更新日： 集計期間:2025年10月01日～2025年10月28日
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NXテクノロジーを導入した完全自動化産業用AFM
『Park NX-3DM』は、オーバーハングプロファイル、高解像度側壁 イメージング、および臨界角測定用に設計された完全自動AFMシステムの 原子間力顕微鏡(AFM)です。 傾斜Zスキャナを備えた特許取得済みの分離型XYおよびZスキャン システムにより、正確な側壁分析における通常およびフレアチップ法の 課題を克服します。 【ウエハファブ用で必須なツール】 ■高度で正確なPark NX技術を用いた完全自動産業用AFM ■アンダーカットやオーバーハング構造のためのチルトヘッドデザイン ■サンプル前処理不要で正確な側壁粗さ計測 ■完全非接触モード(TM)により、装置とサンプルにダメージを与えずに 高品質のイメージが得られる ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
欠陥の特定、走査および解析の自動欠陥検査を10倍迅速化する原子間力顕微鏡システム
『Park NX-HDM』は、メディア及び基盤用の自動欠陥検査及びサブオング ストローム表面粗さ測定が可能な原子間力顕微鏡です。 広範な光学検査装置と直接リンクし、自動欠陥検査のスループットを 大幅に向上させます。 また、繰り返し測定においてもサブオングストロームの正確な 表面粗さ測定を提供します。 【特長】 ■メディアおよび基板用の自動欠陥検査 ■正確なサブオングストロームの表面粗さ測定 ■真の非接触モードによるコスト削減 ■低ノイズZ検出器による正確なAFMトポグラフィー ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
アクティブ防振内蔵！ステージ交換だけで電気化学測定や環境制御などに対応します
『CoreAFM』は、高いパフォーマンスと、どのような測定にも対応する 拡張性を兼ね備えた多機能コンパクト原子間力顕微鏡です。 トップビューカメラにより測定対象への位置合わせを容易に行うことができ、 サイドビューカメラによりカンチレバーとサンプル間の距離を目視可能。 また、カンチレバーホルダーはAFMヘッドユニットから簡単に着脱可能で、 ホルダーだけを安全に清掃したり洗浄することができます。 【特長】 ■コントローラ、電源、USBケーブルの接続ですぐに使用可能 ■高分解能24bitADC/DAC ■最大走査範囲(X,Y,Z)：100μm、100μm、12μm ■Zノイズレベル：40pm RMS値 ■液中測定を含めた32の標準測定モードと数々のオプションモードを搭載可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
8インチ電動XYステージとオートフォーカス機能を搭載！正確に移動制御し測定エラーを防止
『TOMOS-80XY』は、あらかじめ指定したワークの測定箇所に自動で移動し、 MEMS、半導体ウェハなどの表裏パターンやアライメントマークのずれを 自動測定できる両面顕微鏡システムです。 円、四角、十字等のアライメントマークのエッジを自動検出し、 中心座標同士のずれを測定。XYZステージ制御条件、測定条件、マップ作成、 レシピ登録し、ワークの複数箇所を自動測定します。 また、XYステージとワークの装着位置のずれ補正アライメント機能を 搭載しており、正確に移動制御し測定エラーを防ぎます。 【ソフト機能(抜粋)】 ■表裏光軸補正 ■表裏レンズ倍率補正 ■カメラ取付θずれ補正 ■表裏位置ずれ自動計測 ■電動ステージ制御、マップ移動制御 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
C-AFMやKFM、sMIMなどの測定モードで最大100mm角のサンプルに対応
導電性AFM、ケルビンプローブフォース顕微鏡法（KFM）、走査型マイクロ波インピーダンス顕微鏡法（sMIM）などの機能に加え、4インチまでのサンプルに対応。 ■サンプルサイズ ：最大100 mm角 ■ステージ移動距離 ：100 mm ■XY走査範囲 ： 100 μm (製造寸法公差 +/- 10%) ■Z走査範囲 ： 9 μm (製造寸法公差 +/- 10%) ■XY走査分解能 : 24ビット制御 – 0.06 Angströms ■Z走査分解能 : 24ビット制御 – 0.006 Angströms ■ノイズレベル ：Typ : <0.01 mV RMS
最大60“までのパネルを明視野透過・反射検査、微分干渉検査が電動レボルバとオートフォーカスで合焦画像検査ができます。
最大60”までのモジュール製品を顕微鏡検査する測長顕微鏡です。 延長鏡筒なので、手元で目視検査とモニタ検査ができます。 顕微鏡固定型なので延長鏡筒で目視検査・モニタ検査ができ、自動計測は ステージ移動量と合わせた自動計測ができます。 詳しくは、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
従来の顕微鏡を超える性能 透体の傷や異物を可視化・定量化
㎚オーダーの透明な異物・欠陥の評価が可能で、1ショットで高さ方向の情報が取得でき、非接触・非破壊・非侵襲で測定が可能な顕微鏡です。さらにフォーカス不要で、任意の面を高速でスキャンして測定位置を決定することが可能です。 特長 ・nmオーダーの透明な異物・欠陥の評価が可能 ・目視では確認できない透明材料の表面と接合界面を可視化 ・1ショットで瞬時に深さ方向の情報を取得可能 ・フォーカス不要で高速測定が可能 ・非破壊・非接触・非侵襲で測定が可能
暗室不要・省スペース。観察・撮影・解析の操作が簡単。複数画像の一括解析ができる新機能搭載
『BZ-X800』は、蛍光・明視野・位相差と1台で様々な観察方法に対応し、 多彩な機能を備えたオールインワン蛍光顕微鏡です。 大型電動ステージ、ステージビュー機能、高速フォーカス、 オート露光などの機能により、簡単操作で位置合わせが可能。 明るい部屋でも高コントラストの蛍光観察ができるため、 暗室が要らず、設置場所を選びません。 マルチウェルプレートの全面を自動で一括撮影し、画像すべてを同一条件で自動解析できます。 また、高精細な画像連結やZスタックなど、多次元撮影が可能な機能も追加されています。 【特長】 ■微弱な蛍光シグナルを鮮明に捉えられる高感度冷却CCDカメラを搭載 ■撮影画像を二値化して面積計測やカウント、蛍光強度を手軽に測定 ■Zスタック画像をもとに、ワンクリックで3D画像を作成可能 ■任意の時間間隔で自動撮影するタイムラプス機能なども拡張OK ■A3サイズのスペースで設置できるコンパクト設計 ★機能や撮影事例を掲載した“製品カタログ”を進呈中！ 「PDFダウンロード」よりスグにご覧頂けます。
手動動作タイプ！各種シリコンデバイスの界面の各部寸法を鮮明な画像で計測可能
『IR1300mea』は、高解像度赤外線CMOSカメラとイメージ エンハンサソフトにより各種シリコンデバイス界面の各部寸法を鮮明な 画像で計測することができる赤外線透過反射顕微鏡システムです。 フォーカス軸は長ストロークになっていますので高さのある冶具に 搭載したままウエハーの検査、計測が可能です。 【特長】 ■X軸、Y軸、Z軸にリニアスケールを搭載しているため視野外の精密な 計測が可能 ■X軸、Y軸、Z軸は手動動作タイプ ■電動ステージ、電動フォーカスの搭載も可能（オプション） ■フォーカス軸を長ストロークに設定できますので冶具に搭載したまま ウエハーの検査計測ができる（長ストローク45mmまで） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
光学式非接触方式なので、ワークに変形や打痕の影響なく計測可能！
『TAHシリーズ』は、顕微鏡光学系に「フォーカスナビマーク」を 搭載することにより、フォーカスナビマークを合わせることで Z軸移動量による高さ・深さ・段差を非接触で計測できる顕微鏡です。 フォーカスナビマークの搭載により、オペレーターに依存せず再現性を大幅に向上。 三眼タイプ・直筒タイプの2種類をラインアップし、 用途に合わせて選択可能です。（カメラはCマウントタイプ） 【特長】 ■対物レンズは無限系のf=180タイプとf=200タイプの2種類の選択が可能 ■コンパクトサイズ ■計測用スコープとして装置に取付け可能 ■目的に応じて測定ステージ、TVカメラ装置、計測ソフトウェアを組合せ可能 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
表面形状の測定を短時間・簡潔に！防塵・防風用シールド、防振機構が標準搭載
『NaioAFM』は、表面形状の測定に必要な要素技術を標準搭載しつつ、 装置のセットアップやカンチレバー交換が簡単に行えるなど、 機能性と操作性を両立したコンパクトタイプの原子間力顕微鏡です。 スキャン前に必要な再チューニングやサンプルへのアプローチ、 サンプル平面の傾斜補正はソフトウェアが自動的に行うため、 サンプルにカンチレバーを近づければ、スキャンが開始されます。 【特長】 ■コントローラ、XYステージ・防風シールド・防振機構が一体化 ■高分解能トップビュー光学カメラ搭載・場所決め用サイドビュー観察 ■ニーズに応じて測定モードの追加が可能 ■お客様先に装置を持参してのデモも受付中 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。 デモをご希望の方はお問い合わせフォームよりお申込み下さい。
非常に優れた分解能、スピード、操作性、柔軟性を備えた、大型サンプル対応ステージ型 AFM/SPM（原子間力顕微鏡）
Jupiter XR 原子間力顕微鏡は、スキャナを交換することなく、単一スキャナで「超高分解能」「高速イメージング」「広域スキャン」に対応した業界初の大型試料対応AFM/SPMです。試料ステージは200 mm試料全域へのアクセスを可能にし、Cypher AFM (2007年発売) で培われた卓越した基本設計と操作性、さらに光熱励振 『blueDrive』を踏襲しました。分析分野や産業R&D・学術研究分野など、多様なサンプル・アプリケーションが要求される用途において、高いレベルでバランスの取れたJupiter XRは最良の選択です。
表裏の位置ずれ／寸法測定顕微鏡をご紹介。高精度、低価格化を実現しました
『TOMOS-50』は、水晶振動子、MEMS、半導体等の電子部品の表裏を 同時に撮影、±0.2μm以下の精度で測定できるコンパクトタイプの 表裏位置ずれ計測システムです。 表裏光軸補正はマイクロステージ＋ソフトウェアで高精度に補正可能。 また、装置組込用両面顕微鏡モジュールとしての販売もしております。 お問い合わせください。 【特長】 ■コンパクトタイプ ■約300万画素 ■表裏両面を同時撮影、寸法計測、位置ずれ計測が可能 ■表裏光軸補正はマイクロステージ＋ソフトウェアで高精度に補正 ■±0.2μm以下の繰り返し精度で表裏の位置ずれを測定(条件により異なる) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
細胞や組織を自動で定量化。暗室不要でウェル・スライドを一括解析できる顕微鏡【カタログ・撮影事例付き資料進呈】
オールインワン蛍光顕微鏡『BZ-X800』は 全ウェルの観察に対応した大型電動ステージや、 クリアな画像が撮影できる高感度モノクロ冷却CCDカメラ等を搭載し、 自動解析による定量化が簡単に行えます。 ◎製品の特長は「導入活用事例集」「製品カタログ」に詳しく掲載しております。 ダウンロードボタンから、ご覧ください。 【導入活用事例集の内容】 ■カニクイザルの心臓の線維化率の計測 ■ウェルプレートを用いたiPS細胞コロニーカウント ■脂肪細胞の定量解析 ■核内の染色体カウント ■胃癌の免疫染色を定量化 ■培養細胞のトランスフェクション効率の計測
サンプルをセットし、分析を開始すると、論文投稿用の画像や定量データを収集！
『Lionheart LX』は、習得や使用が複雑で高価な特注の自動顕微鏡に代わる、 手頃な価格の製品として設計されています。 コンパクトで接眼レンズがないハードウェア設計であるため、オペレータが 快適に使用でき、人間工学的なストレスを軽減。 「Gen5 ソフトウェア」を組み合わせて使用すると、Augmented Microscopyに よって画像の撮影、処理、分析を完全に自動化できます。 【特長】 ■研究成果を拡大し、時間とコストを節約 ■論文レベルの画像とデータをすぐに取得可能 ■20種類以上のフィルター/LEDキューブを使用できる ■幅広いアプリケーションに対応できる ■迅速かつ簡単に設定および操作でき、習得も容易 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
