【特長】 ・高額な装置がなくても、研究開発を進められる。 ・お客様の研究・開発のスピードのアップ。 ・コーティング液材が稀少の開発液剤であっても、成膜試作。 ・無駄な開発投資を省ける。 ・長年の弊社データベースを活用し、難しい諸条件が容易に設定可能。 ・開発や新プロセスの問題解決をコンサルタント。 ・生産に向けて、カスタマイズしたコーティング装置の提案も可能。 ・特殊機能膜の塗布加工サービス（薄膜形成試作・開発支援）を提案。 ・薄膜プロセスの総合的研究開発の受託も可能。 ・特殊機能膜の液調合から提案し、薄膜形成可能。 ・希少材料が１cc からでも塗布試作が可能 ●詳しくはお気軽にお問い合わせください。

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【装置仕様】 装置サイズ：幅600mm×奥600mm×高1600mm 重量：100kg程度 有効塗布エリヤ：200mm×200mm 真空チャックエリヤ：170mm×170mm 塗布ガンバルブ：ダブルシリンジ 間欠特殊スプレーガン 間欠タイマー：装置内蔵 【ユーティリティ】 電気 ：AC100V 10A DCA ：100NL/min 窒素 ：100NL/min 排気 ：5M3/min程度 真空 ：真空ポンプ標準搭載

• 2次電池・バッテリー
• 水素電池
• リチウムイオン電池

【装置仕様】 装置サイズ：幅1000mm×奥1000mm×高1800mm 重量：700kg程度 有効塗布エリヤ：400mm×400mm 真空チャックエリヤ：300mm×300mm 塗布ガンバルブ：ダブルシリンジ 間欠特殊スプレーガン 間欠タイマー：装置内蔵 【ユーティリティ】 電気 ：AC200V 20A DCA / 窒素 / 排気 / 真空

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• 水素電池
• その他電子部品

スプレーコーティング装置は、その装置の塗布パラメータのみならず、使用されるサブストレートや塗布液のパラメータが大きくその品質を左右します。 これらすべてを勘案して、目的の試作を行うために最適化された条件を速やかに付与して、結果を得ることが出来る装置をご提供してまいります。 【コーターの特長】 ・間欠吐出（パルス吐出）法でノズルの目詰まり無く安定吐出可能。 ・塗布液の循環機能により沈降・分離することなく均一塗布可能。 ・少量でも循環可能。 ・塗布液は少量（１cc )でも塗布可能。 ・特殊竜巻式（スワール）微粒化法で良質な成膜が可能。 ・微粒子の積層方法（塗布条件）により多彩な機能膜の形成が可能。 ・ワークサイズは□150～1200mm程度の実績があります。

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【特長】 ・スプレーコータ装置の購入なしで、研究開発を進められる。 ・研究開発のスピードアップ。 ・無駄な開発投資を省くことができる。 ・長年の弊社データベースをもとに機能膜塗布をご提案。 ・開発や新プロセスの問題点をコンサル。 ・特殊機能膜の塗布加工サービス（薄膜形成試作・開発支援）をご提案。 ・特殊機能膜をコーティング液から調合し薄膜を形成することも可能。 ・稀少材料の試作として１cc からでも塗布が可能。 ・薄膜プロセスの総合的研究開発の受託も可能。 ・必要に応じ、必要な装置のご提案。 ●詳しくはお問い合わせください。

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【特長】 ・高額なプロセス装置なしで研究開発を進められる。 ・お客様の研究開発スピードの効率アップ ・無駄な開発投資を省くことができる。 ・長年の弊社データベースにより難しい条件出しが容易に設定可能。 ・開発や新プロセスの問題点をコンサルティングします。 ・必要に応じ、必要な装置のご提案をいたします。 ・特殊機能膜の塗布加工サービス（薄膜形成試作）をご提案 ・薄膜プロセスの総合的研究開発の受託も可能 ・特殊機能膜をコーティング液から調合し薄膜を形成することも可能 ●詳しくはお問い合わせください。

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薄膜コーティング装置（スプレーコーター）シリーズはウエット式スプレー粒子を積層する薄膜形成装置であり、凹凸複雑部品、立体（３D）デバイスに容易に塗布することが出来ます。 MEMS用フォトレジスト塗布、サーマルヘッド、水晶デバイス、センサー、光部品などに応用されています。 弊社では長年の塗布試作サービス（薄膜ファンドリーサービス）の実績と経験があります。 その薄膜技術のノウハウと試作からの特別仕様を盛込んだ薄膜コーティング装置はご提案して好評をいただいております。 量産用として大型装置SP600を大型基板用スプレーコータとして提案中です。 海外などの特殊ノズルなども採用し長期安定な塗布をご提案しています。 塗布における課題・ニーズなどお困りの事がございましたらご一報をお願い申し上げます。 立体形状コーティング（３Dコーティング）、薄膜コーティング、電子デバイスコーティング、機能薄膜コーティングに最適の装置です。

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【特長】 　●微細な凹凸立体形状に均一なコーティング可能 　●10nmから数100μmの広い範囲の応用が可能 　●コーティング液の利用効率が高い（従来スピンコートの数十倍程度） 　●エッジカバーの良好な薄膜コーティングが可能 　●高メンテナンスを実現 【仕様】 　●4インチ、6インチ、8インチウエハーサイズ　（他形状にも対応） 　●ロボット搬送方式 　●特殊スプレー方式

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薄膜コーティング装置（スプレーコータ）はウエット式スプレー粒子を積層する薄膜形成装置であり、凹凸のあるサブストレート、立体形状（３D）デバイスに容易に塗布することが出来ます。 フォトレジスト塗布によりサーマルヘッド、水晶デバイス、センサーなどに応用されています。弊社では長年の塗布試作サービスや研究支援の実績と経験があり、そのノウハウを盛込んだスプレーコーター（薄膜コーティング装置）はご好評をいただいております。 弊社独自の特殊ノズルで長期安定な塗布をご提案しています。塗布に課題・ニーズなどお困りの事がございましたら、ご一報をお願い申し上げます。 立体形状コーティング（３Dコーティング）、薄膜コーティング、精密コーティング、電子デバイスコーティング、機能薄膜コーティングに最適です。

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【特長】 ・高価プロセス装置の購入なしで、研究開発を進められる。 ・お客様の研究開発スピードの効率アップ ・無駄な開発投資を省くことができる。 ・長年の弊社データベースにより条件だし困難な塗布が容易に設定可能。 ・開発や新プロセスの問題点をコンサルします。 ・必要に応じ、必要な装置の御提案をいたします。 ・特殊機能膜の塗布加工サービス（薄膜形成ファンドリー）を提案 ・薄膜プロセスの総合的研究開発の受託も可能 ・特殊機能膜をコーティング液から調合し薄膜を形成することも可能 ・稀少材料の試作も１cc から塗布が出来ます。 ●詳しくはお問い合わせください。

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【特長】 ・高額な装置がなくても、研究開発を進められる。 ・お客様の研究開発スピードのアップ。 ・無駄な開発投資を省ける。 ・長年の弊社データベースで難しい諸条件が容易に設定可能。 ・開発や新プロセスの問題解決をコンサルタント。 ・必要に応じ、ニーズにフィットしたカスタム装置提案も可能。 ・特殊機能膜の塗布加工サービス（薄膜形成試作・開発支援）を提案。 ・薄膜プロセスの総合的研究開発の受託も可能。 ・特殊機能膜の液調合から提案し、薄膜形成可能。 ・稀少材料が１cc からでも塗布試作は可能。 ●詳しくはお問い合わせください。

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特に分散液（ディスパージョン）のコーティング用として開発したコーティングヘッドになります。本ヘッドを採用した薄膜コーティング装置（スプレーコータ）はウエット式スプレー粒子を積層する薄膜形成装置であり、凹凸のあるサブストレート、立体形状（３D）デバイスに容易に塗布することが出来ます。電子デバイス、センサーデバイス、MEMS、サーマルヘッド、水晶デバイスなどに応用されています。 弊社では長年の塗布試作サービスの実績と経験があり、そのノウハウを盛込んだ薄膜コーティング装置はご好評をいただいております。独自の特殊ノズルを採用し長期安定な塗布をご提案しています。塗布に問題があり課題やニーズなどがございましたら、ご相談を承ります。 沈降しやすいディスパージョン液の塗布、立体形状コーティング（３Dコーティング）、薄膜コーティング、精密コーティング、電子デバイスコーティング、機能薄膜コーティングに最適です。

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RFID（ICタグ）を試作加工、受託生産をいたします。お客様のニーズにカスタマイズをしたICタグを提案しています。主にラベル加工、シール加工を実施し好評です。

• 液晶ディスプレイ
• ＩＣタグ
• ＩＣタグリーダ・ライタ

天然石（インド産マイクログラナイト）を使用した超精密石定盤システム（ナノテーブル）を小型から大型サイズまで製作販売をしています。特殊加工のエアースライダーと精密動作リニアモーターを特徴とし、長期安定性のあるシステムをご提案しています。

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• その他

界面活性剤、分散剤として開発テーマ・問題解決テーマにあわせて各種御提案をしています。

• 洗浄剤
• その他金属材料
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