HELIOS（ヘリオス）は、高品質な光学膜製作用に開発されたスパッター装置です。特に低吸収・低分散が求められる多層フィルターの製造に適しています。HELIOSシリーズは400と800（基板サイズ）の2タイプをご用意しています。

世界最大の真空装置・機器メーカーとして160年近い歴史を持つライボルトオプティクスは、業界のリーダーとして長年の経験を有し、高精度な光学コーティングを実現するための真空薄膜製造装置およびプロセスを提供しています。 研究開発用途から大量生産の大型設備まで様々な真空チャンバーサイズを取り揃え、お客様の多様なニーズにお応えいたします。 2018年より新たに真空中で超精密光学レンズの表面研磨をイオンビームにて行うIBF装置を世界に展開していきます。 【特長】 ■精密光学に用いられる各種基板材料の表面をイオンビームで処理加工しλ/200の超精密研磨が可能！ ■レーザー光学部品をはじめ、天体望遠鏡・DUV・EUV・Ｘ線ミラー等の生産にご使用いただけます。 ■高真空チャンバー内でイオンビームで基板表面の研磨処理を実施 ■6軸制御で大型の平板からレンズ（球面・非球面）表面を精密加工 ※英語版の資料を配布中です。詳しくはお気軽にお問い合わせください。

世界最大の真空装置・機器メーカーとして160年近い歴史を持つライボルトオプティクスは、業界のリーダーとして長年の経験を有し、高精度な光学コーティングを実現するための真空薄膜製造装置およびプロセスを提供しています。研究開発用途から大量生産の大型設備まで様々な真空チャンバーサイズを取り揃え、お客様の多様なニーズにお応えいたします。