半導体・液晶検査装置へ！大型部品対応の厚膜PEEKコーティング
【半導体・FPD業界実績多数】ステージ・ハンド・タンクのキズ・歪み・コスト課題を解決。1〜2mの大型ワーク試作施工も受付中！
高度なクリーン度とミクロン単位の精度が求められる半導体・液晶（FPD）製造・検査装置において、ワークと直に接触するステージや搬送部品の表面処理は、装置の信頼性を大きく左右します。 当社では、高機能PEEKコーティング「PEEKCOAT」を用いた大型精密部品向け受託加工ソリューションを提供しています。 【当社の強みと提供価値】 ■ 大型設備完備 1〜2mサイズの大型ステージや長尺アームの一括施工が可能。 ■ 「厚膜＋後加工」技術 1mm以上のPEEK塗膜を焼き付けた後、精密機械加工で仕上げることで、厳しい寸法精度と滑らかな表面保護性能を両立。 ■ 高度な歪み制御 約400℃の焼成熱による基材の変形・収縮応力を抑える専用治具技術を保有。 【水平展開・豊富な加工実績】 検査ステージはもちろん、搬送ハンド、CMP周辺部品、洗浄・エッチング用タンク・配管・チャンバーなど、半導体・液晶装置における各種部品の表面処理実績が多数ございます。課題に応じたテスト施工（試作）からお気軽にご相談ください。
- 企業：日建塗装工業株式会社
- 価格：応相談
