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軽量・コンパクト！1台から開発製造も可能！
空冷式の電源でありながら軽量コンパクトな設計（ハーフラックサイズ）を実現！ プラズマ用高周波電源（ＮＲ０３Ｎ−０１） ■□■特徴■□■ ■定格出力 NR03N-01：300W NR05N-01：500W ■周波数 13.56MHz ■出力インピーダンス 50〜52Ω ■電源電圧 200V 3相 50/60Hz ■スプリアス -40dB 以下 ■冷却方式 強制空冷 ■詳細は、お問い合わせ下さい。
1.ローコスト 2.省電力 3.コンパクト設計
独自の機構により、高周波電源の内部に整合器を内蔵した高周波電源を開発致しました。 従来の製品と比較し出力を500W→750Wにアップさせましたが、サイズはフルラックからハーフラックに収まるサイズにし、徹底したコンパクト化を図りました。
幅広い周波数の出力が可能 企業、大学等の研究機関で広くご使用頂いております
※周波数及び出力の組合せに関しましては、別途御相談下さい。 例) 広帯域電源 10MHz～100MHｚ 250Ｗ 60MHz～180MHz 300W 20MHｚ～70MHｚ 500Ｗ 13MHz～54MHz 600W 150KHz～15MHz 1kW 一例 型式 ：NM06M13M-54M-01 （広帯域ＲＦ電源）
複数の周波数を交互に出力可能 プラズマの高密度化・新プロセスの開発に貢献
・2周波電源 13.56MHz/27.12MHz 500W 1kW 2kW 5kW 27.12MHz/60MHz 3kW 2MHz/4MHz 1kW 2kW 400kHz/800kHz 500W ・3周波電源 27.12MHｚ/40.68MHz/54.24MHｚ 5kW 13.56MHz/27.12MHz/40.68MHz 500W 3kW 13.56MHz/27.12MHz/40.68MHz 20W ・4周波電源 13.56MHz/27.12MHz/40.68MHz/54.24M 1kW
小型化する装置に対応すべく超小型RF電源、整合器の設計・開発を行っております
出力 5W/10W/30W/50W/75W/100W(小型版) 周波数 13.56MHz～27.12MHz 周波数 13.56MHｚ～27.12MHｚの任意の周波数 定格出力 5W～100W 入力 AC100V 1Φ もしくはDC入力 冷却方式 強制冷却 外形寸法 参考外形 W140×D180×H110mm
LF帯高周波電源（例：100kHz/150kHz/250kHz ）
一例 NL15N100K-XX 出力周波数 100kHz±0.01％ 定格出力 15kW 最大入力電源 40KVA 出力インピーダンス 50Ω 入力電源 入力AC200V 3Φ 出力安定度 設定出力の±1%以内 冷却方式 水冷空冷併用方式 （22l/min）30℃以下>
高効率高周波電源【NR3N-13】【NR3N-13】
NRFが新しく開発した高効率高周波電源【NR3N-13】【NR3N-13】は、従来製の高効率RF電源と比較し、独自の高信頼性パワーアンプにより、飛躍的に耐久性をUPさせました。 高効率アンプの弱点は、構造上、反射電力に弱いことでしたが、、NRFの高効率RF電源は、出力3kWに対して、実に600W以上の耐反射能力を持ち、短絡・開放の急激な負荷変動に耐えます。 また、各種保護回路を設けており、NRFが自信をもってお勧めできる1台です。
高効率高周波電源【ローコスト・省電力・コンパクト設計】600W以上の耐反射能力を持ち、短絡・開放の急激な負荷変動に耐えます
【13.56MHｚ 1ｋW/3kW/5kW（パルス）】 NRFが新しく開発した高効率高周波電源【NR1NP】【NR3NP】【NR5NP】は、従来製の高効率RF電源と比較し、独自の高信頼性パワーアンプにより、飛躍的に耐久性をUPさせました。 高効率アンプの弱点は、構造上、反射電力に弱いことでしたが、、NRFの高効率RF電源は、出力3kWに対して、実に600W以上の耐反射能力を持ち、短絡・開放の急激な負荷変動に耐えます。 また、各種保護回路を設けており、NRFが自信をもってお勧めできる1台です。 ＝特長＝ ■コンパクト設計 ■高耐反射 ■高電力マージン ■ハンディーコンによる操作 ■安全設計 ■各種保護回路 ■高効率 カタログでは、特長の詳細情報や型式別の仕様がご覧頂けます。 ↓↓↓ 詳しくはカタログをダウンロードして頂き、お気軽にお問い合わせください。 ↓↓↓
周波数を可変させてマッチング調整を行う高周波電源です
特徴 マッチングボックスが不要でコンパクト設計、低コスト化を実現 電子制御で稼働部がなく、メンテナンスフリー 超高速マッチングを実現 ■ NR1S13M-01 出力電力範囲 0～1200W(内部キャリブレーション機能使用時) 最大定格1000W 定格最大出力 1000W(50Ω負荷)連続 出力方法 連続出力 出力インピーダンス 50±2Ω RF出力コネクタ HN-R 出力調整範囲 0～1200W連続可変(設定は1W刻み) 定格出力電力1000W 出力周波数 13.56MHｚ 周波数安定度 ±0.01%(10～40℃)水晶発振 周波数可変範囲 13.2MHｚ～15.0MHｚ(Fマッチ動作時に限る) 冷却方式 強制空冷 背面吹出し 外形寸法 W430×D640×H174 重量 約29kg
例：300/380/400/800(KHZ) 1/2(MHZ)
一例 NL5N400K-ＸＸ 出力周波数 400KHz±0.05％ 定格出力 5000W 最大入力電源 15KVA 出力インピーダンス 50Ω 入力電源 入力AC200V±10% 3Φ 出力安定度 設定出力の±2%以内 冷却方式 水冷空冷併用方式 （8l/min）30℃以下 RF 出力コネクタ HN型
（例：4MHZ/13.56MHZ/27.12MHZ）
13.56MHzは、産業、科学、医療の目的に使われるべく、確保された周波数帯です。 現在最も使用されている周波数帯域で、Suica等も13.56MHzが使われています。 ※上記以外でも様々な、周波数及び出力に対応しております。 一例 NR5N-ＸＸ 出力周波数 13.56MHz±0.05％ 定格出力 5000W 最大入力電源 9KVA 出力インピーダンス 50Ω 入力電源 入力AC200V±10% 3Φ 出力安定度 設定出力の±2%以内 冷却方式 水冷空冷併用方式 （7l/min）30℃以下 RF 出力コネクタ HN型
（例：300MHz/500MHz/915MHz）
地上デジタル放送や携帯電話などに使用されておりますが、プラズマ用途では 未知の領域で、大注目の周波数です。 ※上記以外でも様々な、周波数及び出力に対応しております。 一例 NR1N915M-01 出力周波数 915MHz±0.05% 定格出力 1000W 最大入力電源 ３KVA 出力インピーダンス 50Ω 入力電源 入力AC200V±10% 3Φ 出力安定度 設定出力の±2%以内 冷却方式 水冷方式(3l/min)密閉構造 RF 出力コネクタ EIA7/8
