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特注品やカスタム製品を弊社好みに設計製作させて頂きます。
御社のニーズに合わせて総合的にプロデュースします。 こんなご要望にお応えします！ ▶機械設計、光学設計、画像処理、ソフトを全て一括で頼みたい。 ▶特注検査装置や特注位置決め装置を制作したい。 ▶今まで手動で作業していた物を自動化したい。 ▶ロングストロークタイプの自動ステージが欲しい。 ▶ナノ単位で位置決め装置を制作したい。 ▶アフターフォローやメンテナンスも対応出来る会社が良い。 ▶クリーンルームで使する高精度な防振台や特注の除振台が欲しい。 ▶シーケンサーで制御したい。
天然石を使用したステージです。お客様からのご要望にて製作いたします。
平面度や各種振動が気になるなどの各種製造装置や検査装置に使いたかったXYステージ。 精密石材を使用した製品を製作することが可能となりました。 今までの精度では満足できなくなった方々や、精密石材を使うことが始めての方々でも親切に対応させていただきます。
超音波モータHRシリーズ搭載、標準ステージ 単軸、多軸のモーションステージをご提供
Nanomotion社の標準ステージは、半導体、バイオメディカル、および計測機器市場での幅広いアプリケーション向けに、単軸および多軸モーション性能を提供します。
高精度位置決め、高速移動と微動をひとつで実現するNanomotionの超音波モータ。装置に合わせカスタムメイドにも対応します。
開発のための試作や小ロットでの生産などの用途向けに、超音波モータを使用した高速移動・精密位置決め・真空対応のステージを設計・製作します。 Nanomotion社の超音波モータは、バックラッシのないダイレクトドライブ。 大気中だけでなく高真空中で使用でき、MRIやイオンビームの用途では非磁性モデルも用意しております。 ■ライトシート顕微鏡用ステージ 正確で10nmの精度を実現し、優れた速度均一性を備えています。 XYZとTip-Toltの5軸。 ■半導体製造評価用1nm多軸精密ステージ SEモータを使ったサブnmのステップ分解能を持つ真空チャンバ内で使用される3軸ステージ。半導体の7nmプロセス開発用に製作。 ■低軌道衛星向けレーザ通信用多軸プラットフォーム アクチュエータによる人工衛星の絶えない振動を超音波モータのステージでキャンセルし地球とのレーザ通信を可能としています。 ※その他は下部の「実績例」をご参照ください。 その他、医療機器、分光装置、光学アライメント、分析機器など幅広く使用できるNanomotion社の超音波モータ。試作・開発のお手伝いをいたします。
半導体の製造／検査向け、顕微鏡向けの位置決めステージシステムを展示します
工苑が取り扱っているNanomotion社の超音波モータは、位置決めステージの高速移動と精密位置決めを両立できます。 この超音波モータを使ったステージは、電子ビーム／イオンビーム用ステージや、ライトシート顕微鏡などでの実績があります。 これらの位置決めステージは、ユーザ様の仕様からNanomotion社で設計提案を行い、またユニットとして製造供給も行っています。 このたび東京ビッグサイトで開催される「 SEMICON Japan 2023」で、この超音波モータを使ったステージシステムを出展します。 【出展製品】 ■超音波モータ(ピエゾモータ)「HR モータ」(デモ有) ■半導体産業向け4軸ステージ ■ライトシート顕微鏡用5軸ステージ 皆様のご来場を心よりお待ちしております。
リニアボールガイドをタイプ別に充実したラインアップで掲載しています！
当カタログでは、手動ステージ『リニアボールガイド BSS/BSBシリーズ』を ご紹介しています。 本体素材はステンレス、ガイド部にゴシックアーク溝を採用し、 高剛性・高精度を実現。充実したサイズ/表面処理/オプション仕様で ラインアップしています。 【掲載製品】 ■X軸リニアボールガイド(SS)ステージ □25 ■X軸SSステージ操作側クランプタイプ □40/□50/□60/□70 ■XY軸SSステージ操作側クランプタイプ □40/□50/□60/□70 ■X・XY軸SSステージ取付姿勢マルチタイプ □40/□60 ■薄型XY軸リニアボールガイド(SS)ステージ □40～□70 ■XY軸リニアボールガイドBYTシリーズ □40/□60 ほか ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
薄型XY軸ステージ（石定盤）
リニヤガイドでありながら、低重心構造の採用により 高い速度安定性と高精度位置決めを実現する、薄型XY軸ステージ 【特徴】 ○パラレル駆動をX軸、Y軸に採用することにより 上面テーブルの高さを低く抑える事が出来る為 高速運転の際、装置全体の揺れを防止し、精度アップができる ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
2/1000℃の高精度温度制御を実現しました。
ペルチェ素子用の２/４ＣＨデジタル温度コントローラです。 従来のＴＤ-２０００/４０００Rシリーズを基に、±0.002℃の高精度な制御を実現しました。 オールインワンのＴＤＣシリーズはペルチェの数（２ＣＨ、４ＣＨ）、電源電圧(８Ｖ、１５Ｖ、２４Ｖ)によって６機種をラインナップ、いずれも温度センサとして白金測温抵抗体とサーミスタ、ＩＣセンサ（オプション）がお使いいただけます。 また、通信機能として、RS232Cを標準装備の他、オプションも用意していますので、あらゆるシステムに対応することができます。
ペルチェコントローラドライバ TDC−1640/1660シリーズ
大容量ペルチェ素子用の 1chデジタルコントローラ（1200Ｗ/1800W タイプ） 【特徴】 ○温度変換部・PID 制御部・バイポーラ高効率定電流駆動部が 一体となっており、AC電源を供給するだけで ペルチェ素子の温度制御が可能 ○大電力タイプながら制御安定度±0.03℃を実現 ○パソコンとのインターフェイスを標準装備 あらゆるシステムに対応することが可能 ○小型で高精度 ○制御サイクルが10 回/秒と高速 ○表示パネルから温度センサ（Ｐt100，サーミスタ）を選択して使用できる ○パソコンとのインターフェースを利用し、種々の温調システムを構築可能 ○最大駆動電圧150V／最大駆動電流20Aで使用できる ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
1/100℃制御精度 ペルチェコントローラドライバ TDC-2000/4000Rシリーズ
高精度な±1/100℃の制御安定度を実現した ペルチェ素子用の2/4CHデジタル温度コントローラ 【特徴】 ○小型・高精度 ・1/1000℃の計測分解能と当社独自の 微小電流制御回路により、1/100℃の高精度温度制御を実現 ・高度なソフトウェア技術によりハードウェアがシンプルで小型 ・通常のPID 制御の他にオーバーシュートを 0.1℃に抑えられる抑制制御機能、温度変化率を一定に制御する 温度勾配制御機能を搭載しました ○多機能 ・煩わしいPID定数設定を省くためのオートチューニング機能を標準装備 異常検出機能も多数装備 ○汎用性 ・センサは白金測温抵抗体とサーミスタの両方が使用可能 ・パソコンとのインターフェースを利用し、種々の温調システムを構築できる ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
特に光学ミラーの”アオリ調整”に適した形状です。１軸アオリ（θx）と２軸アオリ（θx、θy）があります。
ピエゾステージ PT光学ミラー用タイプは、微小な傾斜や回転・アオリ角度の 調整が可能です。 レーザビームスキャニング、ミラーアライメント、面合わせに最適です。 圧電素子を用いて、回転・傾斜などの角度変位を高速且つ精密に行えます。 弾性ヒンジ構造による高速な微小角変位を行うタイプです。 回転、傾斜はもちろん複数軸の同時制御により直線動作も可能です。 圧電素子の高い応答性と内蔵センサ信号のフィードバック制御により、 高速・高精度で微小角の位置合わせが可能となります。 構成要素がシンプルなので本体サイズも小さくでき、装置にも組み込みが容易です。 単純な傾斜型（チルト）や回転型、または仮想回転中心を持ったゴニオ型、さらには3点支持構造の平面アオリまで、様々な角度調整用をラインナップしています。 ※詳しくは資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。
デバイスや電子機器などの圧縮、引張、および曲げ試験など、繰り返し試験を自動化する万能試験機用オプション
『AT2自動XYステージ』は、新規または既存の5900および6800シリーズ 万能材料試験機に取り付けて、デバイスや電子機器などの圧縮、引張、 および曲げ試験など、繰り返し試験を自動化することができます。 このシステムは、幅広い材料、デバイス、電子機器を試験するために、 メディカル産業や電子産業で広く採用。 挿抜試験や精密な曲げ試験など、迅速に再現性のある結果を提供し、 柔軟性が高く、多くの試験片、デバイス、電子機器の試験などに 適応することができます。 【特長】 ■オペレーターを介在させずに複数の試験片の試験をすることが可能 ■サンプルの処理にかかる全体的な試験時間が短縮 ■熟練のオペレーターが他の重要なタスクに焦点を当てることができ、 能率を向上し結果を導きだすことができる ■繰り返し動作を最小限に抑え、試験システムとの物理的な相互作用を 減らし、オペレーターの負担を軽減 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
パネル形状の透明ガラスヒーターをユニット化
・透明なまま発熱するパネル形状のガラスヒーターをホルダに組み込み、各種サイズにてユニット化しました。 ・温度制御装置が付属しているので、届いたその日から直ぐに使えます。 ・部品ごとに在庫していますので短納期で対応します。特注にも対応可能です。
超薄型で様々なアプリケーションに適合！50-250℃までの設定が可能です。MSA一番人気の製品です！！
評価プロセス用ステージなどへの簡易的なホットステージ追加。 また、顕微鏡下などへのホットステージとして。
