マスフローコントローラのメーカーや取扱い企業、製品情報、参考価格、ランキングをまとめています。
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マスフローコントローラ - メーカー・企業19社の製品一覧とランキング

更新日： 集計期間:2025年09月24日～2025年10月21日
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マスフローコントローラのメーカー・企業ランキング

更新日： 集計期間:2025年09月24日～2025年10月21日
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  1. ITWジャパン株式会社 東京都/機械要素・部品
  2. 株式会社フジキン(Fujikin Incorporated) 東京都/機械要素・部品
  3. 株式会社ＩＢＳ 　本社（大阪工場/大阪支店）、東京支店、中部支店 大阪府/その他製造
  4. 4 日立Astemo＆ナガノ株式会社 東京都/商社・卸売り
  5. 5 コフロック株式会社 本社(京田辺工場)、八幡工場、東京、大阪、名古屋、福岡 京都府/産業用機械
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マスフローコントローラの製品ランキング

更新日： 集計期間:2025年09月24日～2025年10月21日
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  1. マスフローコントローラ/メータ　SLAMfシリーズ※国内防爆認証 ITWジャパン株式会社
  2. 株式会社フジキン『マスフローコントローラ』 株式会社フジキン(Fujikin Incorporated)
  3. マスフローコントローラ/メータ『5850Eシリーズ』 ITWジャパン株式会社
  4. 4 マスフローコントローラ『Aera FC-R7700シリーズ』 株式会社ＩＢＳ 　本社（大阪工場/大阪支店）、東京支店、中部支店
  5. 5 フローコントロールシステム(マスフロー)『FCS-P』 株式会社フジキン(Fujikin Incorporated)

マスフローコントローラの製品一覧

16～30 件を表示 ／ 全 60 件

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マスフローコントローラー『SFC5400』

マスフローコントローラー『SFC5400』

本体ボディーは金属製！バルブのないバージョンもご用意しております

『SFC5400』は、様々なインターフェースと様々な流体接続ができる 多用途マスフローコントローラーです。 50sccm～200slmの最大流量を測定でき、センサー信号は、チップ上で校正、 温度補償されたデジタル信号に直接変換。 また、複数のガス校正データを1つのデバイスに保存でき、動作中の ガス校正値が、測定している実際のガスと一致するかどうかをチェックする こともできます。 【仕様(一部)】 ■フルスケール流量：1, 2, 5, 10, 20, 50 and 100 slm ■フルスケール流量：50, 100, 200 and 500 sccm ■精度：0.08％ FS or 0.8％ SP ■最高使用圧力：5bar ■キャリブレーション：Air,O2,N2,Ar,CO2,He,H2,CH4,N2O,SF6 and C4F8 flow ■流体コネクタポート：Swagelock, VCO, VCR, Downmount ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

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マスフローコントローラー『SFC5500-2slm』

マスフローコントローラー『SFC5500-2slm』

CMOSens MEMS技術を活用！幅広い用途に適した標準品として入手可能

『SFC5500-2slm』は、ドリフトすることがなく、市場で再校正する 必要がないマスフローコントローラーです。 複数のガス校正と交換可能な継手を組み合わせており、幅広い用途に 適した標準品として入手可能。 また、医療、分析、産業の環境での幅広い用途に適しており、標準的な 設定済みのバリエーションからお選びいただけます。 【仕様(一部)】 ■フルスケール流量：2 slm ■フルスケール流量：2000 sccm ■精度：0.08％ FS or 0.8％ SP ■最高使用圧力：8bar ■キャリブレーション：Air,O2,N2,Ar,CO2,He,H2,CH4 and N2O flow ■流体コネクタポート：Legris ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

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マスフローコントローラー『SFC5500-0.5slm』

マスフローコントローラー『SFC5500-0.5slm』

ガスフローの精密制御において当社が歩んできた20年間の実績の集大成！

『SFC5500-0.5slm』は、複数のガス校正と交換可能な継手を組み合わせた マスフローコントローラーです。 当製品は、マイクロサーマル測定原理に基づいており、当社の実績のある CMOSens MEMS技術を活用。 また、市場に出ている他製品とは異なり、ドリフトすることがなく、 市場で再校正する必要がありません。 【仕様(一部)】 ■フルスケール流量：0.5slm ■フルスケール流量：500sccm ■精度：0.08％ FS or 0.8％ SP ■最高使用圧力：5bar ■キャリブレーション：Air,O2,N2,Ar,CO2,He,H2,CH4 and N2O flow ■流体コネクタポート：Legris ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

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マスフローコントローラー『SFC5500-200slm』

マスフローコントローラー『SFC5500-200slm』

CMOSens MEMS技術を活用！医療、分析、産業の環境での幅広い用途に好適

『SFC5500-200slm』は、一台の製品で複数の流量範囲に対応できる マスフローコントローラーです。 複数のガス校正と交換可能な継手を組み合わせ手織り、幅広い用途に適した 標準品として入手することが可能。 また、ドリフトすることがなく、市場で再校正する必要がありません。 ご用命の際は、お気軽に当社までお問い合わせください。 【仕様(一部)】 ■フルスケール流量：200slm ■フルスケール流量：200000sccm ■精度：0.08％ FS or 0.8％ SP ■最高使用圧力：5bar ■キャリブレーション：Air, O2 and N2 flow ■流体コネクタポート：Legris ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

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Aera PI-980　プレッシャーインセンシティブＭＦＣ

Aera PI-980　プレッシャーインセンシティブＭＦＣ

明日のプロセスニーズに応える次世代PI技術

この画期的な技術プラットフォームは、従来の技術と比べて、応答性、ガス流量安定性、計測精度を向上させるとともに、リアルタイムプロセス制御において優れた性能を発揮します。その優れた流量安定性により、チャンバ間のプロセス再現性が向上し、生産歩留まりを改善します。 PI-980シリーズは、従来型のサーマル式の構造に、圧力センサ、温度センサならびに当社独自のNeuralStep制御技術を一体化することによって、従来型の製品に使われていたハイコストなガスパネル部品の必要性を減少します。また、マルチガス・マルチレンジ機能により、予備在庫の必要性が劇的に減り、コスト効率の改善にいっそう貢献します。 この次世代MFC技術は、統合診断機能に加え、フィールドですでに実績のある当社のD980シリーズ製品のプラットフォームと組み合わせたことで、装置稼働時間を向上させるとともに、迅速かつ容易なトラブルシューティングを実現します。

  • CVD装置
  • スパッタリング装置
  • エッチング装置

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マスフローコントローラー『1000シリーズ』

マスフローコントローラー『1000シリーズ』

スタート時のオーバーシュートを抑制！低価格の高性能ガス流量制御器

『1000シリーズ』は、マスフローコントローラーの基本機能に特化した アナログ低価格モデルの高性能ガス流量制御器です。 各種分析・成膜・理化学などの実験研究・製造用途など幅広い分野で ご使用頂けます。 また、流量設定と表示のみのシンプル設計で操作が簡単な表示設定器付 専用電源「PA01」もご用意しております。 【特長】 ■低価格 ■コンパクトサイズ ■スタート時のオーバーシュートを抑制 ■バルブ型式：ノーマルオープン ■流量制御範囲：5～100％F.S. ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • その他プロセス制御

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エフコン株式会社 会社案内

エフコン株式会社 会社案内

生産装置への搭載、研究・開発など幅広い分野に対応！流量制御はお任せください！

エフコン株式会社は、マスフローコントローラをはじめとする 流量制御機器の製造メーカーです。 マスフローコントローラとは、ガスや液体の質量流量を計測し流量制御を 行う機器であり、高精度な流量計測・制御を求められるプロセスには 欠かせないものですが、高価な製品であるため、限られた分野でしか 使用されておりませんでした。 当社のマスフローコントローラは、基本性能を追求した独自技術により 低価格を実現した製品です。一般産業での使用、各種生産装置への搭載、 研究・開発など幅広い分野でご使用いただけます。 【事業内容】 ■流量制御機器の設計・製造・販売 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • その他計測・記録・測定器
  • 計量制御

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マスフローコントローラ/メータ『5850Eシリーズ』

マスフローコントローラ/メータ『5850Eシリーズ』

長期安定性に優れ、生産の的確性を維持！信頼性、精度、繰り返し性の高い測定と制御を行います

『5850Eシリーズ』は、エラストマシールサーマル式マスフローコントローラ/メータです。 数十年に渡って、世界中の数千種類ものアプリケーションでアクティブに使用された実績を持つ本シリーズは、独自の安定した流量センサを備え、現代の要求の厳しい工業生産プロセスに必要な信頼性、精度、繰り返し性の高い測定と制御を行います。 【特長】 ■取り外し可能な流量センサ ■取付姿勢の影響なし ■他のマスフローコントローラとの機械的/電気的互換性 ■電動式バルブオーバーライド ■耐腐食バルブ ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • 流量計
  • 流量制御

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マスフローコントローラ/メータ　SLAMfシリーズ※国内防爆認証

マスフローコントローラ/メータ　SLAMfシリーズ※国内防爆認証

国内防爆認証(JPEx)を正式取得！厳しい環境にも対応する耐久性！優れた精度を実現する精密マスフローコントロール！

粉塵、湿度、極端な温度、水分など、どんな厳しい条件でも、 『SLAMfシリーズ』エラストマシールサーマル式マスフローコントローラ/メータなら、 実証済みの「SLA5800ファミリ」ならではの高い精度と長期安定性を実現します。 特殊設計のNEMA4X/IP66規格筐体により、高度なデジタル電子部品を保護し、 プロセスに不可欠なガス/流体マスフローの安定した正確な測定と制御を行います。 防塵防爆エンクロージャー仕様のSLAMFシリーズは、 国内防爆認証(JPEx) 安全増防爆（MFC型式検定合格番号: DEK24.0048X、MFM型式検定合格番号: DEK24.0049X）を正式に取得したことで、 Zone2エリアへの導入・使用が可能となりました。　 【特長】 ■NEMA4X / IP66級の高耐久性筐体 ■幅広い定格流量 - 0.003から20800 slpm ■幅広い温度と圧力条件に対応 ■優れた精度を実現 ■設定可能なマルチガス/マルチレンジ機能 ※詳しくはPDFをダウンロード頂くか直接お問い合わせください。　

  • IPROS50435174974327297356.png
  • 流量計
  • 流量制御

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高性能マスフローコントローラ　MC-3000L series

高性能マスフローコントローラ　MC-3000L series

当社独自の自己温度補正方式（米国、日本特許）のセンサを採用した高性能デジタルマスフローコントローラです

独自の特許技術で1.0％S.P.の高精度を実現し、各種面実装規格（1.125インチ）に対応したデジタルマスフローコントローラです。 【特長】 ○高性能1.125インチサイズ・デジタルマスフローコントローラ 　 (ピエゾバルブ、高精度(S.P.保証）、デジタル制御） ○アナログマスフローコントローラとの互換性を維持 ○汎用インターフェースRS485が使用可能 ○標準でメタルシール、内面精密研磨のウルトラクリーン仕様 ○SEMI STD.の各種面実装に対応 ※その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。

  • 配管材
  • 真空機器
  • 流量制御

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【センサ】マスフローコントローラ　ラインアップ一覧

【センサ】マスフローコントローラ　ラインアップ一覧

流量センサ、バイパス、バルブ、電気回路で構成！幅広い分野で使用されています

当製品は、流体の体積または質量流量を測定して流量を制御する機器です。 主に流量センサ、バイパス、バルブ、電気回路で構成。精度が高く、 様々なガスに対応し必要な流量設定を行うことができるため、化学工場、 半導体工場、宇宙関係など、幅広い分野で使用されています。 ご用命の際は、当社へお気軽にお問い合わせください。 【種類】 ■体積流量計 ■質量流量計 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • 【センサ】マスフローコントローラ　ラインアップ一覧2.JPG
  • 【センサ】マスフローコントローラ　ラインアップ一覧3.JPG
  • 【センサ】マスフローコントローラ　ラインアップ一覧4.JPG
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  • 【センサ】マスフローコントローラ　ラインアップ一覧8.JPG
  • 【センサ】マスフローコントローラ　ラインアップ一覧9.JPG
  • 【センサ】マスフローコントローラ　ラインアップ一覧10.JPG
  • センサ

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MODEL 8700 SERIES

MODEL 8700 SERIES

表示器一体型で各種機能使用可能！マスフローコントローラ/メータをご紹介

『MODEL 8700 SERIES』は、幅広い流量レンジに対応する表示器付 マスフローコントローラ/メータです。 各種機能（瞬時/積算流量表示、アラーム設定）を使用可能。対象流体は、 N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等の気体です。 また、RS485通信機能、アナログ入出力0-5VDC（4-20mAに変更可能）を 有しています。 【特長】 ■対象流体：気体 N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等 ■最大流量：気体 10SCCM～100SLM ■精度：±1～1.5％F.S. ■幅広い流量レンジに対応（N2換算でF.S.10SCCMからF.S.100SLMまで） ■アナログ入出力は表示器にて変更可能（出荷時 0-5VDC） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • 流量計

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MODEL 3660 SERIES

MODEL 3660 SERIES

N2、Air、H2、He等が対象！幅広い流量レンジに対応するスタンダードマスフローコントローラ

当社で取り扱う、スタンダードマスフローコントローラ『MODEL 3660 SERIES』 をご紹介します。 N2換算でF.S.10SCCMからF.S.100SLMまで幅広い流量レンジに対応。 対象流体はN2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等、最大流量は10SCCM～100SLMと なっております。 【特長】 ■対象流体：気体 N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等 ■最大流量：気体 10SCCM～100SLM ■精度：±1～1.5％F.S. ■幅広い流量レンジに対応（N2換算でF.S.10SCCMからF.S.100SLMまで） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • 流量計

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MODEL 3200 SERIES

MODEL 3200 SERIES

デッドボリューム低減！精度±1％F.S.のハイグレードマスフローコントローラをご紹介

『MODEL 3200 SERIES』は、N2換算でF.S.1SCCMからの微少流量に対応する ハイグレードマスフローコントローラです。 ダイヤフラムシートバルブによりデッドボリュームを低減。 対象流体はN2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等、最大流量は1SCCM～20SLM となっております。 【特長】 ■対象流体：気体 N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2 等 ■最大流量：気体 1SCCM～20SLM ■精度：±1％F.S. ■微少流量に対応（N2換算でF.S.1SCCMから） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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マスフローコントローラ　MODEL8700/3660SERIES

マスフローコントローラ　MODEL8700/3660SERIES

温度や圧力の影響を受けにくく、高精度な流量の計測や制御が可能！　N2、Air、H2、He、Arなどの気体が対象。

当社で取り扱うマスフローコントローラ『MODEL 8700/3660 SERIES』をご紹介します。 表示器付マスフローコントローラ/メータ「MODEL 8700 SERIES」は、 アナログ入出力0-5VDC（4-20mAに変更可能）を有し、 各種機能（瞬時/積算流量表示、アラーム設定）を使用可能です。 スタンダードマスフローコントローラ「MODEL 3660 SERIES」は、 N2換算でF.S.10SCCMからF.S.100SLMまで幅広い流量レンジに対応します。 【特長】 ■対象流体：気体 N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等 ■最大流量：気体 10SCCM～100SLM ■精度：±1～1.5％F.S. ■幅広い流量レンジに対応（N2換算でF.S.10SCCMからF.S.100SLMまで） ■アナログ入出力は表示器にて変更可能（MODEL 8700 SERIES） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • その他計測・記録・測定器

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