技術情報誌 202102-04 新規RBS装置の導入
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【要旨】 近年、各種デバイスの高集積化に伴い、局所領域における評価が製品開発、機能向上のために極めて重要と考えられている。この度、東レリサーチセンターに導入した新規RBS装置では、高速イオンビームを最小1 μmφまで収束可能なマイクロビームラインを兼ね備えており、微小部における正確な組成・密度分析が可能となる。また、入射イオン種の増加、入射イオンの高速化により、従来と比較し軽元素の大幅な感度向上、重元素の質量分解能向上を実現した。本稿ではこれらの新機能について、事例とともに紹介する。 【目次】 １．はじめに ２．μRBSによる微小部組成分析 ３．NRAによる軽元素の高感度測定 ４．重元素の質量分解能向上 ５．まとめ
- 企業：株式会社東レリサーチセンター
- 価格：~ 1万円
