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JISに対応した厚さ測定機です。フイルム、紙、ゴム、織物・編物など、それぞれの試験規格に基づいた仕様をお選びいただけます。
●JIS Z 1702（フィルム）、P 8118（紙）、JIS K 6250*（ゴム）、L 1096（織物・編物）などに基づいた仕様（圧子直径・加圧力）で製作可能。（※硬さ IRHD以上） ●測定結果は小型プリンターに出力。 ●PC*にデータを転送可能。（※PC、ソフトウェアはオプション）
高分解能の形状測定を実現。センサプローブの種類が豊富。平坦度や厚みのインライン測定も可能。ウエハ検査用途にも。
当社は色収差共焦点・干渉を原理とした非接触タイプの測定器を取り扱っています。 膜厚測定、形状測定、粗さ測定、変位測定、外観検査に適用でき、加工中の インプロセス測定やインラインでの高速検査、オフライン測定が可能です。 各種インターフェースを用意しており、組み込み用途にも対応。 高分解能（最小XY分解能1μm～、最小Z分解能0.02μm～）で測定が行え、 製品品質の向上、製造プロセスの時間・コスト削減に貢献します。 【特長】 ■幅広いセンサラインナップ 各種センサプローブの中から検査要件、材質に応じて選択可能 ■測定範囲に応じたセンサ シングルポイントセンサ、ラインセンサ型、エリアスキャン型をご用意 ■用途 PCBフレキの検査、ワイヤループ検査、ウエハバンプ検査などに活用可能 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
測定機・加工機・専用機・自動化設備の製造販売の株式会社ジャステム
株式会社ジャステムでは、Si、SiC、サファイア等を対象とした、ウェーハ非接触厚さ測定機、ウェーハ厚さ仕分け機、ラップ・ポリシング加工機の自動化装置、ウェーハ移載機などウェーハ製造工程における自動化・省力化機械を独自技術開発により設計・製作・販売を行い、多くのお客様に提供させていただいております。 シリコンウェーハ製造産業向けのノウハウを応用しSiCウェーハ、LED基板用サファイアウェーハ、太陽電池、MEMS等の分野・産業へ市場を拡大しています。 各種材料の厚さ測定等のデモ測定も承ります。 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
大人気のTMEシリーズ
□TME-02A型/TME-02B型□ シリコンウェーハを専用カセットからエッジハンドリングで取り出し、設定されたパターンの厚さ測定を行う装置です。 シリコンウェーハの外周3点を保持しθテーブルを回転させて、任意の場所の厚さを測定します。 当社独自の「非接触アース」方式により、安全非接触での取り扱いが可能です。 バーコードリーダを装備し、読み取ったバーコードナンバーをExcelの指定セルに保存可能です。 □TME-03型□ シリコンウェーハを専用カセットから取り出し、設定されたパターンの厚さ測定を行う装置です。 シリコンウェーハ搬送及び測定ステージ部でのチャックは、バキュームを使用し裏面をチャックします。
φ200mm、φ300mmのシリコンウェーハの厚さ測定装置
本機械はφ200mm、φ300mmのシリコンウェーハの厚さ測定を行う装置です。 ウェーハのセットおよび測定は作業者の手動操作で行います。
φ100mm～φ150mmのSi、SiC等ウェーハの厚さ測定
本機械は、φ100mm～φ150mmのSi、SiC等ウェーハの厚さ測定を、手動操作にて行う装置です。 厚さ測定は、高精度接触式デジタルセンサを用い、片側測定にて行います。
φ２”、φ４”またはφ６”サイズの化合物半導体ウェーハの厚さ測定
本機械は、φ２”、φ４”またはφ６”サイズの化合物半導体ウェーハの厚さ測定を、手動操作にて行う装置です。 厚さ測定は、光学センサを用い、ウェーハ単体は挟み込み測定、定盤貼付けウェーハは片側測定にて行います。 それぞれの測定を行うため、測定ステージは2種類用意しセンサを付け替えて測定します。
シリコンウェーハのラップ工程・両面ポリッシュ工程で使用する金属製、または樹脂製のキャリアの厚さを測定する装置です。
キャリアをセットし、［スタート］スイッチ操作により予め設定された測定位置を自動で測定します。 測定データは付属のパソコンに記録されます。
シリコンウェーハのラップ工程・両面ポリッシュ工程で使用する金属製、または樹脂製のキャリアの厚さを測定する装置です。
作業者が測定位置を決めフットスイッチにより厚さ測定が可能です。 測定値はカウンタに表示されます。 オプションでパソコンに記録することも可能です。
セラミックプレートに貼り付けられたウェーハの厚さを光学プローブ/センサにて非接触測定する装置です。
測定したデータは、付属パソコンにて保存とグラフィカル表示が可能です。 プレートに貼り付けているウェーハの厚さを測定し、研磨前と研磨後の研磨状態をプレートに貼り付けた状態で確認できる装置です。
本機械は、φ4、5、6、8インチウェーハの厚さ測定する装置です。
厚さ測定は、レシピによる多点測定を行います。 測定センサは分光干渉方式のセンサを用いて片側より測定を行います。
フィルム、紙、金属箔等薄物の厚さ計測における個人差を解消！
デジタル表示で使い方も簡単！ 個人差無く計測可能！
フランス－メトロ社が製造する、小型高性能・高精度センサー表示機 M3を使用し、高精度軽測定圧フィルム・ラバー厚さ測定機にしました
フランス－メトロ社が製造する、高精度Ｍ３型電気マイクロに、弊社の技術を盛り込んで、フィルム、ラバー、薄膜、銅線径など、非接触では、不安定な測定を接触式で安定して測定を行う物です。 測定子や測定圧などたくさんのオプションから最適な物を選定致します。 長い経験を持った技術者が、アドバイス致しますので気軽にお問い合わせください
発泡式、断熱カップの厚さ測定装置
カップ麺の容器は熱湯を扱うため人の手に その熱さが伝わりにくいよう、断熱素材が使われます その素材は内部に空気を多く含むような構造となっているため柔らかく 厚みをはかろうとして機械的なマイクロメータなどをあてがうと わずかにつぶれ（凹み）ます したがって正しい計測が厄介なものです さらに計測の手法が限られてくるため、大変手間がかかることになります 本機では２機のレーザー変位計を用いて カップの壁面を両側から位置測定を行い その差分によって厚みを求めるものです
レーザーディスクの厚さを測定（接触／非接触共）、評価システム内にて使用します
電圧・電流値、温湿度、圧力等各種測定及びデータ処理のシステムを構築します。 また、計測技術の上に立脚したコスモテックの検査装置は、 お客様の生産現場で品質保証の中核として活躍させていただいております。 【構成】 ○CPU：Z80 4MHz ○ROM：4Kbyte ○RAM：1Kbyte ○I/O：TTL,6Port ●詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
