更新日： 集計期間:2025年10月01日～2025年10月28日
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単層膜から多層膜まで、幅広い蒸着制御にご使用いただけます。【アルバック／ULVAC】
CRTM-6000Gは成膜コントローラとして求められる基本性能を充実させながら、コストパフォーマンスにも優れた水晶発振式成膜コントローラです。 ハーフラックサイズのコンパクトなボディーながら、低レート制御や99層までの多層膜連続蒸着制御も可能です。 【仕様】 ○外形寸法 W×D×H 240mm×350mm×99mm ○質量 約3.6kg ○ユーティリティー AC85 ～ 230V 50/60Hz ○消費電力 30W Max ○使用環境 温度：5 ～ 40℃ 湿度：5 ～ 95％ RH（結露なきこと） 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
ＤＣブラシレスモータ採用により高効率な省エネブロワのご紹介です。
圧力制御式ブロワ AB37C型はＤＣブラシレスモータ採用により高効率な圧力制御式ブロワです。操作が簡単なタッチパネル方式、軽量小型タイプです。また、圧力一定制御機能付のため、間欠エアブローに最適です。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。
省エネ、高精度を追求！容量制御を搭載した精密空調機器を掲載
『精密空調機器 総合カタログ』は、 環境装置の販売及設置工事等を行っている、備商株式会社の総合カタログです。 省エネ精密空調機「PAP miniシリーズ」をはじめ、 除湿・省エネ精密空調機「PAP Dシリーズ」、 設備用省エネ精密空調機「PAP Rシリーズ」等を掲載しています。 【掲載内容】 ■「PAPシリーズ」特長 ■アプリケーション例 ■PAP mini ■PAP D/Lシリーズ ほか 詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
低レート蒸着制御や高精度な膜厚制御を実現した水晶発振式成膜コントローラ【アルバック／ULVAC】
CRTM-9100G は低コストと高機能を両立させることをコンセプトに開発された水晶発振式成膜コントローラです。 多層膜の連続蒸着や最大4 元までの同時蒸着制御、低レート制御など、アルバックが水晶発振式成膜コントローラのメーカとして、長年培ってきた技術をすべて搭載しました。各種蒸着プロセスにて、長くお役立ていただけます。 【仕様】 ○外形寸法 W×D×H 480mm×350mm×149mm ○質量 約8kg ○ユーティリティー AC 85 ～ 230V 50/60Hz ○消費電力 60W Max ○使用環境 温度：5 ～ 40℃ 湿度：5 ～ 95％ RH（結露なきこと） 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
『日本機械工業連合会会長賞 受賞！』インバータ制御・台数制御で省エネ！オイルフリー真空ポンプ
オイルフリー真空ポンプ モジュールマルチモデルシリーズが平成27年度（第36回）優秀省エネルギー機器「日本機械工業連合会会長賞」を受賞しました！ オイルフリー真空ポンプ モジュールマルチモデルKCM620はモジュールデザインを採用した大流量の真空ポンプです。既設の工場真空設備の更新、小型真空ポンプの集約化に最適です。【デモ機貸出中】 ◆インバータ制御で電気代を大幅にコストダウン！ 負荷状況に応じてポンプ回転数をインバータで制御し、大幅にランニングコスト（電気代）を削減します。 【オイルフリー真空ポンプKCM620の特徴】 ■インバータ・台数制御により大幅な省エネを実現 ■モジュールデザインにより計画的な増設が可能 ■制御台数は最大5台、5台以上のグループ制御も可能 ■タッチパネルで操作簡単 ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。 ※装置組込み用の小型の真空ポンプをお探しの方はオイルフリー真空ポンプ ベーシックモデルKCPまたはドライポンプ KRFシリーズの製品ページをご覧ください。
"ランニングコストを従来の半分以下に抑えました。 また、特許構造により、水蒸気の処理も可能になりました。"
オイル不使用のスクロール真空ポンプ、 課題であったメンテナンスコストを半分以下に抑えることを実現 しました。 従来１年に１回必要であったメンテナンスが、チップシールの磨耗 を抑えることで、2年半に1回でＯＫ。 インバータ搭載型のため、回転数を制御することで、ランニングコストを抑えることもできます。 また、特許構造により、従来のスクロールポンプでは処理できなかった水蒸気の排気も行えます。 騒音値も従来の1/20に抑えました。
インバータ制御により更なる省エネを実現したブロワポンプ。低圧エアならコンプレッサよりもブロワが断然お得【デモ機貸出中】
インバータモデルKCEはインバータ制御により大幅な省エネを実現するオイルフリーブロワポンプです。 ◆インバータ制御で電気代を大幅にコストダウン！ 圧縮空気利用の負荷状況に応じてポンプ回転数をインバータで制御します。それにより大幅にランニングコスト（電気代）を削減できます。 【特徴】 ・省エネルギーで低圧の圧縮空気が得られる ・電気代を大幅に削減 ・圧力100kPa（0.1MPa）まで対応 ★詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。 ---- ※コンプレッサエアー(0.69MPa)を減圧して使用されていませんか？ エアーコンプレッサは空気を約1/8に圧縮するのに大きなエネルギーを消費します。もし末端で0.1MPa(100kPa)以下まで減圧してエアーを使用しているラインがありましたらKCPブロワに置き換えすることをお勧めします。 ※オイルフリーブロワポンプ KCEシリーズはトップランナー規制対応高効率モータを使用しています。
インバータ制御により最大84%の省エネを実現！さらに制御盤不要のため省スペース化も実現！【デモ機貸出し中】
オイルフリー真空ポンプ インバータモデル『KCEシリーズ』はインバータ制御により大幅な省エネを実現した真空ポンプ。各種自動機とのマッチングはもちろん、工場設備の真空源として最適。 ◆驚異の省エネを実現！ インバータ制御により最大84%の省エネを実現！ 電気代を大幅に節約可能。 ◆制御盤不要で省スペース化！ 台数制御に必要なメインコントローラを製品内部に収納。 制御盤不要で省スペース・低コストを実現。 ★デモ機を貸出中です。お気軽にお問合せください★ 【オイルフリー真空ポンプKCEの特徴】 ・高効率ロータにより従来機比1.7倍の風量を実現 ・インバータ制御により最大84%の省エネが可能 ・静音設計：従来機よりも運転音を9dB低減 ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。 ------ ※オイルフリー真空ポンプ KCEシリーズはトップランナー規制対応高効率モータを使用しています。 ※装置組込み用の小型の真空ポンプをお探しの方はオイルフリー真空ポンプ ベーシックモデルKCPまたはドライポンプ KRFシリーズの製品ページをご覧ください。
大幅な省エネを実現するインバータ制御の真空ポンプ！工場の設備用として最適です【デモ機貸出中】
オイルフリー真空ポンプ モジュールマルチモデルKCM620は業界初のモジュールデザインを採用した大流量の真空ポンプです。既設の工場真空設備の更新、小型真空ポンプの集約化に最適です。 ◆インバータ制御で電気代を大幅にコストダウン！ 真空利用の負荷状況に応じてポンプ回転数をインバータで制御し、大幅なランニングコスト（電気代）削減を実現します。 【オイルフリー真空ポンプKCM620の特徴】 ■インバータ制御により大幅な省エネを実現 ■最大5台まで増設が可能 ■モジュールデザインにより省スペース ■タッチパネルで操作簡単 ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。 ----- ※オイルフリー真空ポンプ KCM620はトップランナー規制対応高効率モータを使用しています。 ※装置組込み用の小型の真空ポンプをお探しの方はオイルフリー真空ポンプ ベーシックモデルKCPまたはドライポンプ KRFシリーズの製品ページをご覧ください。
多様化するお客様ニーズに対応！選べるオリオン小型チラーを多数掲載
当カタログは、オリオン機械が取り扱う小型水槽付チラーを掲載しております。 多様化するお客様ニーズにベストマッチした、省エネ・高精度温度制御・高機能 ハイスペックモデルをはじめとした3シリーズをラインアップしています。 【掲載製品】 ■省エネ・高精度温度制御・高機能ハイスペックモデル ・RKEシリーズ ■高精度温度制御ミドルグレードモデル ・RKS-GMシリーズ ・RKS-JMシリーズ ■エコノミーモデル ・RKS-Jシリーズ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
使いやすさ+手軽さ+お手頃価格 エコノミーモデルのチラー
・冷凍機のON/OFF制御により±2.0℃の温度制御が可能。シーンを選びません。 ・高圧ポンプを標準搭載 ・シンプルな安全設計とコントローラ＋充実の機能 ・大口径給水口の大容量タンク ・フィルター清掃が簡単
さまざまなプラズマプロセスの状況をリアルタイムに監視することができます。【アルバック／ULVAC】
光学式プロセスモニタOptiusは、プラズマの発光スペクトルを測定することで、さまざまなプラズマプロセスの状況をリアルタイムに監視することができます。 反応性スパッタリングでのMFC制御やエッチングのエンドポイント検出などに最適です。 【仕様】 ○質量 本体ユニット（TSC）： 4.9kg 拡張ユニット（ESC, 1ch）： 1.3kg ○電源 AC100～240V（50/60Hz） ○消費電力 100W（5ch使用時） ○使用環境 温度：10 ～ 40°C 湿度：15 ～ 80％ RH（結露無きこと） 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
到達圧力 ×10^1Pa により、多様な研究開発の要請にお応えする真空乾燥装置です。
外装はオールステンレス製の美しいヘアライン仕上げで、設置場所に合わせた 真空ポンプとのつなぎ方が可能です。 実験机の上などのスペースを有効利用できる真空乾燥装置です。
オリオン機械/真空ポンプ。ベーシックモデルをインバータ制御し、更なる省エネを実現させたインバータモデル。
■新開発非接触高効率ロータを搭載。 新開発高効率ロータ(非接触・ブレードレス)を使用しているため、シリンダと非接触でエネルギーロスが少なく省エネ。ポンプ内部でオイルを使わない為、クリーンエアーで経済的。さらに非接触のため長寿命で、大幅なメンテナンス性向上が図られています。音質改善と静音性も達成しています。 ■界初のインバータ搭載パッケージ型真空ポンプ。 真空利用の負荷状況に応じてポンプ回転数をインバータで制御。最大84％の省エネを可能にしました。真空ポンプの省エネ化・長寿命化・静音化に貢献します。 ■インバータ制御により最大84％の省エネが可能。 真空ポンプの負荷状態を自動認識。インバータ制御により同じ真空度でも大幅な省エネを実現。 ■非接触ロータと2重パッケージ構造で更に静音。 環境改善となる低運転音。非接触ロータとの相乗効果で60Hz運転でも65dBを達成しました。 ■インテリジェント液晶パネルで簡単操作。 運転状況の把握や各種設定を液晶パネルで確認・操作できます。 ■スマート設計で設置性向上。 面壁付けが可能、もちろん上方排気設計。背面と側面の2面を壁付けできます。
扱いやすいデザインで各種成膜条件の制御が容易！6種類のターゲットが使用できます
『PAC-LMBE』は、拡張性の高い超高真空レーザーMBE（PLD）システムです。 基板加熱ユニットとして、赤外線ランプ加熱と半導体レーザー加熱の いずれかを選択可能。6種類のターゲットが使用できます。 また、ロードロック室ユニットにより、真空中でターゲットや基板を 簡単交換いただけます。 【特長】 ■拡張性が高い ■到達真空度：6.7×10^-7Pa（5×10^-9Torr）以下 ■6種類のターゲットが使用可 ■ロードロック室ユニットにより、真空中でターゲットや基板を簡単交換 ■オプションポート：各種コンポーネント取付可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
