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高分解能の形状測定を実現。センサプローブの種類が豊富。平坦度や厚みのインライン測定も可能。ウエハ検査用途にも。
当社は色収差共焦点・干渉を原理とした非接触タイプの測定器を取り扱っています。 膜厚測定、形状測定、粗さ測定、変位測定、外観検査に適用でき、加工中の インプロセス測定やインラインでの高速検査、オフライン測定が可能です。 各種インターフェースを用意しており、組み込み用途にも対応。 高分解能（最小XY分解能1μm～、最小Z分解能0.02μm～）で測定が行え、 製品品質の向上、製造プロセスの時間・コスト削減に貢献します。 【特長】 ■幅広いセンサラインナップ 各種センサプローブの中から検査要件、材質に応じて選択可能 ■測定範囲に応じたセンサ シングルポイントセンサ、ラインセンサ型、エリアスキャン型をご用意 ■用途 PCBフレキの検査、ワイヤループ検査、ウエハバンプ検査などに活用可能 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
測定機・加工機・専用機・自動化設備の製造販売の株式会社ジャステム
株式会社ジャステムでは、Si、SiC、サファイア等を対象とした、ウェーハ非接触厚さ測定機、ウェーハ厚さ仕分け機、ラップ・ポリシング加工機の自動化装置、ウェーハ移載機などウェーハ製造工程における自動化・省力化機械を独自技術開発により設計・製作・販売を行い、多くのお客様に提供させていただいております。 シリコンウェーハ製造産業向けのノウハウを応用しSiCウェーハ、LED基板用サファイアウェーハ、太陽電池、MEMS等の分野・産業へ市場を拡大しています。 各種材料の厚さ測定等のデモ測定も承ります。 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
大人気のTMEシリーズ
□TME-02A型/TME-02B型□ シリコンウェーハを専用カセットからエッジハンドリングで取り出し、設定されたパターンの厚さ測定を行う装置です。 シリコンウェーハの外周3点を保持しθテーブルを回転させて、任意の場所の厚さを測定します。 当社独自の「非接触アース」方式により、安全非接触での取り扱いが可能です。 バーコードリーダを装備し、読み取ったバーコードナンバーをExcelの指定セルに保存可能です。 □TME-03型□ シリコンウェーハを専用カセットから取り出し、設定されたパターンの厚さ測定を行う装置です。 シリコンウェーハ搬送及び測定ステージ部でのチャックは、バキュームを使用し裏面をチャックします。
φ200mm、φ300mmのシリコンウェーハの厚さ測定装置
本機械はφ200mm、φ300mmのシリコンウェーハの厚さ測定を行う装置です。 ウェーハのセットおよび測定は作業者の手動操作で行います。
φ100mm～φ150mmのSi、SiC等ウェーハの厚さ測定
本機械は、φ100mm～φ150mmのSi、SiC等ウェーハの厚さ測定を、手動操作にて行う装置です。 厚さ測定は、高精度接触式デジタルセンサを用い、片側測定にて行います。
φ２”、φ４”またはφ６”サイズの化合物半導体ウェーハの厚さ測定
本機械は、φ２”、φ４”またはφ６”サイズの化合物半導体ウェーハの厚さ測定を、手動操作にて行う装置です。 厚さ測定は、光学センサを用い、ウェーハ単体は挟み込み測定、定盤貼付けウェーハは片側測定にて行います。 それぞれの測定を行うため、測定ステージは2種類用意しセンサを付け替えて測定します。
シリコンウェーハのラップ工程・両面ポリッシュ工程で使用する金属製、または樹脂製のキャリアの厚さを測定する装置です。
キャリアをセットし、［スタート］スイッチ操作により予め設定された測定位置を自動で測定します。 測定データは付属のパソコンに記録されます。
シリコンウェーハのラップ工程・両面ポリッシュ工程で使用する金属製、または樹脂製のキャリアの厚さを測定する装置です。
作業者が測定位置を決めフットスイッチにより厚さ測定が可能です。 測定値はカウンタに表示されます。 オプションでパソコンに記録することも可能です。
セラミックプレートに貼り付けられたウェーハの厚さを光学プローブ/センサにて非接触測定する装置です。
測定したデータは、付属パソコンにて保存とグラフィカル表示が可能です。 プレートに貼り付けているウェーハの厚さを測定し、研磨前と研磨後の研磨状態をプレートに貼り付けた状態で確認できる装置です。
本機械は、φ4、5、6、8インチウェーハの厚さ測定する装置です。
厚さ測定は、レシピによる多点測定を行います。 測定センサは分光干渉方式のセンサを用いて片側より測定を行います。
低電圧下の電流・電圧・温度計測の究極ソリューション 超ワイドレンジかつ高精密計測 USBメモリーに計測データのロギング
主な特徴 ● 一つの計測モジュールで、電流・電圧・温度計測に対応。 計測には計測項目とレンジに応じたセンサープローブが必要です。(*) 電流計測はシャント抵抗による計測となります。 温度計測は、Pt100/Pt1000からの選択となります。 ● 全計測チャネルガルバニック絶縁。 ● オートレンジ機能により、計測値に対して計測レンジを切り替え。計測レンジが広く、低レンジでも高分解能・精密計測ができます。 電気コンポーネントの電流値の高い動作電流と電流値の低い待機電流を同時に高精度計測。 ● 自動プローブ認識機能により、センサープローブのセッティングは自動。 ● Ahの演算を自動で行い、計測値として出力。 ● ダイナミックサンプリングレート機能により、計測データ量を削減できます。メモリ領域の節約と後処理計算の負担を低減。長時間の計測に効率的に対応。 ● 計測データの出力はCAN 2.0 A/Bもしくは、USBメモリーへのロギング。スタンドアロン計測が可能です。 ● Klaric社の電流・電圧センサープローブを使用することにより、計測信号へのアクセスを安全かつ容易に行えます。
低電圧下の電流・電圧・温度計測の究極ソリューション 超ワイドレンジかつ高精密計測 計測データはEthernetで出力
主な特徴 ● 一つの計測モジュールで、電流・電圧・温度計測に対応。 計測には計測項目とレンジに応じたセンサープローブが必要です。 電流計測はシャント抵抗による計測。 温度計測は、Pt100/Pt1000からの選択。 ● 全計測チャネルガルバニック絶縁。 ● オートレンジ機能により、計測値に対して計測レンジを切り替え。計測レンジが広く、低レンジでも高分解能・精密計測。電気コンポーネントの電流値の高い動作電流と電流値の低い待機電流を同時に高精度計測します。 ● 自動プローブ認識機能により、センサープローブのセッティングは自動。 ● Ahの演算を自動で行い、計測値として出力。 ● ダイナミックサンプリングレート機能により、計測データ量を削減。メモリ領域の節約と後処理計算の負担を減らします。長時間の計測に効率的に対応。 ● 計測データの出力はXCP-on-Ethernet、自動A2Lファイル生成 ● 複数の計測モジュール筐体の連結可能。計測規模を簡単に拡張できます。 ● Klaric社の電流・電圧センサープローブを使用することにより、計測信号へのアクセスを安全かつ容易に行えます。
フランス－メトロ社が製造する、小型高性能・高精度センサー表示機 M3を使用し、高精度軽測定圧フィルム・ラバー厚さ測定機にしました
フランス－メトロ社が製造する、高精度Ｍ３型電気マイクロに、弊社の技術を盛り込んで、フィルム、ラバー、薄膜、銅線径など、非接触では、不安定な測定を接触式で安定して測定を行う物です。 測定子や測定圧などたくさんのオプションから最適な物を選定致します。 長い経験を持った技術者が、アドバイス致しますので気軽にお問い合わせください
広範囲にわたる各種材質の張出し性、表面皮膜の密着性や物性変化を求める試験機
『(極)薄板用エリクセン試験機』は、当社開発の相性工学・感性工学の 理念に基づき、広範囲にわたる各種材質の張出し性、表面皮膜の 密着性や物性変化を求めることができます。 当社は、永年蓄積した豊富なデータと研究開発・技術経験をもとに それぞれの開発・製造現場技術に対応する各種小型試験機、ならびに 特殊測定機の設計製作・販売を行っており数々の実績を評価いただいております。 【主な仕様】 ■板厚：0.01～0.2mm ■ロードセル：2KN ※詳しくは外部リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
