更新日： 集計期間:2026年02月25日～2026年03月24日
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摩擦ゼロのフレクシャガイドによる一体型構造—XY軸、XYZ軸、XYθz軸動作が可能
P-517/527マルチ軸ピエゾスキャナは、摩耗ゼロのフレクシャガイドとPICMAピエゾセラミック、静電容量センサーを用いて、ナノレベルの再現性、分解能をもち、動作軸は、XY軸、XYZ軸、XYθz軸のタイプがあります。 XY軸は100µmと200µm、Z軸は20µm、θzは2mradタイがあります。耐荷重50Nあり、光学検査、ウェハー検査、ナノポジショニング、計測、顕微鏡などアプリケーションに最適。 センター開口部は、66×66mm。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
リニアボールガイドをタイプ別に充実したラインアップで掲載しています！
当カタログでは、手動ステージ『リニアボールガイド BSS/BSBシリーズ』を ご紹介しています。 本体素材はステンレス、ガイド部にゴシックアーク溝を採用し、 高剛性・高精度を実現。充実したサイズ/表面処理/オプション仕様で ラインアップしています。 【掲載製品】 ■X軸リニアボールガイド(SS)ステージ □25 ■X軸SSステージ操作側クランプタイプ □40/□50/□60/□70 ■XY軸SSステージ操作側クランプタイプ □40/□50/□60/□70 ■X・XY軸SSステージ取付姿勢マルチタイプ □40/□60 ■薄型XY軸リニアボールガイド(SS)ステージ □40～□70 ■XY軸リニアボールガイドBYTシリーズ □40/□60 ほか ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
高倍率観察時の細かい位置調整に好適！市販の顕微鏡と組み合わせて使用
『3R-XY01』は、XYマイクロメーターを回して位置調整するだけで、 観察したい箇所を簡単に移動させることができるXYステージです。 ワークを手で動かすことで、行き過ぎたり角度が変わったりして見たい箇所が スムーズに見られない、ということも無くなります。 また、下からの光を当てるための穴があるので、透過照明による観察でも ご活用いただけます。 【特長】 ■ワークを直接触らずに位置調整 ■透過照明に対応 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせください。
各種装置導入後のXY軸後付けに好適！LMガイドの採用によりロングストロークを実現。透過穴も確保し、幅広いご用途で利用可能。
『CYAT-070』は、2軸一体構造により、大幅な薄型化を実現する 超薄型XYステージです。 透過穴φ30mmをフルストロークで確保し、顕微鏡用小型XYステージとしても 使用可能。薄型構造のため、各種装置導入後のXY軸後付けに好適です。 また、LMガイドの採用によりロングストロークで、用途が広がります。 【特長】 ■2軸一体構造により、大幅な薄型化を実現 ■当社Z軸を追加しても全高70mm ■透過穴φ30mmをフルストロークで確保し、 顕微鏡用小型XYステージとしても使用可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
薄型XY軸ステージ（石定盤）
リニヤガイドでありながら、低重心構造の採用により 高い速度安定性と高精度位置決めを実現する、薄型XY軸ステージ 【特徴】 ○パラレル駆動をX軸、Y軸に採用することにより 上面テーブルの高さを低く抑える事が出来る為 高速運転の際、装置全体の揺れを防止し、精度アップができる ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
ＸＹ各軸の慣性力を抑え、すぐれた高速応答性を可能としました！
精密ステージ 高応答XYステージ EXは、クロスＬＭガイドＣＳＲ形を採用した、サドルを使用しない構造のシンプルＸＹステージです。2軸のモータを固定する特殊な構造を採用することにより、動作部の重量を極限まで軽量化し、ＸＹ各軸の慣性力を抑え、すぐれた高速応答性を可能としました。 詳しくはお問い合わせください。
レイアウトに合わせたステージを製作いたします。
「SXY300」は、リニアブッシュ、台形ボールねじを採用した精密手動XYステージで、廉価にて、ステージの構成が可能です。 材料研究、開発、評価、検査工程など貴社の機器システムへの組み込み、装置メーカ様OEM対応品。 【仕様カスタマイズ】 ○X,Yストローク 200mm ○プレートサイズ □300mm ○耐荷重 10kgf 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
シャフトモーターの特長を活かした高精度駆動・高精度位置決めを実現するウエハ向けXYステージ
シャフトモーターは高精度駆動・高精度位置決めを実現するリニア・モーターです。 このXYステージは… ♦上軸・下軸ともパラレル駆動を採用（2台のモーターを１台のアンプと１式のエンコーダーで駆動） ♦パラレル駆動を採用することで、中空構造のステージを実現 ♦無駄を排除した低姿勢でシンプル構造のXYステージ ♦ご所望の負荷条件・動作条件に対応したシャフトモーターを採用、カスタマイズ対応致します
顕微鏡搭載・低床スペースの装置組込に好適！透過照明にも対応できるXY軸ステージ
『PTシリーズ』は、顕微鏡搭載・低床スペースの装置組込に適した 高精度・超薄型タイプの顕微鏡用XYステージです。 各社顕微鏡への搭載が可能で、透過照明にも対応できます。 またポジションコントローラCP-500、アナログジョイスティックCP-5Jを用いて、 拡大観察に関連する幅広い用途に対応することができます。 【特長】 ■すべての自動ステージに検査成績書を無償添付 ■仕様に合わせたフルカスタム対応可能 ■すぐに使える簡単アプリケーションをご用意 ■アプリケーションシステムとしても提案可能 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問合せください。
電子部品の評価、接合、画像処理装置・各種検査装置用の位置決めに最適
全高を低くした一体型XYθの3軸アライメントステージで、小型液晶パネルのアライメント、 評価、接合以外に電子部品の評価、接合、画像処理装置・各種検査装置用の位置決めに最適です。 【製品ラインアップ】 ●自動XYθステージ『YRAシリーズ』
材料研究、開発、評価、検査工程などに最適！BESTなステージを製作いたします
「SXY-200H」はリニアブッシュ、台形ボールねじを採用した精密手動XYステージです。廉価にて、ステージの構成が可能です。 ※高精度タイプとしては、RXYシリーズを参照願います。 レイアウトに合わせたステージを製作いたします。X軸、Y軸 ストロークカスタム対応で、貴社の機器システムへの組み込みも、装置メーカ様OEM対応いたします。 固定用足のアングルや、治具、機器類取り付け用孔もカスタム対応いたします。 ●詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
サイズ42x42x21mm、22 mm動作量、最大速度200 mm/s、電源オフ時はセルフロックで位置保持
U-723はPILINE超音波ピエゾモータを採用した42x42 mm×高さ21 mmのXY軸小型リニアステージです。 小型ながら、22 mmXY軸の動作量、最大速度200mm/s。 内蔵インクリメンタルリニアエンコーダーでセンサー分解能10nm、最小動作量0.1µm、双方向再現性 ±0.2µmを実現。 電源OFF時には、2Nのセルフロック保持力で位置を保持。 アプリケーション例は、マイクロマニピュレーション、オートメーション、バイオテクノロジー、サンプル操作、サンプルポジショニング、限られたスペースでの動作。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
ステージ中央にφ100mmの透過穴（開口）を追加したステージ
特注ステージ例の透過穴がテーブル部に空いているステージです。 テーブルサイズ、透過穴のサイズやストロークは変更が可能です。 内蔵のリニアスケールを用いたフィードバック制御による高い再現性が 実現できます。
True nano Tech 薄型高剛性ステージ
ALIO Industries社が世界中のハイエンドステージメーカーにインパクトを与えた3枚板による。XYステージシステム。 従来の1軸を組み合わせる方式ではなく、XY軸を一体型にすることにより、高精度と高剛性を同時に達成することに成功したALIO Industries社の代名詞的なステージ。
平坦度5 nm・分解0.3 nm、共振周波数500 Hzで高速＆高精度動作を実現
P-734はパラレルキネマティクス構造によるXY軸ナノポジショニングステージです。 高精度フレクシャーガイドと静電容量式センサにより、0.3 nmシステム分解能と0.03 %リニアリティを実現。 動作量は100 µm×100 µmで、耐荷重は20N。 56 mm×56 mmの大開口により、光学顕微鏡などにも最適。 半導体マスク位置決め、走査型顕微鏡、表面粗さ計測など“平面度×高速”が求められる装置に最適です。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
産医療産業、レーザー切断、走査などに！高精度位置決め可能なリニアモータステージ
『L-731/V-731』は、クロスローラーガイドケージのクリープを防ぐ PIMag(R)リニアモータXY軸ステージです。 高剛性が必用な環境下では「L-731」、速度安定性が重要な アプリケーションには「V-731」が好適です。 産医療産業、レーザー切断、走査、バイオテクノロジーなどにご使用いただけます。 【特長】 ■トラベルレンジ：205x205mm（8インチ） ■インクリメンタルリニアエンコーダ（分解能1nm） ■クロスローラーガイドケージのクリープを防ぐ ■高剛性が必用な環境下ではL-731が好適 ■速度安定性が重要なアプリケーションにはV-731が好適 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ドイツ・メルツホイザー社製の高精度電動ステージです。 顕微鏡のみならず検査装置などへの組み込みもおすすめです。
ドイツ・メルツホイザー社の顕微鏡用自動XYステージは装置の自動化と高精度位置決めを必要とするアプリケーションの為に開発されました。ほとんどのメーカーの正立/倒立顕微鏡へ取り付けが可能です。 最小移動範囲は75mm x 50mm、最大移動範囲は600mm x 600mmまでご用意致します。電動Zフォーカスドライブを組み合わせれば3軸制御可能です。ソフトウエア作成用のAPI & DLLを使用すれば簡単にオリジナル装置に組み込むことができます。
一目で移動量が分かる！回転して使用出来るステージ
ＭＸＹ－１は簡易型ＸＹ手動ステージです、フラット面のステージにＸＹ方向に目盛を付けましたので、移動量が一目で分かるＸＹステージです。 商品を簡易に固定ができるフックを左右に付けましたので、ステージが移動しても商品固定が可能です。又、フックも取り外し可能の為、大きな商品の場合は取ってご使用いただけます。 【特徴】 ○Ｘ・Ｙ軸の移動が一方向から手動で動かせる ○移動量はＸ軸が７０ｍｍ・Ｙ軸が５０ｍｍ移動可能 ○送りネジ精度はＸ・Ｙ軸共に０.１mmの精度 ○取付は丸型リングでφ９４.５・ｔ=８mmの丸型底板が設けてある 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
XYステージ上面の突起をなくし、フルフラットにしました！
XYステージ上面の突起をなくし、フルフラットにしたため、従来の自動ステージよりさらに使いやすくなりました。 顕微鏡のXYステージを自動で動かすことが可能です。 付属のコントローラと操作部で、マニュアル動作が可能なジョグ移動、設定した一定量を動かすことが可能なステップ移動、設定した任意の座標へ次々と移動可能なティーチング動作、などが可能です。 ホームページにて無償配布しているアプリケーションにて任意の動作を、比較的簡単にプログラム可能です。 ステージがどのくらい移動したか、表示単位を設定して液晶画面にわかりやすく表示し、作業者が把握することが可能です。 【特徴】 ○イメージングソフトに対応 →対応ソフトウェアをお持ちの方は、さらに便利にご使用可能 ○K規格ホルダに標準で対応 →各社インキュベータやサーモプレートも搭載可能 ○OLYMPUS製倒立顕微鏡、一部正立顕微鏡（ステージ固定式顕微鏡）に搭載可能 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
1軸50〜1800 µmのストロークのタイプ、静電容量センサーで高分解能動作
PIHera P-620.1/629.1 シリーズはフレクシャガイドとPICMA(R)ピエゾを組み合わせた1軸ナノポジショナです。 50〜1800 µmのストロークをもち、最小0.1 nm分解能を有し、内蔵静電容量型センサーで実可動部を測定することで、リニアリティエラー0.02 %を達成します。 フレクシャーガイドで、摩耗部がなく高剛性で優れた真直度、長期安定性に優れます。 X・XY・Z・XYZ構成にも拡張できるため、顕微鏡試料走査、光学アライメント、干渉計測などに最適です。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
超高真空領域での使用が可能！中空構造の2軸の可動ステージ
『KXY-152』は、中空構造の2軸（X軸・Y軸）の可動ステージです。 駆動部にはマイクロメーターヘッドを用いることで±2µmでの位置決めが可能です。 内部の駆動方式をベローズ方式にすることで、超高真空領域での使用可能な ほか、有効内径Φ100mmを設けることが可能となる為、内部のスペースを 有効に使用できます。 また、オプションのモーター駆動ユニットを追加する事で、 更に位置決め精度を高めることや自動での駆動が可能となります。 【特長】 ■マイクロメーターの移動量は±12.5mm ■超高真空領域での使用が可能 ■本体上部にM8のネジ穴を4箇所ご用意 ■アイボルトを取り付けることで吊り具との接続が簡単に ■他の直線導入機と組み合わせる事で搬送ラインを簡単調整 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
最大速度120mm/s、10nm分解能で高速・高精度走査を実現
U-781は、PILine(R)ピエゾリニアモータを採用したXYステージで、自己保持機能による安定性と潤滑不要の静音設計が特長です。 コンパクトかつフラットな設計で、顕微鏡下へのサンプルアクセスを妨げません。 LabVIEWやMATLAB、µManagerなど各種ソフトウェアに対応し、装置組込みや自動化に柔軟に対応できます。 サンプルホルダやZステージなどのオプションも豊富です。 詳細な製品仕様についてはカタログからご確認いただけます。ご質問などございましたら、ぜひお問い合わせください。
材料研究・開発・評価など貴社の機器システムへの組み込み、装置メーカ様OEM対応品！
カスタム手動XXYZステージRXY-300はリニアガイド、精密ボールねじを採用した精密手動XYステージです。 レイアウトに合わせたステージを製作いたします。 X 軸（粗動）、X軸（微動）、Y軸（微動）ストロークカスタムにも対応いたします。また治具、機器類取り付け用孔もカスタム対応可能です。 2軸構成で、最薄100mmです。各軸ともにロック機構を採用しております。 ●詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
スキャニングまたは高分解能ポジショニングに最適なエアベアリングステージ
『PIglide 直動エアベアリングシリーズ』は、磁気的にプリロードされた空気ベアリング および内蔵光学リニアエンコーダーによるリニアサーボモーター駆動です。 これらの非接触部品を組み合わせることにより、最高のパフォーマンス、品質、 製品寿命を持つ無摩擦モーションプラットフォームが実現しました。 エアベアリングステージシリーズには、「XY軸小型エアベアリングステージ」、 「XY軸大型エアベアリングステージ」、「エアベアリングロータリーステージ」などもございます。 【特長】 ■非接触完全プリロード空気ベアリング ■スキャニングまたは高分解能ポジショニングに最適 ■クリーンルームに対応 ■カスタマイズ可能 ■内蔵光学リニアエンコーダー 詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
多軸ステージユニットやアクセサリを豊富なラインアップで掲載しています！
当カタログでは、手動ステージのユニットやアクセサリをご紹介しています。 手動ステージの組み合わせ選定の手間を省いた「多軸ステージユニット」を はじめ、手動ステージ用アクセサリ「マイクロメータヘッド(保守部品)」や 「送りねじ」を掲載しています。 【掲載内容】 ■多軸ステージユニット ■マイクロメータヘッド（保守部品） ■送りねじ ■Z軸ブラケット ■アダプタプレート ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
産学連携で実現！ステッピングモーターを用いた高精度なX-Yステージ製作
✅ご依頼内容 茨城大学様から外国製のポイントカウンター（X方向のみに稼働）の修理のご依頼をいただいたことをきっかけに、Ｘ-Ｙ方向に移動するステージを作成しました。 ✅工夫ポイント ステッピングモーターを使用することで、22mm×22ｍｍの試料可動範囲で0.1ｍｍ刻みのステップを可能としました。 また、顕微鏡観察研究において、気泡や砕屑粒子などの量比を高精度に計測するためのシステムとして、パソコンと連動したポイントカウンタープログラムを一緒に開発しました。これにより、作業の手を止めることなく、研究ができるようになりました。 ✅成果 ・高精度な位置決め ステッピングモーターにより、センサーを使用せずに高精度な位置決めが可能 ・薄型設計 偏光顕微鏡の回転ステージに装着しても操作を妨げない薄型設計
高剛性＆高精度、真空にも対応可能な小型6軸ステージ
H-811.I2は、全6軸において高精度な位置決めが可能な小型ヘキサポッドです。 XY±17mm、Z±6.5mmの移動範囲に加え、±21°の回転制御が可能。 パラレルキネマティック設計により、干渉や誤差が最小限に抑えられ、安定した動作を実現します。 特に真空や制限スペース下でも確実な動作が可能で、再現性や剛性を求める精密分野での信頼性に優れます。 最大5kgまでの荷重に対応。
±0.2µmの再現性、アブソリュートエンコーダ標準搭載の重荷重対応モデル
H-850は最大250kgの耐荷重を誇る高剛性ヘキサポッドで、±50mm（XY）/±25mm（Z）、および±30°の広範囲な動作が可能です。 再現性はZ軸±0.2µm、回転軸±7.5µradと高精度。ブラシレスDCギアモータによる滑らかな動作と、アブソリュートエンコーダの即時位置取得により、高速かつ安定した制御が可能です。 構造はパラレルキネマティック方式で、ロボティクス、重量物アライメント、試験設備などに最適です。
ロングストローク、しかも高分解能（5nm,更に高分解能も特注で可）
アパチャー付き ＸＹステージのKDT105は、機械的及び電気的変更のカスタム対応が可能です。高真空対応やクリーンルーム仕様納品も可能。また、非磁性オプションが可能で、可動範囲設定リミットスイッチ付です。XYZ-３軸ステージはMP 84-LMとなります。Ｎｏｎ－ｍａｇｕｎｅｔｉｃオプションも可能です。また、KDT180-LMは、モータ数は1軸につき1個です。オプションで2個まで対応可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
ステージ移動速度や単位表示を任意に変更可能！
オープン制御でありながら、他社リニアスケール付電動ステージと同等の位置再現性を実現。 速度・送りモード切替えの操作性をさらに向上したジョイスティックに加え、微細な移動を可能にするボタン式キーパッドも付属。 【特徴】 ○ステージ移動速度や単位表示を任意に変更可能 ○K規格ホルダ標準対応（各社インキュベータおよびサーモプレート対応） →「LCI製ChamlideLC、TCシリーズ」、 「東海ヒット製Stage Top Incubator、Thermo Plateシリーズ」等 ○LEICA製倒立顕微鏡に搭載可能 ○イメージングソフトに対応 →「MDJ製Metaシリーズソフトウェア（MetaMorph等）対応」、 「三谷商事製バイオイメージングソフトウェア LuminaVision対応」 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
