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全ての薬液、高純度のアプリケーションの流体制御に、最適に設計されております。
Malema社製のフローコントローラーは、高純度薬液用に接液部をオールテフロン製で、制御・モニター製品をはじめ各種半導体製造装置の標準部品として世界各国で使用されています。 また、今まで流量のモニター、制御が難しかった発泡性薬液、CMP用スラリーなどの薬液の制御に特化したコリオリ式のフローコントローラーも取り揃えております。
全ての薬液、高純度のアプリケーションの流体制御に最適な設計です
Malema社製の『フローコントローラー』は、高純度薬液用のため接液部が オールテフロン製です。 制御・モニター製品をはじめ各種半導体製造装置の標準部品として世界各国で 使用されています。 また、今まで流量のモニター、制御が難しかった発泡性薬液、 CMP用スラリーなどの薬液の制御に特化したコリオリ式のフローコントローラー も取り揃えております。 【特長】 ■超音波流量計では出せない発泡性薬液やスラリーの高精度制御 ■流体の粘度の変化に影響されず、高精度で流量モニターや制御が可能 ■被計測流体の特性による調整、設定が不要 ■30％以内の気体含有液を制御可能 ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。
酸、有機系薬液などの定量吐出管理用の液体フローコントローラー
「精密流量コントロールバルブ」は、高精度、高速で流量制御を行う酸・有機系 薬液などの定量吐出管理用のFuturestar社製液体フローコントローラーです。 流路部品は全てテフロン樹脂製ですので幅広い耐薬液性を有しています。用途により、流量計タイプをカルマン渦流量計と超音波流量計の2種類より、 ご選択頂けます。 また、液体流量コントローラー単体でも販売しています。(商品名：AutoValve) 【特長】 ■液体流量コントローラと流量計を1つのシステムに統合 ■セットした流量をモニタリングしフィードバック ■高再現性と高信頼性を実現 ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。
酸、有機系薬液などの定量吐出管理用の液体フローコントローラーです。高精度、高速で流量制御を行います。
流路部品は全てテフロン樹脂製ですので幅広い耐薬液性を有しています。用途により、流量計タイプをカルマン渦流量計と超音波流量計の2種類よりご選択頂けます。また、液体流量コントローラー単体でも販売しております（商品名：AutoValve）。 詳しくはお問い合わせください。
新しい形で半導体薬液供給にかかわる排圧弁のソリューションを提案！幅広い用途に合わせて選択できます。
GEMÜ半導体製造向けフッ素樹脂バルブは世界各地の半導体工場で薬液やCMPスラリー供給設備の部分において活躍しております。その中でも弊社コントロールバルブを排圧弁としても使用いただいております。 排圧弁は特に薬液を安定的に供給するため、1次側の圧力を一定に保つために2次側に圧力を逃します。 特にCMPなど薬液の供給量が一定であることはウェハーの品質を保つ重要なポイントになります。 そこで弊社のバルブでは3種類のコントロールバルブをご提案できます。 ・iComLine C50＋GEMÜ 1434μPos ポジショナー 小流量制御、素早いON/OFFも可能 ・iComLine C53 電動コントロールバルブ より制御が細やかなバルブ、CMPでも実績あり ・CleanStar C60＋GEMÜ 1434μPos ポジショナー CMPに最適、ON/OFFも可能 どれも4-20mAで制御が可能で、バルブを用意していただくだけで、精密レギュレーターなど別部品は必要ありません。 PLC制御盤で制御が可能です。制御盤から管理していただくことで、異常時の発見も容易です。
半導体ウェットプロセスの流量/背圧制御に好適！電動モーター搭載のオールフッ素樹脂製バルブ【CMPスラリーにも対応】
高精度ステッピングモーターを搭載したフッ素樹脂製電動コントロールバルブです。 DC24C(供給電源) + 4-20mA(アナログ信号)でバルブの開度を自在にコントロールして、流量制御/背圧制御が可能です。流路がスムーズである為、CMPスラリーなどの複雑な組成の流体にも好適です。 1l/min未満の小流量制御にも対応しています。標準で5タイプのイコールパーセント制御・リニア制御を選択いただけます。また特殊仕様でオーダーメイドの制御範囲も作成が可能です。
ELEMENTシリーズコントロールバルブは、食品・飲料・製薬工場向けにデザインされた製品です。
ELEMENTダイアフラム型コントロールバルブは、高機能ポジショナを搭載しています。 流量特性変更機能により、流量特性の悪いダイヤフラムバルブを、制御可能なバルブへと変更できます。 そのため、アセブティックタンクの圧力制御や、充填機の流量制御の用途などで最適なバルブです。 多くのお客様より【サニタリー性のあるコントロールバルブ】であると、ご評価いただいております。
ポンプのサイクル速度を自動制御しプリセット量で薬液を正確にバッチ（定量）供給または注入
■遠隔操作型ハスキー・ダイアフラム・ポンプを使用し液体を全般的にコントロール ■貴社プロセスを自動化 ■精密なポンプ・メータリング・システムの数分の一のコストで流量とバッチ量を±5％内の精度でコントロール ■バッチ量は23ccから38.000L ■液体圧力と無関係に流量をコントロール ■サイクル速度のプリセット範囲は10から200サイクル/分 ■サイクルフローコントローラーと遠隔操作型ハスキー・ダイアフラム・ポンプはエア回路で完全に結合
開度目盛りで視覚的に確認。正確な流量調整を簡単操作で可能にする手動コントロールバルブ！グローブボディもラインアップ
『Type 2960／2961』は、再現性の確保と条件出しが容易な手動操作のバルブです。 バルブ開度目盛りを搭載し、流量調整に必要なバルブ開度と目的の流量を 結び付けることができ、オペレーションの効率化に貢献します。 作業要領書やタグにバルブ開度を記載しておけば、複数の流量条件がある場合や、 一時的にバルブを閉じる必要がある場合でも、迅速に元の流量に戻すことが可能です。 また、ステンレス製の耐久性に優れたボディと、用途に応じて選べるPTFEやPEEKシールにより、 中性および腐食性流体も遮断。幅広い接続オプション（各種ねじ、クランプ、溶接）に対応し、 食品・飲料、医薬品、化学プロセスなど、多様なアプリケーションに適しています。 【特長】 ■Vパッキンとスプリングを組み合わせた自己調整機能で長期間メンテナンスフリー ■幅広い対応流体：蒸気、水、CIP薬液などにも対応 ■耐久性に優れたステンレス製ボディ ■再現性の確保による品質の安定化、運用コストの削減に貢献 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
