スリットコーター(200mm□用)
実験用小型スリットコーター ・基板サイズ:200mm ・粘度:数cps~10,000cps ・膜厚:0.5~100μm
【装置特徴】 ・基板サイズ:200×200×0.4~1.1mmt ・ステージサイズ:230×230mm ・膜厚:0.5~100μm ・薬液系統:1系統 ・粘度:数cps~10,000cps ・ノズル上下駆動:サーボモーター ・テーブル駆動:リニアモーター
- 企業:ブルーオーシャンテクノロジー株式会社
- 価格:応相談
更新日: 集計期間:2025年08月06日~2025年09月02日
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実験用小型スリットコーター ・基板サイズ:200mm ・粘度:数cps~10,000cps ・膜厚:0.5~100μm
【装置特徴】 ・基板サイズ:200×200×0.4~1.1mmt ・ステージサイズ:230×230mm ・膜厚:0.5~100μm ・薬液系統:1系統 ・粘度:数cps~10,000cps ・ノズル上下駆動:サーボモーター ・テーブル駆動:リニアモーター
塗布幅をデジタルで可変できるスリットコーター
タッチパネルでの設定変更のみで塗布幅の変更が可能。 ダイやシムの交換にかかる段取り替えの時間を大幅に削減できます。
企業や大学の研究室等での実験用途に!様々な塗布条件や材料に対応し、高精度な塗布均一性を実現した小型スリットコーター
液晶や有機ELディスプレー製造工程の要となる『コーターデベロッパー』は、最大で約3m角の巨大なガラス基板に薬液を高速かつ1マイクロメートルレベルで均一に塗布現像する装置で、当社は世界トップシェア(※)を獲得しています。(※アレイ用コータ―デベロッパー、2022年当社調べ) 『リサーチコータ』は、この塗布技術をラボスケールに展開したスリットコーター(ダイコーター)。 小型ながらも非常に高精度な均一性を実現し、実験・試作・少量生産など様々なシーンでご活用いただけます。 【当製品が選ばれるポイント】 ■小型で導入しやすい ■企業や大学研究室等での実績多数 ■量産装置と同様のプロセスで、生産機検討を視野に入れた実験・評価が可能 ■全面塗布、ストライプ塗布、ブロック塗布など用途に応じた塗布パターン ■減圧乾燥装置、ホットプレート焼成装置もご用意(オプション) ★下記「PDFダウンロード」より、まずは製品カタログをご覧下さい。
低粘度~高粘度まで対応可能。1~10,000cps。 レジスト、ポリイミド、保護膜、硬化樹脂剤。基板サイズ:400×500mm
〈精密スリットコーター〉 ・搬送駆動:リニアモーター・リニアガイド・サーボモーター ・塗布供給方式:シリンジポンプ(独自の社内開発品) ・精密ステージ:石定盤(平坦度:10μm以下) ・低粘度~高粘度まで対応(数cps~10,000cps) 有機EL、フォトレジスト、ポリイミド、インク剤、硬化樹脂etc
塗布の均一性を追求した精密コーティング 粘度:数cp~10,000cp 基板サイズ:G8サイズ ※塗布実験可能
【装置特徴】 対象基板:G8サイズ 塗布材料・粘度 ・各種薬液、レジスト、樹脂系など ・粘度:数cp~10000cp ・膜厚:1~100μm 主要用途・実例 ・大学、研究開発機関、産総研・素材、材料開発・精密部品、光学部品 ・医薬品研究用途・自動車精密金型部品・化粧品・電子デバイス、半導体、液晶 【テスト実験設備】 ・クリーンブース(クリーンルーム内に設置) ・スリットコーター 400×500mm ・卓上スピンコーター Φ500シリーズ (インナーカップ方式対応可能) ・卓上スピンコーター Φ300シリーズ ・ホットプレート ・膜厚測定器
実験・開発用スリットコーター ・基板サイズ:200mm□ ・レンタル期間:6ヶ月(MAX) ※薄膜から高粘度まで
レンタル専用スリットコーター! 受託加工(成膜・塗工)も対応可能 対応基板サイズ(MAX):200mm□×0.4~1.1mmt 対象ワーク:ガラス基板・フィルム・シート 貸出期間:1ヶ月~6ヶ月間 【装置特徴】 ・基板サイズ:200×200×0.4~1.1mmt ・ステージサイズ:230×230mm ・膜厚:0.5~100μm ・薬液系統:1系統 ・粘度:数cps~10,000cps ・ノズル上下駆動:サーボモーター ・テーブル駆動:リニアモーター 【主要用途・実例】 ・大学、研究開発機関、産総研・素材、材料開発・精密部品、光学部品 ・医薬品研究用途・自動車精密金型部品・化粧品・電子デバイス、半導体、液晶
スリットノズル、高精度吐出ポンプを高粘度対応化したスリットコータです。
「高粘度用スリットコータ」は、スリットノズル、高精度吐出ポンプを高粘度対応化したスリットコータです。 ポリイミドワニス、接着剤、UV硬化型樹脂など高粘度液に適しています。 高粘度液の粘度特性を利用し、スリットノズル、高精度ステージを加熱した高精度塗布を実現。 スリットノズル先端の自動洗浄機能により生産性を向上させることができます。 【特徴】 ○均一性に優れた塗布精度の高いレジスト塗布装置 ○ポリイミドワニス、接着剤、UV硬化型樹脂など高粘度液に最適 ○スリットノズル先端の自動洗浄機能で生産性向上 ○塗布均一特性を維持向上しながらレジスト液の消費量を削減 ○優れた操作性・メンテナンス性 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
ワークはステージにより搬送され、スリットダイはワーク形状に合わせた角度に旋回可能
日立ハイテクでは『曲面スリットコーター』を取り扱っております。 平面はもちろん、凹/凸面、凹凸、フレキシブルへ塗布が可能。 ワークはステージにより搬送され、スリットダイはワーク形状に合わせた 角度に旋回できます。 曲面カバーレンズや、フィルムタッチセンサーなどに対応しています。 【特長】 ■最適化されたスリットダイ ■メンテナンスを考慮した設計 ■好適な気泡抜き設計 ■高粘度樹脂対応可 ■樹脂漏れ防止構造 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
平面だけでなく曲面にも対応したスリットコーター
平面はもちろん、凹/凸面、凸凹面、フレキシブルな塗布が可能 ワークはステージにより搬送され、スリットダイはワーク形状に合わせた角度に旋回可能
企業や大学の研究室等での実験用途に!様々な塗布条件や材料に対応し、高精度でコンパクトなスリットコーター(ダイコーター)
液晶や有機ELディスプレー製造工程の要となる『コーターデベロッパー』は、最大で約3m角の巨大なガラス基板に薬液を高速かつ1マイクロメートルレベルで均一に塗布現像する装置で、当社は世界トップシェア(※)を獲得しています。(※アレイ用コータ―デベロッパー、2022年当社調べ) 『リサーチコータ』は、この塗布技術をラボスケールに展開したスリットコーター(ダイコーター)。 小型ながらも非常に高精度な均一性を実現し、実験・試作・少量生産など様々なシーンでご活用いただけます。 【当製品が選ばれるポイント】 ■コンパクトで導入しやすい ■企業や大学研究室等での実績多数 ■量産装置と同様のプロセスで、生産機検討を視野に入れた評価が可能 ■全面塗布、ストライプ塗布、ブロック塗布など用途に応じた塗布パターン ■超少量シリンジポンプで最少50cc(配管容積15cc)の塗布材料より実験可能 ■環境チャンバ(オプション)に設置すれば、酸素、水分などの環境コントロールが可能 ■減圧乾燥装置、ホットプレート焼成装置もご用意(オプション) ★下記「PDFダウンロード」より、まずは製品カタログをご覧下さい。
小型ドクターブレード式薄膜作製装置
ドクターブレード式薄膜アプリケーターは、液体またはスラリー状の材料を基板上に均一に薄く塗布するためのツールおよび技術です。比較的シンプルでありながら汎用性が高く、様々な研究室や産業現場でコーティングや薄膜を作成するために広く利用されています。 基板を設置するための真空吸着機能付きステンレス製ホットプレートを備えています。温度設定は前面パネルのデジタルPIDコントローラで行います。膜厚設定は、マイクロメータを使用して基板とドクターブレード間の隙間を調整することで行います。スラリーを基板に滴下し、内蔵の電動移動ステージを使用してボタンを押すだけでブレードを水平移動させることができます。速度と移動量は前面パネルのノブで設定し、LEDディスプレイにデジタル表示されます。