アルカリ対応スピン洗浄装置
有機EL基板洗浄に最適！アルカリ対応スピン洗浄装置
本装置はワークを本体に手動でセットし、真空吸着させスピン回転させながら二液体洗浄、超音波洗浄、N2ブロー乾燥を行う装置です。
- 企業：マック産業機器株式会社 テクノロジーセンター
- 価格：1000万円 ~ 5000万円
スピン洗浄機×マック産業機器株式会社 - 企業1社の製品一覧
製品一覧
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『ME500-2611』 卓上型自動スピン洗浄装置
限られたスペースを有効活用！卓上型自動スピン洗浄機です。
本装置は、対象ワークを手動にてセットしスピン回転により超音波洗浄、純水リンスエアーブロー乾燥を行う卓上型自動スピン洗浄機です。
- 企業：マック産業機器株式会社 テクノロジーセンター
- 価格：100万円 ~ 500万円
ME-1000 枚葉式スピン洗浄装置
ブラシ洗浄、超音波洗浄、リンス洗浄、N2ブロー乾燥の処理を行う装置です！
省スペースで、両面洗浄可能なメカグリップ機構の枚葉式スピン洗浄装置です。 メンテナンスが容易で高速、スピン乾燥、Ｎ２乾燥、によりウオーターマークを軽減します。（特許第3558543)
- 企業：マック産業機器株式会社 テクノロジーセンター
- 価格：応相談
ME-5000R 全自動ウエハースピン洗浄装置
フルオートマティックスピン洗浄装置 300mm/8インチウエハー、ガラス
本装置は、ウエハーカセットを本体に手動でセットし、収納されている対象ワークをロボットでスピン洗浄部に送り、スピン回転させながら二流体洗浄・超音波洗浄・N2ブロー乾燥の処理を行い、再びウエハーカセットに収納する装置です。
- 企業：マック産業機器株式会社 テクノロジーセンター
- 価格：1000万円 ~ 5000万円
小型スピン洗浄装置 ME-510
スピン回転により洗剤（界面活性剤等）でブラシ洗浄します。
「小型スピン洗浄装置 ME-510」は対象ワークを手動にてセットし、スピン回転により洗剤（界面活性剤等）でブラシ洗浄し、純水リンス洗浄、エアブロー乾燥の処理を行うマニュアルスピンナーです。対応回転数はMAX3000rpm、対応試料サイズは30～150角、PETフィルム及びガラスとなっています。ブラシ部はブラシ昇降、旋回、ブラシ回転、洗剤供給を行い、純水供給部はエアシリンダーによる旋回、純水供給を行います。本体サイズはW650ｘD800ｘH710でアルミフレームになります。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
- 企業：マック産業機器株式会社 テクノロジーセンター
- 価格：応相談
