更新日： 集計期間:2025年03月26日～2025年04月22日
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NXテクノロジーを導入した完全自動化産業用AFM
『Park NX-3DM』は、オーバーハングプロファイル、高解像度側壁 イメージング、および臨界角測定用に設計された完全自動AFMシステムの 原子間力顕微鏡(AFM)です。 傾斜Zスキャナを備えた特許取得済みの分離型XYおよびZスキャン システムにより、正確な側壁分析における通常およびフレアチップ法の 課題を克服します。 【ウエハファブ用で必須なツール】 ■高度で正確なPark NX技術を用いた完全自動産業用AFM ■アンダーカットやオーバーハング構造のためのチルトヘッドデザイン ■サンプル前処理不要で正確な側壁粗さ計測 ■完全非接触モード(TM)により、装置とサンプルにダメージを与えずに 高品質のイメージが得られる ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
欠陥の特定、走査および解析の自動欠陥検査を10倍迅速化する原子間力顕微鏡システム
『Park NX-HDM』は、メディア及び基盤用の自動欠陥検査及びサブオング ストローム表面粗さ測定が可能な原子間力顕微鏡です。 広範な光学検査装置と直接リンクし、自動欠陥検査のスループットを 大幅に向上させます。 また、繰り返し測定においてもサブオングストロームの正確な 表面粗さ測定を提供します。 【特長】 ■メディアおよび基板用の自動欠陥検査 ■正確なサブオングストロームの表面粗さ測定 ■真の非接触モードによるコスト削減 ■低ノイズZ検出器による正確なAFMトポグラフィー ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
アクティブ防振内蔵！ステージ交換だけで電気化学測定や環境制御などに対応します
『CoreAFM』は、高いパフォーマンスと、どのような測定にも対応する 拡張性を兼ね備えた多機能コンパクト原子間力顕微鏡です。 トップビューカメラにより測定対象への位置合わせを容易に行うことができ、 サイドビューカメラによりカンチレバーとサンプル間の距離を目視可能。 また、カンチレバーホルダーはAFMヘッドユニットから簡単に着脱可能で、 ホルダーだけを安全に清掃したり洗浄することができます。 【特長】 ■コントローラ、電源、USBケーブルの接続ですぐに使用可能 ■高分解能24bitADC/DAC ■最大走査範囲(X Y Z)：100μm、100μm、12μm ■Zノイズレベル：40pm RMS値 ■液中測定を含めた32の標準測定モードと数々のオプションモードを搭載可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
C-AFMやKFM、sMIMなどの測定モードで最大100mm角のサンプルに対応
導電性AFM、ケルビンプローブフォース顕微鏡法（KFM）、走査型マイクロ波インピーダンス顕微鏡法（sMIM）などの機能に加え、4インチまでのサンプルに対応。 ■サンプルサイズ ：最大100 mm角 ■ステージ移動距離 ：100 mm ■XY走査範囲 ： 100 μm (製造寸法公差 +/- 10%) ■Z走査範囲 ： 9 μm (製造寸法公差 +/- 10%) ■XY走査分解能 : 24ビット制御 – 0.06 Angströms ■Z走査分解能 : 24ビット制御 – 0.006 Angströms ■ノイズレベル ：Typ : <0.01 mV RMS
最大60“までのパネルを明視野透過・反射検査、微分干渉検査が電動レボルバとオートフォーカスで合焦画像検査ができます。
最大60”までのモジュール製品を顕微鏡検査する測長顕微鏡です。 延長鏡筒なので、手元で目視検査とモニタ検査ができます。 顕微鏡固定型なので延長鏡筒で目視検査・モニタ検査ができ、自動計測は ステージ移動量と合わせた自動計測ができます。 詳しくは、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
手動動作タイプ！各種シリコンデバイスの界面の各部寸法を鮮明な画像で計測可能
『IR1300mea』は、高解像度赤外線CMOSカメラとイメージ エンハンサソフトにより各種シリコンデバイス界面の各部寸法を鮮明な 画像で計測することができる赤外線透過反射顕微鏡システムです。 フォーカス軸は長ストロークになっていますので高さのある冶具に 搭載したままウエハーの検査、計測が可能です。 【特長】 ■X軸、Y軸、Z軸にリニアスケールを搭載しているため視野外の精密な 計測が可能 ■X軸、Y軸、Z軸は手動動作タイプ ■電動ステージ、電動フォーカスの搭載も可能（オプション） ■フォーカス軸を長ストロークに設定できますので冶具に搭載したまま ウエハーの検査計測ができる（長ストローク45mmまで） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
光学式非接触方式なので、ワークに変形や打痕の影響なく計測可能！
『TAHシリーズ』は、顕微鏡光学系に「フォーカスナビマーク」を 搭載することにより、フォーカスナビマークを合わせることで Z軸移動量による高さ・深さ・段差を非接触で計測できる顕微鏡です。 フォーカスナビマークの搭載により、オペレーターに依存せず再現性を大幅に向上。 三眼タイプ・直筒タイプの2種類をラインアップし、 用途に合わせて選択可能です。（カメラはCマウントタイプ） 【特長】 ■対物レンズは無限系のf=180タイプとf=200タイプの2種類の選択が可能 ■コンパクトサイズ ■計測用スコープとして装置に取付け可能 ■目的に応じて測定ステージ、TVカメラ装置、計測ソフトウェアを組合せ可能 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
表裏の位置ずれ／寸法測定顕微鏡をご紹介。高精度、低価格化を実現しました
『TOMOS-50』は、水晶振動子、MEMS、半導体等の電子部品の表裏を 同時に撮影、±0.2μm以下の精度で測定できるコンパクトタイプの 表裏位置ずれ計測システムです。 表裏光軸補正はマイクロステージ＋ソフトウェアで高精度に補正可能。 また、装置組込用両面顕微鏡モジュールとしての販売もしております。 お問い合わせください。 【特長】 ■コンパクトタイプ ■約300万画素 ■表裏両面を同時撮影、寸法計測、位置ずれ計測が可能 ■表裏光軸補正はマイクロステージ＋ソフトウェアで高精度に補正 ■±0.2μm以下の繰り返し精度で表裏の位置ずれを測定(条件により異なる) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
細胞や組織を自動で定量化。暗室不要でウェル・スライドを一括解析できる顕微鏡【カタログ・撮影事例付き資料進呈】
オールインワン蛍光顕微鏡『BZ-X800』は 全ウェルの観察に対応した大型電動ステージや、 クリアな画像が撮影できる高感度モノクロ冷却CCDカメラ等を搭載し、 自動解析による定量化が簡単に行えます。 ◎製品の特長は「導入活用事例集」「製品カタログ」に詳しく掲載しております。 ダウンロードボタンから、ご覧ください。 【導入活用事例集の内容】 ■カニクイザルの心臓の線維化率の計測 ■ウェルプレートを用いたiPS細胞コロニーカウント ■脂肪細胞の定量解析 ■核内の染色体カウント ■胃癌の免疫染色を定量化 ■培養細胞のトランスフェクション効率の計測
サンプルをセットし、分析を開始すると、論文投稿用の画像や定量データを収集！
『Lionheart LX』は、習得や使用が複雑で高価な特注の自動顕微鏡に代わる、 手頃な価格の製品として設計されています。 コンパクトで接眼レンズがないハードウェア設計であるため、オペレータが 快適に使用でき、人間工学的なストレスを軽減。 「Gen5 ソフトウェア」を組み合わせて使用すると、Augmented Microscopyに よって画像の撮影、処理、分析を完全に自動化できます。 【特長】 ■研究成果を拡大し、時間とコストを節約 ■論文レベルの画像とデータをすぐに取得可能 ■20種類以上のフィルター/LEDキューブを使用できる ■幅広いアプリケーションに対応できる ■迅速かつ簡単に設定および操作でき、習得も容易 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
8インチ電動XYステージとオートフォーカス機能を搭載！正確に移動制御し測定エラーを防止
『TOMOS-80XY』は、あらかじめ指定したワークの測定箇所に自動で移動し、 MEMS、半導体ウェハなどの表裏パターンやアライメントマークのずれを 自動測定できる両面顕微鏡システムです。 円、四角、十字等のアライメントマークのエッジを自動検出し、 中心座標同士のずれを測定。XYZステージ制御条件、測定条件、マップ作成、 レシピ登録し、ワークの複数箇所を自動測定します。 また、XYステージとワークの装着位置のずれ補正アライメント機能を 搭載しており、正確に移動制御し測定エラーを防ぎます。 【ソフト機能(抜粋)】 ■表裏光軸補正 ■表裏レンズ倍率補正 ■カメラ取付θずれ補正 ■表裏位置ずれ自動計測 ■電動ステージ制御、マップ移動制御 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
高感度なCMOSカラーカメラと、高解像度のCMOSモノクロカメラを搭載！高性能オールインワン蛍光顕微鏡
Invitrogen EVOS M7000 Imaging System は、生細胞イメージング、タイムラプス、画像タイリング、Z-スタック撮影をはじめとした高度なイメージング解析に応える蛍光顕微鏡です。 デジタル倒立顕微鏡の全ワークステーション機能をコンパクトなサイズに 統合し、直感的な操作で自由自在なイメージングが可能です。 高速処理と大規模データに対応するGPUを備えた強力なPCが、パワフルな 画像処理環境を提供します。 特長 ■ 高画質化 ■ スループットとデータの品質を向上 ■ 幅広いニーズに対応する柔軟性 ■ 複数の画像を同時に取得 ■ パワフルな画像処理環境を提供 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
XY電動ステージとオートフォーカス機能を搭載！ソフトウェアなどのカスタマイズも対応
『TOMOS-60XY』は、ワークの複数箇所を自動測定できる6インチ電動 XYステージ 両面顕微鏡システムです。 あらかじめ指定したワークの測定箇所に自動で移動し、水晶振動子、 MEMS、半導体ウェハ、電子部品の表裏パターンやアライメントマークの ずれを自動測定することが可能。 また、XYステージとワークの装着位置のずれ補正アライメント機能を 搭載し、正確に移動制御し測定エラーを防ぎます。 【特長】 ■円、四角、十字等のアライメントマークのエッジを 自動検出し、中心座標同士のずれを測定 ■XYZステージ制御条件、測定条件、マップ作成、 レシピ登録し、ワークの複数個所を自動測定 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
