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自動欠陥検査機能、低ノイズ、高スループット！正確な原子間力顕微鏡をご紹介！
『Park NX-Wafer』は、欠陥のイメージングと解析を完全自動で行う AFM計測手法により、欠陥検査における生産性を1,000％向上する 原子間力顕微鏡です。 正確でハイスループットのCMPプロファイル測定のための低ノイズ 原子間力プロファイラー。 サブÅの表面粗さを極めて正確に測定し、チップ間のバラツキを最小化します。 【特長】 ■欠陥のイメージングと解析を完全自動で行うAFMソリューション ■欠陥レビューにおける生産性を最大1000％向上 ■低ノイズ原子間力プロファイラーで正確且つ高スループットなCMP計測を実現 ■非常に正確で、チップーチップ間のバラツキも最小にしたサブÅ表面粗さ計測 ■原子間力プロファイラー ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
C-AFMやKFM、sMIMなどの測定モードで最大100mm角のサンプルに対応
導電性AFM、ケルビンプローブフォース顕微鏡法（KFM）、走査型マイクロ波インピーダンス顕微鏡法（sMIM）などの機能に加え、4インチまでのサンプルに対応。 ■サンプルサイズ ：最大100 mm角 ■ステージ移動距離 ：100 mm ■XY走査範囲 ： 100 μm (製造寸法公差 +/- 10%) ■Z走査範囲 ： 9 μm (製造寸法公差 +/- 10%) ■XY走査分解能 : 24ビット制御 – 0.06 Angströms ■Z走査分解能 : 24ビット制御 – 0.006 Angströms ■ノイズレベル ：Typ : <0.01 mV RMS
非常に優れた分解能、スピード、操作性、柔軟性を備えた、大型サンプル対応ステージ型 AFM/SPM（原子間力顕微鏡）
Jupiter XR 原子間力顕微鏡は、スキャナを交換することなく、単一スキャナで「超高分解能」「高速イメージング」「広域スキャン」に対応した業界初の大型試料対応AFM/SPMです。試料ステージは200 mm試料全域へのアクセスを可能にし、Cypher AFM (2007年発売) で培われた卓越した基本設計と操作性、さらに光熱励振 『blueDrive』を踏襲しました。分析分野や産業R&D・学術研究分野など、多様なサンプル・アプリケーションが要求される用途において、高いレベルでバランスの取れたJupiter XRは最良の選択です。
【日本版カタログ進呈中】低コスト・高機能・短納期が可能な新製品！当社が取り扱う原子間力顕微鏡をご紹介！
『Park NX7』は、Park Systemsが持つ新技術がすべて搭載されており、 かつお手頃な価格でお求め頂けます。 当製品は細部に至るまで上位モデル同様に設計されており、 研究を促進することが可能。 また、ボーイングのないフラットな直交XYスキャンができます。 ご用命の際は、お気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■拡張性の高いAFMソリューション ■ボーイングのないフラットな直交XYスキャン ■低ノイズZ検出器 ■True Non Contactモードによるチップの寿命、 サンプルの保存、繰り返し精度の向上 ※英語版カタログをダウンロードいただけます。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
最高レベルのナノスケール解像度で信頼あるデータを提供する原子間力顕微鏡
『Park NX10』は、サンプルのセッティングからイメージング、測定、 解析に至るまですべての段階において簡単に操作することができる 原子間力顕微鏡(AFM)です。 本製品なら、ユーザーはより多くの時間と、より優れたデータを基盤に 革新的な研究に集中することができます。 【特長】 ■クロストーク除去によるボーイングの無い正確なXYスキャン ■低ノイズZ検出器を使った正確なAFMトポグラフィー ■真のノンコンタクト(TM)モードによる最高クラスのチップ寿命、分解能 およびサンプルの保護 ■半導体/ポリマー/電池材料や炭素系材料などさまざまな材料の表面解析を ナノオーダーで解析(※イメージギャラリー参照) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
故障解析アプリケーションに適した真空環境スキャニング
『Park NX-Hivac』は、故障解析および環境の影響を受けやすい材料向けの 高真空原子間力顕微鏡(AFM)です。 高濃度ドープの半導体の正確な故障解析が可能。 また、当社のすでに認められた技術を用いることによって、高分解能で 高い再現性と操作性による低ノイズ計測を可能にした製品です。 【故障解析の為の高真空計測】 ■高速スキャンのための進化したStepScan自動機構とレーザーアライメント機構 ■マルチサンプルチャック ■Park独自の容易なチップ交換機能 ■大型真空チャンバー(300mm×420mm×320mm) ■超長距離観察を実現した直上光学顕微鏡 ■感度が向上された高真空SSRMモード ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
故障解析と大型試料における研究開発のためのナノ形状計測ツール
『Park NX20』は、パワー、汎用性、操作の容易性を芸術的に組み合わせた 大型試料用の原子間力顕微鏡(AFM)です。 本製品には、デバイス障害の背後にある原因を明らかにし、より創造的な ソリューションを開発するための独自の機能が装備されています。 また、真のノンコンタクト(TM)モードのスキャンによって、チップがより鋭く、 かつ長く保たれるため、無駄な時間と費用の発生を防ぐこともできます。 【研究およびFAラボにおける大型試料用AFMを使ったソリューション】 ■メディア、基盤用の表面ラフネス計測 ■欠陥検査イメージングと解析 ■高解分解能電気特性測定モード ■3D構造解析における側壁計測 ■低ノイズZ検出器を備えた正確なAFM形状イメージング ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
欠陥の特定、走査および解析の自動欠陥検査を10倍迅速化する原子間力顕微鏡システム
『Park NX-HDM』は、メディア及び基盤用の自動欠陥検査及びサブオング ストローム表面粗さ測定が可能な原子間力顕微鏡です。 広範な光学検査装置と直接リンクし、自動欠陥検査のスループットを 大幅に向上させます。 また、繰り返し測定においてもサブオングストロームの正確な 表面粗さ測定を提供します。 【特長】 ■メディアおよび基板用の自動欠陥検査 ■正確なサブオングストロームの表面粗さ測定 ■真の非接触モードによるコスト削減 ■低ノイズZ検出器による正確なAFMトポグラフィー ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
表面形状の測定を短時間・簡潔に！防塵・防風用シールド、防振機構が標準搭載
『NaioAFM』は、表面形状の測定に必要な要素技術を標準搭載しつつ、 装置のセットアップやカンチレバー交換が簡単に行えるなど、 機能性と操作性を両立したコンパクトタイプの原子間力顕微鏡です。 スキャン前に必要な再チューニングやサンプルへのアプローチ、 サンプル平面の傾斜補正はソフトウェアが自動的に行うため、 サンプルにカンチレバーを近づければ、スキャンが開始されます。 【特長】 ■コントローラ、XYステージ・防風シールド・防振機構が一体化 ■高分解能トップビュー光学カメラ搭載・場所決め用サイドビュー観察 ■ニーズに応じて測定モードの追加が可能 ■お客様先に装置を持参してのデモも受付中 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。 デモをご希望の方はお問い合わせフォームよりお申込み下さい。
抜群の性能を誇る Cypher S にフル装備の環境制御機能を拡張追加したモデル。温度制御、ガス・液中測定、かん流を容易に実現
アサイラム・リサーチの Cypher ES AFM/SPM（原子間力顕微鏡） は、抜群の性能を誇る Cypher S のプラットフォームにフル装備の環境制御機能を拡張追加したモデルです。Cypher S と同じ高分解能、スピードそして安定性を持ちながら、0 ～ 250°Cの温度範囲において制御された、ガス・液中環境や厳しい化学的環境の中でも、容易に操作が可能です。Cypher ES は、最も過酷な実験要件を満たすための究極の AFM です。AFMが壊れてしまいそうな環境でも測定が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
