【半導体・FPD業界実績多数】ステージ・ハンド・タンクのキズ・歪み・コスト課題を解決。1〜2mの大型ワーク試作施工も受付中!
高度なクリーン度とミクロン単位の精度が求められる半導体・液晶(FPD)製造・検査装置において、ワークと直に接触するステージや搬送部品の表面処理は、装置の信頼性を大きく左右します。 当社では、高機能PEEKコーティング「PEEKCOAT」を用いた大型精密部品向け受託加工ソリューションを提供しています。 【当社の強みと提供価値】 ■ 大型設備完備 1〜2mサイズの大型ステージや長尺アームの一括施工が可能。 ■ 「厚膜+後加工」技術 1mm以上のPEEK塗膜を焼き付けた後、精密機械加工で仕上げることで、厳しい寸法精度と滑らかな表面保護性能を両立。 ■ 高度な歪み制御 約400℃の焼成熱による基材の変形・収縮応力を抑える専用治具技術を保有。 【水平展開・豊富な加工実績】 検査ステージはもちろん、搬送ハンド、CMP周辺部品、洗浄・エッチング用タンク・配管・チャンバーなど、半導体・液晶装置における各種部品の表面処理実績が多数ございます。課題に応じたテスト施工(試作)からお気軽にご相談ください。
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基本情報
【処理仕様】 ■ コーティング種別 高機能PEEKコーティング「PEEKCOAT」シリーズ(厚膜仕様) ■ 標準膜厚 1mm以上(切削しろを考慮した厚膜施工) ■ 対応基材 アルミニウム、ステンレス(SUS)等 ■ 対応サイズ 1〜2mクラスの大型製造装置部品・ステージ 【被膜特長】 ■ 優れた耐摩耗性・耐熱性・機械的強度・電気絶縁性 ■ パーティクル発生の低減と、相手材(ウエハ・ガラス等)への攻撃性抑制 【対応体制】 ■ 図面段階からの設計相談・仕様提案 ■ 評価用テスト施工(試作加工)の迅速対応
価格帯
納期
用途/実績例
【対応可能な半導体・液晶装置部品】 ■ 検査・測定工程 レーザー変位検査装置ステージ、基板・ウエハ載置台 ■ 搬送工程 ロボットハンド(エンドエフェクタ)、ウエハキャリア、移送ガイド ■ 前工程(洗浄・成膜・エッチング) 処理タンク、配管内面、チャンバー部品、CMP周辺部品 【導入実績(レーザー変位検査ステージ)】 ■ 課題 アルミステージへのPEEK成形品の貼り付け・穴あけ加工工数が膨大で、装置の製造コストを圧迫していた。 ■ 効果 ダイレクト厚膜PEEKコーティング+切削仕上げへの変更により、貼り付け工程を完全廃止。部品トータルコストを30%以上削減するとともに、均一なPEEK面により基板へのキズを徹底防止。装置全体の信頼性と生産性向上に貢献。
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■機能性コーティングの受託加工メーカー 各種産業部品へのフッ素樹脂やPEEKコーティングなどの機能性コーティングの加工を行う専門メーカーです。 私たちは、ただ指示通りに塗るだけの加工業者ではありません。製造現場の「くっつく!」「滑らない!」「すぐ摩耗する!」といった頑固な表面のお悩みを、一緒に頭を悩ませて解決する一番身近な技術パートナーでありたいと考えています。 ■部品の課題を独自の表面処理で解決 非粘着性、耐食性、耐熱性、すべり性、帯電防止など、多様な機能をプラス。製造装置の長寿命化や、現場のメンテナンスの手間を減らすお手伝いをします。 ■関東エリアを中心に全国対応! 埼玉県春日部市の工場を拠点に、関東全域(東京、神奈川、千葉、茨城、栃木、群馬)から全国までスピーディに対応。 ■表面のお悩みは日建塗装工業までご相談ください! ・今のコーティングに満足していない ・環境規制(PFAS)に合う処理を探している など、図面段階の「こんなことできる?」から試作、量産まで一貫対応いたします。表面のガッカリをスッキリに変えるため、ぜひお気軽にご相談ください!








