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ＰＩＡ−ＤＬＣコーティング
プラズマに部品をさらし、部品に負のパルス電圧をかけるだけで、カーボンイオンが注入され高密着な、厚膜ＤＬＣを立体形状部品に均一に室温でコーティングすることができます。 ＰＩＡ−ＤＬＣの特徴である耐摩耗、摺動性、離型性、耐食性、ガスバリア性を金属以外のアルミ、ゴム、樹脂にも付与出来ます。 ＰＩＡ−ＤＬＣコーティングは従来高温での表面改質を量子ビーム（イオン、電子、光）技術により室温で表面改質をしたことで注目されています。 従来不可能であった非鉄金属（アルミ、ニッケル等）、ゴム、樹脂にも室温で高密着なＤＬＣをコーティングすることが出来ます。 メッキの性能をしのぐ代替技術として室温で、高機能、高密着、低コストのＤＬＣをものづくりの基板技術として皆様にお届け致します。 従来のＤＬＣに比べ２倍となる高硬度のナノダイヤモンド結晶を形成するコーティング（ＮＤ−ＤＬＣ）の加工、従来のＤＬＣは絶縁体であるが導電性をもつＤＬＣコーティングも可能です。
平面基板上にてナノオーダーで膜厚制御できるDLCコーティング
スリック-nanoシリーズには、被膜硬度3 000HV以上の硬質膜の「スリック-nano H」、潤滑特性を有した低摩擦膜の「スリック-nano S」、絶縁製品へのDLC膜「スリック-nano B」、低電気抵抗膜(10^3～10^6 Ω・cm)の「スリック-nano C」があります。 【特徴】 ○膜厚：30nm～500nm ○対象材質：各種金属、セラミックス、各種樹脂 ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
お客様のアイデアを具体化して、オリジナルの装置や改造などをご提案いたします
アイゲート株式会社では、真空装置の『カスタムメイド装置／改造／ メンテナンス／DLCコーティング』を承っております。 設計、製造、納入までを一貫して行い、納入後のプロセスサポート、改造、 メンテナンスまで対応。 また、当社製以外の装置に関する改造、メンテナンス、移設などにも 幅広く対応しております。 【特長】 ■設計、製造、納入までを一貫して実施 ■納入後のプロセスサポート、改造、メンテナンスも対応 ■当社製以外の装置に関する改造、メンテナンス、移設などにも幅広く対応 ■サンプル成膜用として4inch基板対応PE-CVD装置を所有 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
FCVA方式により、スーパーＤＬＣ（水素基フリーのta-C膜）、Micc膜、各種金属膜を提供します
FCVA方(Filtered Cathodic Vacuum Arc)は、 PVD・CVD等既存のものとは異なる次元の高品質のコーティングを提供します。 また、成膜時に加熱を一切必要としない為、基材の変形等も起こらず、樹脂部品へのコーティングも可能です。 特にDLC膜（ta-C）は １）限りなくダイヤモンドに近い（高いsp3結合） ２）非常に高い硬度・密着性・耐摩耗性 ３）水素フリー ４）膜厚：数nm～10nm ５）内径にも成膜可 等の特徴があり、ハードディスク、精密金型、耐磨耗部品等様々な分野で使われております。 ※詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問合せください。
