常温~高温に対応『常高温ハンドラ』
電気的特性を測定し、結果に従い自動的に収納するハンドラ!常温~高温に対応
『常高温ハンドラ』は、デバイスを設定温度条件下で、適当なテスタと 接続することにより、電気的特性を測定。 測定結果に従って自動的に収納を行います。 ※詳しくはお問い合わせ下さい。
- 企業:株式会社上野精機長野
- 価格:応相談
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電気的特性を測定し、結果に従い自動的に収納するハンドラ!常温~高温に対応
『常高温ハンドラ』は、デバイスを設定温度条件下で、適当なテスタと 接続することにより、電気的特性を測定。 測定結果に従って自動的に収納を行います。 ※詳しくはお問い合わせ下さい。
半導体の欠陥、ムラ、シミの検査を同一の検査工程を一つの機械で全て対応。
半導体の各製造工程、成膜、レジスト塗布、リソグラフィー、エッチング、CMPなど、ウェア上の各ダイに均一な製造工程を行いたいもの。 しかし、現実には異物混入、パターン欠陥や膜厚などのばらつきにより、ウェハー上にムラが発生します。 その各工程に自動化した検査装置を入れることにより、各工程の半導体工程作業の微調整を可能にします。 また、半導体のウェハーのみならず、金属エッチング加工製品では、目視で欠陥やゆがみなどを検査しますが、それら加工製品の数量が増加すれば、目視検査での見落としや、人件費が膨大に膨れます。 その見落としと、人件費を削減するために、半導体、金属エッチング加工製品の検査工程にPrestigeを導入し、検査工程の見落としから費用の削減までを可能に。 【特長】 ● 高解像度仕様7μm、高スループット仕様38μmの画素分解能で、幅広い検査に対応 ● 照明にRGB 3色LEDを採用、パターンに応じた最適化照明 ● カメラアングル可変式を採用、明視野~暗視野像の検査 ● 欠陥検査とムラ検査が同時処理 ● 6/8/12インチ対応 ● オプション機能により、ウェハ裏面検査に対応
塗って覚える色塗り外観検査AIで、ウェハ検査の常識が変わる。 目視困難な微小欠陥を自動で検出・分類可能!
当製品は、最先端AIを活用した半導体特化型自動外観検査装置です。 裸眼では確認が困難であったガラス・水晶・サファイアの表面に残るナノサイズの微細な研磨痕・オレンジピール・脈理・結晶欠陥などを、自動で検出することが可能になります。 検出した欠陥は、欠陥種別ごとに分類することができます。 【検出例】 ■スクラッチ ■クラック ■ディンプル ■ウォーターマーク ■スリップ ■ソーマーク ■ボイド ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。