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真空チャンバ内でのウェーハの搬送にご使用頂けます。
真空対応3軸円筒座標型クリーンロボットSVCR3000シリーズは、真空チャンバ内でのウェーハの搬送にご使用頂けます。SVHRに比べ、可搬重量が2倍になり、コストパフォーマンスに優れます。更にSVHRと取付互換がありますので、乗せ替えに際してもスムーズに行えます。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
STVHRに比べ、可搬重量が2倍になり、コストパフォーマンスに優れます
真空対応4軸円筒座標型クリーンロボットSTVCR4000シリーズは、真空チャンバ内でのウェーハの搬送にご使用頂けます。STVHRに比べ、可搬重量が2倍になり、コストパフォーマンスに優れます。更にSTVHRと取付互換がありますので、乗せ替えに際してもスムーズに行えます。ツインアーム採用によりウェーハ交換時間の短縮を実現しました。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
チャンバ加工のシンプル形状化による加工コスト削減が可能
5軸真空水平多関節型クリーンロボットGTVHR5000シリーズは、多彩な装置レイアウトへの対応が可能です。フットプリントの縮小化、真空引容積の縮小化に寄与しており、チャンバ加工のシンプル形状化による加工コスト削減が可能です。並列したステージへのアクセスが可能(レイアウトのインライン化に最適)です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
Zストローク760mm以上はZ軸が多段式の為、低パスライン化が可能
ガラス基板対応3軸円筒座標型クリーンロボットLHR3000シリーズは、液晶製造装置内、検査装置等のガラス基板の搬送に適しています。Zストローク760mm以上はZ軸が多段式の為、低パスライン化が可能です。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
液晶製造装置内、検査装置等のガラス基板の搬送に適しています
ガラス基板対応4軸円筒座標型クリーンロボットLTHR4000シリーズは、液晶製造装置内、検査装置等のガラス基板の搬送に適しています。Zストローク760mm以上はZ軸が多段式の為、低パスライン化が可能です。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
液晶製造装置内、検査装置等のマスク・ガラス基板の搬送に最適
マスク・ガラス基板対応4軸円筒座標型リンク式高真空対応クリーンロボットFTVHR4000シリーズは、液晶製造装置内、検査装置等のマスク・ガラス基板の搬送に適しています。S字加減速制御によりガラス基板を高速、高精度に搬送します。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
半導体製造装置内などのウエハ搬送に最適！
『SHR3000シリーズ』は、スーパークリーンルーム用の3軸円筒座標型 クリーンロボットです。 半導体製造装置内、検査装置などのウエハ搬送に最適。また、被搬送物、 装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 その他にも当社では、さまざまなクリーンロボットを取り扱っております ので、是非お気軽にご相談下さい。 【特長】 ■アームバリエーションは100mmから選択可能 ■Z軸バリエーションは200mmと300mm ■可搬重量はアーム第3関節換算3kgf以下 ■装置レイアウトに合わせてベースタイプとフランジタイプの選択可能 ■動作モニター装備 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
酸・アルカリのミスト雰囲気中のウエハ搬送に最適！
『STWHR4156シリーズ』は、防水に対応したツインアームの4軸円筒座標型 クリーンロボットです。 LSI製造プロセスにおける、酸・アルカリのミスト雰囲気中のウエハ搬送に 適しております。 他にも当社では、さまざまなクリーンロボットを取り扱っておりますので、 是非お気軽にご相談下さい。 【特長】 ■アームバリエーションは156mm ■Z軸バリエーションは200mmと300mm ■可搬重量はアーム第3関節換算3kgf以下 ■アーム部はテフロンコーティングにより耐蝕性を確保 ■アーム関節部防水構造にVシール使用 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
小径ウエハ用のクリーンロボット！
『SSCR2090Sシリーズ』は、スーパークリーンルーム用2軸円筒座標型 クリーンロボットです。 小フットプリント化と軽量化により、半導体製造装置内部、検査装置及び LED製造装置等の小型ウエハ搬送に適し、装置レイアウトを小型化 できます。 他にも当社では、さまざまなクリーンロボットを取り扱っておりますので、 是非お気軽にご相談下さい。 【特長】 ■可搬重量はアーム第3関節換算0.1kgf以下(ワークのみ) ■動作モニター装備 ■制御方式はRS232C及びパラレルフォトI/O ■全軸2相ステッピングモータ使用 ■S字加減速制御によりウエハを高速、高精度に搬送 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
高剛性設計によりガラス基板を高速搬送！ISOクラス2のクリーンロボット
『HR81315-1900』は、全軸ABSエンコーダACサーボモータ仕様の 直動式ダブルアームクリーンロボットです。 高剛性設計によりガラス基板を高速搬送。 CFRPフォーク上面に滑り止めパッドを貼り付けてガラス基板を保持します。 また、250℃耐熱性CFRPフォークを採用しています。 【特長】 ■各種センサ装備 ■全軸ABSエンコーダACサーボモータ仕様 ■RS232Cによる専用コマンド制御 ■基板保持：CFRPフォーク上面に滑り止めパッドを貼り付けてガラス基板を保持 ■フォーク：250℃耐熱性CFRPフォーク ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
第3世代ガラス基板搬送対応！各種センサ装備ダブルアームクリーンロボット
『HR71000-1500』は、第3世代ガラス基板搬送対応の 直動式ダブルアームクリーンロボットです。 アーム、上下軸ともにロングストロークが可能。 基板裏面を真空吸着します。 アームはステッピングモータ仕様、旋回上下軸はサーボモータ仕様です。 【特長】 ■RS232Cによる専用コマンド制御 ■各種センサ装備 ■基板保持：基板裏面を真空吸着 ■アーム：ステッピングモータ仕様旋回 ■上下軸：サーボモータ仕様 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
高剛性設計により第3世代のガラス基板を高速搬送！ダブルアームクリーンロボット
『LR31000-600』は、コンパクトボディ、ロングストロークの 直動式ダブルアームクリーンロボットです。 高剛性設計により第3世代のガラス基板を高速で搬送。 横スライド軸と簡単にドッキングできる設計です。 スライド軸は、インクリメンタルエンコーダ仕様でサーボモータ制御可能です。 【特長】 ■コンパクトボディ、ロングストローク ■横スライド軸と簡単にドッキングできる設計 ■スライド軸：インクリメンタルエンコーダ仕様サーボモータ制御可能 ■エンコーダ付2相パルスモータ装備 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ハンドはステッピングモータ駆動で180度反転可能！リンク式クリーンロボット
『PR1111-200』は、全軸2Pステッピングモータ仕様の リンク式シングルアームクリーンロボットです。 ハンドはステッピングモータ駆動によって180度反転可能。 回転軸は原点センサ、モータの脱調検出センサ、180度位置センサを 装備しています。 【特長】 ■全軸2Pステッピングモータ仕様 ■回転軸は原点センサ、モータの脱調検出センサ、 180度位置センサを装備 ■チャック：アルミニウムとステンレスの積層構造による特殊I型チャック ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
下側の反転軸には濡れたウェハの真空吸着が可能！ダブルアームクリーンロボット
『SR2160-310』は、反転ユニット、マッピングユニットが付属した リンク式ダブルアームクリーンロボットです。 濡れウェハ対策として下側の反転軸には濡れたウェハの真空吸着が可能。 ロボット駆動部への水の浸入防止のためアーム駆動部と本体駆動部に 水受けを設置しました。 【特長】 ■反転ユニット、マッピングユニット付属 ■アーム駆動部と本体駆動部に水受けを設置 ■特殊セラミックチャック付属（オプション） ■位置決めセンサ付属（オプション） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
真空シールには接触式シール方式を使用したシングルアームクリーンロボット
『EV2250』は、真空シールには接触式シール方式を使用した 平行リンク式シングルアームクリーンロボットです。 アーム部はアルピカ処理済み。 エンコーダ付2相パルスモータを装備しているほか、RS232C通信制御、 パラレルI/O制御が可能です。 【特長】 ■耐熱使用：アームにリフレクタ(熱反射板)の設置 ■アーム部はアルピカ処理済 ■エンコーダ付2相パルスモータ装備 ■RS232C通信制御 ■パラレルI/O制御 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
