主な特長 1.フォトマスクとウエハの平行出しは､ウエハテーブルを空気の層で浮遊させ､アライメント機構部に内蔵されたエアバネでフォトマスクに正確にコンタクトする方式を採用しています｡ 2.アライメント顕微鏡は､アライメントマークが探しやすいように自在移動が可能です(ロック機構付)。 3.アライメント顕微鏡はズーム式の高倍率タイプで､照明はレジストにより色の選択が可能なLED照明を搭載しています｡ 4.作業のタクトを高めるために､ランプハウスとアライメント顕微鏡が自動で挿入､退避することから､生産性アップを実現します｡

主な特長 1.定評のある500Wマルチライト光源を搭載しています｡ 2.基板供給､アライメント､露光､基板排出を自動で行うとともに､ウエハ搬送はクラス最高水準である毎時190枚(2インチウエハ)の処理能力を実現しています｡ 3.マスクとウエハの平行出しは､補正機能板で露光ごとに可能です｡ 4.レシピにより登録された10個のリトライ座標を順番にサーチする､画像処理インテリジェントサーチ機能を採用しています｡ 5.ファースト露光用のラインアライメント機能を搭載しています｡ 6.露光方式は､ソフトコンタクト､プロキシミティ､ハードコンタクト(真空密着)から選択できます｡ 7.2インチウエハと4インチウエハの段取り換えも容易に行えます｡ 8.顕微鏡のハロゲン照明は､画像処理により､つねに最適な明るさで保たれるとともに､低コントラストマークに対応します｡ 9.トラブルのエラーメッセージを操作パネルに表示します｡

装置は､材料手動L/UL部､整合および露光部､付帯の真空ポンプボックスで構成されています｡ ITO(Indium Tin Oxide：酸化インジウムスズ)パターンを画像認識し､あらかじめコーティングされた銀インクレジストを露光します｡

FPC両面回路形成用露光機で､ロール状両面FCCLに､ドライフィルムをラミネートしたものに対し､両面回路を高精度で露光可能です｡ 両面同時アライメントを行い露光するため､FPCの裏表露光精度を高めることができます｡ また､両面同時露光を行うので､高い生産性が得られます｡

FPCの回路形成を行うための露光装置です｡ ロール to ロールでピッチ送りし､上面からドライフィルム上にパターンを焼きつけます｡ 装置は､ロール巻出機→クリーンローラ装置→エッジコントローラ装置→露光部→ロール送り部→ロール巻取機によって構成されます｡ 【主な特長】 平行光光源による高解像度 高精度基板搬送(サーボロール送り､エッジコントローラ) テンション(張力)コントロールが可能 露光部クリーン対応(上部HEPAユニット装備､露光部内面はSUS板)

フレキシブルプリント基板（FPC）の回路形成を行うための装置です。 ロールｔｏロールでピッチ送りしてドライフィルム上にパターンを焼き付ける製品群をラインアップさせています。 ※詳細はカタログダウンロードの上、お問合せ下さい。

長年にわたり培ってきた､独創性あふれる光テクノロジーとランプ製造技術の 粋を集めた露光装置群は､エレクトロニクス分野､印刷分野において､数多くの 実績を重ねてきました｡ 新開発の光学系､ミラー技術､効率高いの超高圧水銀ランプ･メタルハライドランプが 織りなす高精度な｢平行光｣と､優れたコストパフォーマンスにより､最先端技術の 発展を支えます｡ 【片面マスクアライナー】 ●半導体デバイス、各種センサーをはじめ、多様なデバイス分野での露光工程に 　用いられます。 ●研究開発から、小・中ロット製造用に最適です。 【両面マスクアライナー】 ●ウェハー、ガラス基板などのフォトリソ工程において、ガラスマスクとワークを 　アライメントし、板上にコーティングされたフォトレジストにプロキシミティ 　及びソフトコンタクト露光にて、微細なマスクパターンを転写するマスクアライナー 　です。 ■□■詳細は、資料請求またはカタログをダウンロードして下さい■□■

ガラス基板などのフォトリソ工程において、ガラスマスクとワークをアライメントし、ソフトコンタクト露光で微細なマスクパターンを転写する露光機です。 搬送系はローラコンベア方式でインラインとして利用できます。 ※詳細はカタログダウンロードの上、お問合せ下さい。

CCDカメラによる画像処理自動整合システムを搭載した、自動整合露光装置です。 ※詳細はカタログダをご覧の上、お問合せ下さい。

フレネルレンズを搭載した高精度露光装置です。新真空システムでスクリーン版枠の歪みを軽減し、さらに配光バランスを向上させました。スクリーン枠装置と、PDP用の大型装置の2種類をラインアップさせています。 【特長】 ●フレネルレンズを搭載した高精度露光装置 ●新真空システムでスクリーン版枠の歪みを軽減 ●配光バランスを向上 ●万全の廃熱対策 ●高精度の積載光量計を搭載 ※詳細はカタログダウンロードの上、お問合せ下さい。