタル入力の両インターフェースを選定でき、パソコンから簡単に位置指令が行えます。ポイント間移動だけでなく、ラスタースキャンのような連続往復動作、真円を描くような円弧動作も可能。特殊環境（真空・非磁性など）のご要望にも対応しますので、お気軽にご相談ください。 ※詳しくは資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。

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【超精密位置決めピエゾステージ】PK開口付きタイプ　XYZ軸

移動テーブルの中央に開口部（透過穴）を有するタイプのXYZ軸ステージです。顕微鏡との組み合わせや光透過型デバイスに最適です。

超精密位置決めピエゾステージの PK開口付きタイプXYZ軸ステージです。ストロークが100/100/30μmから300/300/100μmまでの製品を取り揃えております。 PK開口付きタイプは移動テーブルの中央に開口部（透過穴）を有するタイプです。顕微鏡や分析機器と組み合わせて、微細観察や高精度マッピング測定に最適です。高速、高精度スキャニング動作で、圧電素子の高い応答性と内蔵変位センサによるクローズドループ制御により、高速・高分解能・高再現性で位置決めが可能です。微小範囲においては、ステッピングモータ式ステージに比べて速く且つ信頼性の高い動作が得られます。使いやすいインターフェースで制御コントローラは、アナログ入力とデジタル入力の両インターフェースを選定でき、パソコンから簡単に位置指令が行えます。ポイント間移動だけでなく、ラスタースキャンのような連続往復動作、真円を描くような円弧動作も可能です。また、特殊環境（真空・非磁性など）のご要望にも対応しますので、お気軽にご相談ください。 ※詳しくは資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。

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【超精密位置決めピエゾステージ】PK開口付きタイプ　XY軸

移動テーブルの中央に開口部（透過穴）を有するタイプのXY軸ステージです。顕微鏡との組み合わせや光透過型デバイスに最適です。

超精密位置決めピエゾステージの PK開口付きタイプXY軸ステージです。ストロークは100/100μmから300/300μm、分解能は2/2nmから6/6nmまでの５つのラインナップからお選びいただけます。移動テーブル中央に開口（透過穴）を有したラインナップです。レーザ透過用や顕微鏡･分析機器と組み合わせた微細観察、高精度マッピング測定などに適しています。 ■コンパクトから大開口まで小型デバイスに適したコンパクトな開口からタイプから、大きなパネル基板をアライメントできる大開ロタイプも揃えています。 ■スムーズで精確なスキャニング高精度フィードバック制御により、指令信号に従った信頼性の高い動作が行えます。また、特殊環境（真空・非磁性など）のご要望にも対応しますので、お気軽にご相談ください。 ※詳しくは資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。

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【超精密位置決めピエゾステージ】PU超精密加工用タイプ　XY軸

超精密切削におけるマイクロ・ナノ加工が実現！ストロークは30μmと60μmがございます。

ピエゾステージ　PU超精密加工用タイプは、軸超精密加工への応用に最適です。 FTS（ファストツールサーボ）としてバイトの切り込みや、ワーク（加工物）の移動に用いて精密金型加工が実現できます。他のタイプと比較して、数倍大きな発生力をもつ積層型圧電素子を搭載しています。 ■防塵防滴の対策密閉構造で加工液やミスト対策を施しており、小さな切削屑などの侵入を防ぎます。 ■堅牢な本体加工時の安定性を確保するため、本体材質に鋼材を採用。ビビリ振動などで加工精度を損なうことのない堅牢構造となっています。 ※詳しくは資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。

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